【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片测试，尤其涉及一种感光芯片测试装置。
技术介绍
1、cis(cmos image sensor，互补金属氧化物半导体图像传感器)芯片是一种图像信号处理器芯片，广泛应用于扫描仪、传真机、数码摄像机、照相机等电子产品中。在对cis芯片进行性能检测时，是通过将其暴露于光源下，并控制光源的开闭，或是将其暴露于不同的光照强度下，并将其与检测探针座连接，从而对其产生的信号和参数进行收集，从而对其性能的优劣做出判断。
2、目前cis芯片测试领域所用到的测试装置中的测试镜头，其调整方向仅限于空间内的位置的移动调节，无法满足验证测试镜头在不同方向及不同角度对芯片测试的影响，适用范围受限。
技术实现思路
1、本专利技术实施例提供了一种感光芯片测试装置，用于解决目前的测试装置无法满足验证测试镜头在不同方向及不同角度对芯片测试的影响，适用范围受限的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种感光芯片测试装置，该感光芯片测试装置包括：
3、底座；
4、探针座，设置于底座上，探针座供放置并电连接感光芯片；
5、上盖，一端铰接于底座，以使上盖在开启状态和闭合状态之间切换；
6、测试镜头，用于对感光芯片进行测试；
7、位置调节机构，设置于上盖上，测试镜头能够在位置调节机构的作用下相对于上盖移动，以改变测试镜头与上盖之间的相对位置；
8、角度调节机构，设置于位置调节机构上，测试镜头能够在角度调节机
9、光源，用于为测试镜头提供照明。
10、可选地，测试镜头能够在位置调节机构的作用下在第一方向、第二方向和第三方向上移动，其中，第一方向和第二方向相交且均平行于上盖所在平面，第三方向垂直于上盖所在平面；
11、测试镜头能够在角度调节机构的作用下在垂直于上盖所在平面的面内摆动。
12、可选地，位置调节机构包括沿第三方向上依次设置的第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件，第一调节组件固定于上盖上，第二调节组件沿第一方向滑动连接于第一调节组件上，第三调节组件沿第二方向滑动连接于第二调节组件上；
13、其中，角度调节机构设置于第三调节组件上，测试镜头设置于角度调节机构上，测试镜头能够在第一调节组件的作用下沿第一方向运动、在第二调节组件的作用下沿第二方向运动、在第三调节组件的作用下沿第三方向运动以及在角度调节机构的作用下在垂直于上盖所在平面的面内摆动。
14、可选地，第三调节组件包括滑架、固定于滑架上并沿第三方向延伸的支撑件以及设置于支撑件上且在第三方向上位置可调的承载件，角度调节机构设置于承载件上。
15、可选地，支撑件远离滑架的一端设置有螺纹孔，承载件上设置有与螺纹孔对应的通孔，调节螺钉的螺杆部穿过通孔并螺接于螺纹孔内，支撑件与承载件之间设置有弹性件，弹性件为承载件提供背离支撑件的弹性力。
16、可选地，第二调节组件包括活动支架和第二调节件，滑架沿第二方向滑动设置于活动支架上，第二调节件设置于活动支架上并与滑架连接，滑架能够在第二调节件的控制下在活动支架上沿第二方向运动。
17、可选地，活动支架包括活动座以及沿第二方向设置于活动座上的引导件，活动座上沿第三方向贯穿设置有穿孔，滑架设置于穿孔内并滑动连接于引导件，活动座上沿第二方向的两端各设置有一与穿孔连通的第一通孔，两第二调节件分别设置于两第一通孔内并分别抵接于滑架沿第二方向的相对两侧。
18、可选地，第一调节组件包括固定支架和第一调节件，固定支架安装于上盖上，活动座设置于固定支架上，第一调节件设置于固定支架上并与活动座连接，活动座能够在第一调节件的控制下在固定支架上沿第一方向运动。
19、可选地，固定支架包括沿第一方向设置的导向件以及分别设置于导向件两端的固定件，两固定件固定于上盖上，活动座滑动设置于两固定件之间的导向件上，两固定件上沿第一方向各设置有一第二通孔，两第一调节件分别设置于两第二通孔内并分别抵接于活动座沿第一方向的相对两侧。
20、可选地，两个第一调节件中至少一个采用微分头；和/或，两第二调节件中至少一个采用微分头。
21、可选地，角度调节机构包括安装架和万向节结构，安装架位于承载件朝向滑架的一侧并通过万向节结构连接于承载件，测试镜头设置于安装架上。
22、可选地，还包括导光筒，导光筒固定于安装架上，测试镜头安装于导光筒内。
23、可选地，万向节结构包括带球头的连接杆以及设置于承载件上并与球头适配的安装孔，连接杆远离球头的一端固定连接于安装架，球头转动连接于安装孔内，以使测试镜头在垂直于上盖所在平面的面内摆动。
