晶圆检测装置制造方法及图纸

本申请涉及晶圆测试技术领域，公开了一种晶圆检测装置，包括：晶圆盒，晶圆盒内设有用于放置多个晶圆的收容空间，多个晶圆在收容空间内平行且间隔设置，晶圆盒上设有与收容空间连通的开口；取料机构，包括相连接的取料手臂和第一移动组件，第一移动组件用于驱动取料手臂移动以将晶圆盒内的任一晶圆通过开口转移至晶圆盒外；检测机构，包括相机，相机位于晶圆盒的一侧并用于采集取料手臂上晶圆的表面图像。上述晶圆检测装置可避免人工手动分片时可能导致的破片风险和污染，保障产品质量，且分片效率高。此外，能够通过检测机构对晶圆的外观进行检测，判断是否存在外观缺陷，提高设备的利用率。利用率。利用率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆检测装置


[0001]本申请涉及晶圆测试
，尤其涉及一种晶圆检测装置。

技术介绍

[0002]晶圆产品前期做验证需要对晶圆盒内的晶圆进行分片以及外观检测，因此可以利用同一套设备对晶圆盒内的晶圆进行分片操作或逐一进行外观检测，或者直接在晶圆分片过程中同时进行晶圆外观检测。
[0003]传统的分片方式有以下两种：第一种是利用探针台将晶圆移出晶圆盒，再放置一个新的晶圆盒，探针台把之前取出的晶圆放入新的晶圆盒，方法繁琐且耗时；第二种为人工手动将晶圆从一个晶圆盒移至另外一个晶圆盒，容易造成二次污染和破片等风险。上述两种方法操作风险大，分片效率低，无法保证产品质量。另一方面，现有的晶圆外观检测设备精度高且造价昂贵，由于晶圆上部分外观缺陷无需用高精度的设备来检验，从而导致现有的晶圆外观检测设备所涵盖的较多功能无法使用，设备利用率低，检测成本高。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请提供了一种晶圆检测装置，至少解决现有技术中晶圆产品外观检测过程中，分片效率低且无法保证产品质量、设备利用率低且成本高的问题。
[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：晶圆盒，所述晶圆盒内设有用于放置多个晶圆的收容空间，多个晶圆在所述收容空间内平行且间隔设置，所述晶圆盒上设有与所述收容空间连通的开口；取料机构，包括相连接的取料手臂和第一移动组件，所述第一移动组件用于驱动所述取料手臂移动以将所述晶圆盒内的任一晶圆通过所述开口转移至所述晶圆盒外；检测机构，包括相机和第二移动组件，所述第二移动组件用于驱动所述相机移动至所述取料手臂的上方，所述相机位于所述晶圆盒的一侧并用于采集所述取料手臂上晶圆的表面图像。2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述晶圆检测装置设于一台面上，多个所述晶圆沿垂直于所述台面的第一方向间隔设置，所述取料手臂用于将所述晶圆盒内的晶圆通过所述开口沿平行于所述台面的第二方向转移至所述晶圆盒外。3.根据权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第一移动组件包括底座、第一移动件和第二移动件，所述底座与所述晶圆盒间隔设置，所述第一移动件沿所述第二方向滑动连接于所述底座，所述第二移动件沿所述第一方向滑动连接于所述第一移动件；所述取料手臂固定连接于所述第二移动件。4.根据权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述底座上设有沿所述第二方向延伸的第一丝杆，所述第一移动件包括螺纹连接于所述第一丝杆的第一滑块、固定连接于所述第一滑块的第一支架和沿所述第一方向设于所述第一支架上的第二丝杆，所述第二移动件螺纹连接于所述第二丝杆。5.根据权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述底座和所述第一移动件的端部均设有手轮，所述底座上的手轮用于驱动所述第一移动件沿所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨建设，张雅凯，贾勇，
申请(专利权)人：昆山思特威集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：