探针检测台制造技术

本申请涉及一种探针检测台，所述探针检测台包括探针室

【技术实现步骤摘要】
探针检测台


[0001]本申请涉及新能源
，具体涉及一种探针检测台，其对冷媒具有较高的利用率
。

技术介绍

[0002]高低温真空探针检测台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，可用于不同环境下
、
不同温度条件下的半导体器件的电学表征和测量
。
为适应不同的检测条件，常见的为探针检测台提供低温的方式包括开循环式及闭循环式，开循环式即需要从外界不断向探针检测台内部加入冷媒，通过消耗冷媒达到制冷的作用，闭循环式即在探针检测台内部对冷媒进行压缩或使冷媒膨胀，使冷媒在探针检测台内部不断循环而达到制冷的作用
。
其中，采用开循环式对探针检测台进行降温的方式的测试温度可低至
77K
，因此，如何有效利用冷媒，提高对探针检测台的冷却效率是亟待解决的问题
。

技术实现思路

[0003]鉴于此，本申请提供一种探针检测台，所述探针检测台对冷媒具有较高的利用率
。
[0004]本申请提拱了一种探针检测台，所述探针检测台包括：探针室
、
底部圆台以及探针圆台，所述探针室具有探针腔；所述底部圆台设置于所述探针腔的底部，所述底部圆台具有第一流道；所述探针圆台间隔设置于所述底部圆台背离所述探针腔的底部的一侧且连接所述底部圆台，所述探针圆台用于承载待检测器件，所述探针圆台具有第二流道，所述第二流道与所述第一流道连通，所述第一流道与所述第二流道用于流通冷媒，以对所述探针圆台进行降温
。
[0005]进一步地，所述探针检测台还包括多个支撑柱，所述多个支撑柱间隔设置于所述底部圆台与所述探针圆台之间，且每个所述支撑柱分别连接所述底部圆台与所述探针圆台，所述多个支撑柱中的至少部分具有第三流道，所述第三流道的一端连通所述第一流道，另一端连通所述第二流道
。
[0006]进一步地，所述底部圆台包括依次层叠设置的第一安装件
、
第一加热件
、
底盘及第一冷却件，所述第一冷却件相较于所述第一安装件更远离所述探针圆台，所述第一安装件连接所述底盘，以使所述第一安装件
、
所述第一加热件
、
所述第一冷却件及所述底盘组装为一体，所述第一冷却件卡设于所述底盘背离所述第一安装件的一侧，所述第一冷却件具有所述第一流道
。
[0007]进一步地，所述探针圆台包括依次层叠设置的样品台
、
第二冷却件
、
第二加热件及第二安装件，所述样品台相较于所述第二安装件更远离所述底部圆台，所述样品台用于承载待检测器件；所述第二冷却件具有所述第二流道，所述第二加热件用于对所述样品台进行加热，所述第二安装件连接所述第二冷却件，用于固定所述第二加热件
。
[0008]进一步地，所述第二流道包括依次连通的冷媒进口
、
流通部及冷媒出口；所述流通部包括多个流通子部及多个转折子部，所述流通子部及所述转折子部依次交替连通，所述
多个流通子部沿第一方向延伸，且沿第二方向依次间隔排布，所述冷媒出口连通所述第三流道，其中，所述第一方向与所述第二方向相交
。
[0009]进一步地，所述探针圆台还包括温度传感器，所述温度传感器嵌设于所述第二冷却件，用于检测所述样品台的温度
。
[0010]进一步地，所述探针检测台还包括冷媒管道，所述冷媒管道包括进液管及出液管，所述出液管套设于所述进液管的外周，所述进液管具有第四流道，所述第四流道连通所述第二流道，所述进液管与所述出液管围合成第五流道，所述第五流道连通所述第一流道
。
[0011]进一步地，所述第四流道的横截面积为
S1
，所述第五流道的横截面积为
S2
，则满足关系式：
0.65≤S1/S2≤1。
[0012]进一步地，所述探针检测台还包括第一管道连接件
、
第二管道连接件
、
第三管道连接件及第四管道连接件，所述第一管道连接件的一端连接所述第四流道，第二管道连接件的一端连接第二流道，所述第一管道连接件背离所述进液管的一端与所述第二管道连接件背离所述探针圆台的一端可拆卸连接；所述第三管道连接件的一端连接所述第一流道，第四管道连接件的一端连接第五流道，所述第三管道连接件背离所述底部圆台的一端与所述第四管道连接件背离所述出液管的一端可拆卸连接
。