24、可选地，角度调节机构还包括锁紧件，承载件上设置有与安装孔连通并带内螺纹的锁紧孔，锁紧件螺接于锁紧孔内并能够抵接于球头，以使球头相对于安装孔的位置固定。
25、可选地，感光芯片测试装置还包括芯片压头，上盖上设置有贯穿其本体相对两侧的上盖通孔，且上盖通孔暴露测试镜头，芯片压头设置于上盖朝向底座的一侧并环绕上盖通孔设置，在上盖处于闭合状态，芯片压头压迫位于探针座上的感光芯片。
26、本专利技术提供的喷感光芯片测试装置的有益效果在于：与现有技术相比，本专利技术的感光芯片测试装置通过在位置调节机构上设置角度调节机构，利用角度调节机构控制测试镜头相对于上盖摆动，能够改变测试镜头的光轴与上盖所在平面之间的相对角度，进而调整测试镜头的方向和角度，配合测试镜头在位置调节机构的控制下相对于上盖在空间内移动，能够验证镜头在不同方向及不同角度对感光芯片测试的影响，从而满足了不同的检测需求，扩大适用范围。
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1.一种感光芯片测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述测试镜头能够在所述位置调节机构的作用下在第一方向、第二方向和第三方向上移动，其中，所述第一方向和所述第二方向相交且均平行于所述上盖所在平面，所述第三方向垂直于所述上盖所在平面；
3.根据权利要求2所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述位置调节机构包括沿所述第三方向上依次设置的第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件，所述第一调节组件固定于所述上盖上，所述第二调节组件沿所述第一方向滑动连接于所述第一调节组件上，所述第三调节组件沿所述第二方向滑动连接于所述第二调节组件上；
4.根据权利要求3所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述第三调节组件包括滑架、固定于所述滑架上并沿所述第三方向延伸的支撑件以及设置于所述支撑件上且在所述第三方向上位置可调的承载件，所述角度调节机构设置于所述承载件上。
5.根据权利要求4所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述支撑件远离所述滑架的一端设置有螺纹孔，所述承载件上设置有与所述螺纹孔对应的通孔，调节螺钉
6.根据权利要求4所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述第二调节组件包括活动支架和第二调节件，所述滑架沿所述第二方向滑动设置于所述活动支架上，所述第二调节件设置于所述活动支架上并与所述滑架连接，所述滑架能够在所述第二调节件的控制下在所述活动支架上沿所述第二方向运动。
7.根据权利要求6所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述活动支架包括活动座以及沿所述第二方向设置于所述活动座上的引导件，所述活动座上沿所述第三方向贯穿设置有穿孔，所述滑架设置于所述穿孔内并滑动连接于所述引导件，所述活动座上沿所述第二方向的两端各设置有一与所述穿孔连通的第一通孔，两所述第二调节件分别设置于两所述第一通孔内并分别抵接于所述滑架沿所述第二方向的相对两侧。
8.根据权利要求7所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述第一调节组件包括固定支架和第一调节件，所述固定支架安装于所述上盖上，所述活动座设置于所述固定支架上，所述第一调节件设置于所述固定支架上并与所述活动座连接，所述活动座能够在所述第一调节件的控制下在所述固定支架上沿所述第一方向运动。
9.根据权利要求8所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述固定支架包括沿所述第一方向设置的导向件以及分别设置于所述导向件两端的固定件，两所述固定件固定于所述上盖上，所述活动座滑动设置于两所述固定件之间的所述导向件上，两所述固定件上沿所述第一方向各设置有一第二通孔，两所述第一调节件分别设置于两所述第二通孔内并分别抵接于所述活动座沿所述第一方向的相对两侧。
10.根据权利要求9所述的感光芯片测试装置，其特征在于，两个所述第一调节件中至少一个采用微分头；和/或，两所述第二调节件中至少一个采用微分头。
11.根据权利要求4-9任一项所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述角度调节机构包括安装架和万向节结构，所述安装架位于所述承载件朝向所述滑架的一侧并通过所述万向节结构连接于所述承载件，所述测试镜头设置于所述安装架上。
