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本申请涉及晶圆测试技术领域，公开了一种晶圆检测装置，包括：晶圆盒，晶圆盒内设有用于放置多个晶圆的收容空间，多个晶圆在收容空间内平行且间隔设置，晶圆盒上设有与收容空间连通的开口；取料机构，包括相连接的取料手臂和第一移动组件，第一移动组件用于驱...
该专利属于昆山思特威集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山思特威集成电路有限公司授权不得商用。

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