[0013]进一步地，所述探针检测台还包括：抽真空系统
、
冷媒罐以及控制装置，所述抽真空系统连通所述探针室，以调节所述探针腔的真空度；所述冷媒罐用于存储冷媒，所述冷媒罐连通所述第二流道，用于提供冷媒，以对所述探针腔进行冷却；所述控制装置连通所述冷媒罐，以控制将所述冷媒罐中的冷媒输送至所述第二流道的流速
。
[0014]在本申请提供的探针检测台中，所述底部圆台具有第一流道，所述探针圆台具有第二流道，且所述第一流道与所述第二流道相互连通，当所述探针检测台应用于检测待检测器件在低温条件下的性能时，通过冷媒在所述第一流道与所述第二流道的流通，可对所述底部圆台及所述探针圆台进行散热，以降低所述底部圆台及所述探针圆台的温度，继而使所述探针台达到检测待检测器件所需要的温度
。
在本申请中，所述底部圆台具有第一流道，所述探针圆台具有第二流道，相较于只在探针圆台设置流道的方案，本申请的方案增长了所述冷媒在所述探针腔内流通的时间和路径，有利于提高对冷媒的利用率，使得所述冷媒既能带走所述底部圆台的热量，又能带走所述探针圆台的热量，有利于提高对所述探针腔进行降温的速度，提高对探针检测台的冷却效率
。
此外，当冷媒在所述底部圆台的第一流道流通且底部圆台的热量降低时，所述底部圆台可为所述探针腔提供保温功能，使得所述探针腔内的温度维持在较低的温度，继而有利于实现对所述探针圆台进行降温，使探针圆台的温度快速达到待检测器件的检测温度，以提高检测效率
。
进一步地，当所述冷媒自所述第二流道流向所述第一流道，温度较低的冷媒先在所述第二流道流通且对所述探针圆台进行降温，冷媒在吸收所述探针圆台的热量后温度增加，但仍可继续吸收热量，所述冷媒自所述第二流道流向所述第一流道，所述冷媒进一步吸收所述底部圆台的热量，既有利于合理配置冷媒，使冷媒充分吸收所述探针圆台的热量，以对所述探针圆台进行快速降温并使所述底部圆台保持在较低的温度以对所述探针腔进行保温，还能提高冷媒的利用率，避免冷媒直接从所述第二流道排出所述探针腔外而造成浪费，提高了所述冷媒的利用率以及冷媒对所述探针圆台进行降温的效率
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种探针检测台，其特征在于，所述探针检测台包括：探针室，所述探针室具有探针腔；底部圆台，所述底部圆台设置于所述探针腔的底部，所述底部圆台具有第一流道；以及探针圆台，所述探针圆台间隔设置于所述底部圆台背离所述探针腔的底部的一侧且连接所述底部圆台，所述探针圆台用于承载待检测器件，所述探针圆台具有第二流道，所述第二流道与所述第一流道连通，所述第一流道与所述第二流道用于流通冷媒，以对所述探针圆台进行降温
。2.
根据权利要求1所述的探针检测台，其特征在于，所述探针检测台还包括多个支撑柱，所述多个支撑柱间隔设置于所述底部圆台与所述探针圆台之间，且每个所述支撑柱分别连接所述底部圆台与所述探针圆台，所述多个支撑柱中的至少部分具有第三流道，所述第三流道的一端连通所述第一流道，另一端连通所述第二流道
。3.
根据权利要求1所述的探针检测台，其特征在于，所述底部圆台包括依次层叠设置的第一安装件
、
第一加热件
、
底盘及第一冷却件，所述第一冷却件相较于所述第一安装件更远离所述探针圆台，所述第一安装件连接所述底盘，以使所述第一安装件
、
所述第一加热件及所述底盘组装为一体，所述第一冷却件卡设于所述底盘背离所述第一安装件的一侧，所述第一冷却件具有所述第一流道
。4.
根据权利要求2所述的探针检测台，其特征在于，所述探针圆台包括依次层叠设置的样品台
、
第二冷却件
、
第二加热件及第二安装件，所述样品台相较于所述第二安装件更远离所述底部圆台，所述样品台用于承载待检测器件；所述第二冷却件具有所述第二流道，所述第二加热件用于对所述样品台进行加热，所述第二安装件连接所述第二冷却件，用于固定所述第二加热件
。5.
根据权利要求4所述的探针检测台，其特征在于，所述第二流道包括依次连通的冷媒进口
、
流通部及冷媒出口；所述流通部包括多个流通子部及多个转折子部，所述流通子...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：