12.根据权利要求11所述的感光芯片测试装置，其特征在于，还包括导光筒，所述导光筒固定于所述安装架上，所述测试镜头安装于所述导光筒内。
13.根据权利要求11所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述万向节结构包括带球头的连接杆以及设置于所述承载件上并与所述球头适配的安装孔，所述连接杆远离所述球头的一端固定连接于所述安装架，所述球头转动连接于所述安装孔内，以使所述测试镜头在垂直于所述上盖所在平面的面内摆动。
14.根据权利要求13所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述角度调节机构还包括锁紧件，所述承载件上设置有与所述安装孔连通并带内螺纹的锁紧孔，所述锁紧件螺接于所述锁紧孔内并能够抵接于所述球头，以使所述球头相对于所述安装孔的位置固定。
15.根据权利要求1-10任一项所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述感光芯片测试装置还包括芯片压头，所述上盖上设置有贯穿其本体相对两侧的上盖通孔，且所述上盖通孔暴露所述测试镜头，所述芯片压头设置于所述上盖朝向所述底座的一侧并环绕所述上盖通孔设置，在所述上盖处于所述闭合状态，所述芯片压头压迫位于所述探针座上的所述感光芯片。
...【技术特征摘要】
1.一种感光芯片测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述测试镜头能够在所述位置调节机构的作用下在第一方向、第二方向和第三方向上移动，其中，所述第一方向和所述第二方向相交且均平行于所述上盖所在平面，所述第三方向垂直于所述上盖所在平面；
3.根据权利要求2所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述位置调节机构包括沿所述第三方向上依次设置的第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件，所述第一调节组件固定于所述上盖上，所述第二调节组件沿所述第一方向滑动连接于所述第一调节组件上，所述第三调节组件沿所述第二方向滑动连接于所述第二调节组件上；
4.根据权利要求3所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述第三调节组件包括滑架、固定于所述滑架上并沿所述第三方向延伸的支撑件以及设置于所述支撑件上且在所述第三方向上位置可调的承载件，所述角度调节机构设置于所述承载件上。
5.根据权利要求4所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述支撑件远离所述滑架的一端设置有螺纹孔，所述承载件上设置有与所述螺纹孔对应的通孔，调节螺钉的螺杆部穿过所述通孔并螺接于所述螺纹孔内，所述支撑件与所述承载件之间设置有弹性件，所述弹性件为所述承载件提供背离所述支撑件的弹性力。
6.根据权利要求4所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述第二调节组件包括活动支架和第二调节件，所述滑架沿所述第二方向滑动设置于所述活动支架上，所述第二调节件设置于所述活动支架上并与所述滑架连接，所述滑架能够在所述第二调节件的控制下在所述活动支架上沿所述第二方向运动。
7.根据权利要求6所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述活动支架包括活动座以及沿所述第二方向设置于所述活动座上的引导件，所述活动座上沿所述第三方向贯穿设置有穿孔，所述滑架设置于所述穿孔内并滑动连接于所述引导件，所述活动座上沿所述第二方向的两端各设置有一与所述穿孔连通的第一通孔，两所述第二调节件分别设置于两所述第一通孔内并分别抵接于所述滑架沿所述第二方向的相对两侧。
8.根据权利要求7所述的感光芯片测试装置，其特征在于，所述第一调节组件包括固定支架和第一调节件，所述固定支架安装于所述上盖上，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨建设，张雅凯，张辉，
申请(专利权)人：昆山思特威集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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