【技术实现步骤摘要】
一种夹持机构
[0001]本技术涉及夹持设备
,具体而言,涉及一种夹持机构
。
技术介绍
[0002]在半导体设备中,物料托盘因存在一定公差需要夹持机构对其固定,检测时以满足移动需求,待完成检测或者到位后,夹持机构相对测试托盘放松
。
[0003]经专利技术人研究发现,目前的一些夹持机构不能够自适应料盘的公差变化
。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种夹持机构,其能够适应不同料盘的公差
。
[0005]本技术的实施例是这样实现的:
[0006]第一方面,本技术提供一种夹持机构,包括:
[0007]支撑架,支撑架包括架体及设置于架体两端的第一夹持件及第二夹持件,第一夹持件能相对架体靠近或远离第二夹持件,以形成用于夹持物料的夹持空间;
[0008]缓冲连接件,缓冲连接件具有弹性且一端与第一夹持件连接;
[0009]第一驱动件,第一驱动件设置于架体,第一驱动件的驱动端与缓冲连接件的另一端连接,第一驱动件用于驱动缓冲连接件沿远离或靠近第二夹持件的方向移动,以使夹持空间缩小或张大
。
[0010]在可选的实施方式中,第一夹持件具有第一连接部
、
第一夹持部及第一转动部,第一转动部位于第一连接部及第一夹持部之间,第一转动部与架体可转动连接,第一连接部与缓冲连接件连接
。
[0011]在可选的实施方式中,第一连接部位于第一夹持件的一端且与缓冲连接件可转动连接
。< ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种夹持机构,其特征在于,包括:支撑架,所述支撑架包括架体及设置于架体两端的第一夹持件及第二夹持件,所述第一夹持件能相对所述架体靠近或远离所述第二夹持件,以形成用于夹持物料的夹持空间;缓冲连接件,所述缓冲连接件具有弹性且一端与第一夹持件连接;第一驱动件,所述第一驱动件设置于架体,所述第一驱动件的驱动端与所述缓冲连接件的另一端连接,所述第一驱动件用于驱动所述缓冲连接件沿远离或靠近所述第二夹持件的方向移动,以使所述夹持空间缩小或张大
。2.
根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于:所述第一夹持件具有第一连接部
、
第一夹持部及第一转动部,所述第一转动部位于所述第一连接部及所述第一夹持部之间,所述第一转动部与所述架体可转动连接,所述第一连接部与所述缓冲连接件连接
。3.
根据权利要求2所述的夹持机构,其特征在于:所述第一连接部位于所述第一夹持件的一端且与所述缓冲连接件可转动连接
。4.
根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于:所述缓冲连接件包括筒体
、
弹性件及滑动块,所述弹性件的两端分别抵持所述筒体的内端壁及滑动块,所述滑动块能沿所述筒体的轴向滑动,所述筒体与所述第一夹持件连接,所述滑动块与所述第一驱动件连接
。5.
根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于:所述第二夹持件能相对所述架体靠近或远...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘长江,郑军,
申请(专利权)人:聚时科技上海有限公司,
类型:新型
国别省市:
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