炉门及处理设备制造技术

本申请涉公开一种炉门及处理设备，其中，所述炉门，包括套接于桨杆的桨炉门和密封连接部，还包括：桨炉门连接部，一端与所述桨炉门连接，另一端通过用于密封的接触端面与所述密封连接部抵接；散热部，设置于所述接触端面，用于对所述接触端面进行冷却；限位组件，与所述桨炉门连接部和所述密封连接部限位连接，以使所述桨炉门连接部和所述密封连接部之间紧密配合

【技术实现步骤摘要】
炉门及处理设备


[0001]本申请涉及半导体设备制造
，特别是涉及一种炉门及处理设备
。

技术介绍

[0002]目前，随着太阳能发电的普及，相关的半导体光伏产品需求量也越来越大
。
因此，在产能需求日益提高的前提下，对于半导体扩散工艺的要求也越来越高
。
为了提高扩散工艺的效率，相关技术中通常将半导体扩散工艺设备中的桨炉门设置于桨杆，桨杆将载具送入加热炉的工艺腔体后，桨杆停留在工艺腔体内，以减少桨杆进出加热炉的频率，并通过设置密封连接结构实现桨炉门与桨杆的密封
。
[0003]在实现本公开实施例的过程中，发现相关技术中至少存在如下问题：
[0004]在半导体扩散工艺中，桨炉门与密封连接结构的连接处往往会形成高温环境，导致桨炉门的密封性和安全性较低
。

技术实现思路

[0005]为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解，下面给出了简单的概括
。
所述概括不是泛泛评述，也不是要确定关键
/
重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围，而是作为后面的详细说明的序言
。
[0006]本公开实施例提供一种炉门及处理设备，以降低桨炉门与密封连接结构的连接处的温度，并提高桨炉门的密封性和安全性
。
[0007]在一些实施例中，所述炉门，包括套接于桨杆的桨炉门和密封连接部，还包括：
[0008]桨炉门连接部，一端与所述桨炉门连接，另一端通过用于密封的接触端面与所述密封连接部抵接；
[0009]散热部，设置于所述接触端面，用于对所述接触端面进行冷却；
[0010]限位组件，与所述桨炉门连接部和所述密封连接部限位连接，以使所述桨炉门连接部和所述密封连接部之间紧密配合
。
[0011]可选地，所述散热部为
U
型槽状结构，以形成用于冷却所述接触端面的散热空间；或者，
[0012]在所述限位组件与所述散热部之间设置有密封件，以形成用于冷却所述接触端面的封闭空间
。
[0013]可选地，所述密封连接部，包括：
[0014]法兰盖，套接于所述桨杆；
[0015]波纹管，套接于所述桨杆，一端与所述桨炉门连接部的接触端面抵接，另一端与所述法兰盖紧密配合；
[0016]桨杆密封圈，设置于所述波纹管与所述法兰盖之间，用于使所述波纹管与桨杆之间形成密封结构
。
[0017]可选地，所述限位组件，包括：
[0018]第一限位件，与所述波纹管限位连接；
[0019]第二限位件，与所述散热部限位连接；
[0020]锁紧件，与所述第一限位件和第二限位件固定连接，以使所述第一限位件和第二限位件之间锁紧
。
[0021]可选地，所述限位组件，还包括：
[0022]端面密封圈，设置于所述波纹管与所述桨炉门连接部之间，用于使所述波纹管与所述桨炉门连接部之间形成密封结构
。
[0023]可选地，所述密封件为垫块
。
[0024]可选地，以所述桨杆的轴线为中心，对称设置有多个所述限位组件
。
[0025]可选地，所述桨炉门连接部套接于所述桨杆，并与所述桨炉门为一体成型结构，且所述桨炉门和桨炉门连接部均由石英材料制成
。
[0026]可选地，所述炉门，还包括：
[0027]推拉舟平移机构，设置于所述桨杆的尾部固定段
。
[0028]推拉舟夹持机构，用于将所述桨杆固定于所述推拉舟平移机构
。
[0029]可选地，所述炉门，还包括：
[0030]炉门连接轴，一端与所述推拉舟平移机构驱动连接，另一端通过轴承与所述桨炉门可转动连接
。
[0031]可选地，所述炉门，还包括：
[0032]热辐射阻挡部，套接于所述桨杆，且位于所述桨炉门远离所述密封连接部的一侧，用于阻挡对所述桨炉门的热辐射
。
[0033]在一些实施例中，所述处理设备，包括：
[0034]如本申请所述的炉门；
[0035]设备主体，所述设备主体包括加热炉和石英管腔体，所述石英管腔体位于所述加热炉内部并具有炉口
。
[0036]可选地，所述处理设备，还包括：
[0037]炉口法兰，沿所述炉口的边沿设置；
[0038]炉门密封圈，设置于所述炉门的桨炉门的端部，所述桨炉门与所述炉口法兰之间通过所述炉门密封圈形成密封结构
。
[0039]本公开实施例提供的炉门及处理设备，可以实现以下技术效果：
[0040]通过在桨炉门处设置桨炉门连接部，并通过限位组件将桨炉门连接部与密封连接部限位连接，且在桨炉门连接部与密封连接部的接触端面处设置散热部，通过散热部可对接触端面进行冷却，避免了在桨炉门与密封连接结构的连接处形成高温环境，提高了桨炉门的密封性和安全性
。
[0041]以上的总体描述和下文中的描述仅是示例性和解释性的，不用于限制本申请
。
附图说明
[0042]一个或多个实施例通过与之对应的附图进行示例性说明，这些示例性说明和附图并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件示为类似的元件，附图不构成比例限制，并且其中：
[0043]图1是本公开实施例提供的一个处理设备的结构示意图；
[0044]图2是本公开实施例提供的另一个处理设备的结构示意图；
[0045]图3是本公开实施例提供的一个炉门的结构示意图；
[0046]图4是本公开实施例提供的一个炉门的剖面局部放大示意图；
[0047]图5是本公开实施例提供的一个密封连接部和限位组件的局部放大示意图；
[0048]图6是本公开实施例提供的一个限位组件的剖面局部放大示意图；
[0049]图7是本公开实施例提供的另一个视角的炉门的结构示意图
。
[0050]附图标记：
[0051]1‑
设备主体；
11
‑
加热炉；
12
‑
石英管腔体；
13
‑
炉口法兰；
14
‑
炉门密封圈；
21
‑
桨杆；
22
‑
推拉舟夹持机构；
23
‑
推拉舟平移机构；
31
‑
硅片载具；4‑
桨炉门；
41
‑
桨炉门连接部；
42
‑
散热部；
43
‑
炉门连接轴；
44
‑
轴承；
45
‑
热辐射阻挡部；5‑
密封连接部；
51
‑
波纹管；
52
‑
法兰盖；
53...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种炉门，包括套接于桨杆的桨炉门和密封连接部，其特征在于，还包括：桨炉门连接部，一端与所述桨炉门连接，另一端通过用于密封的接触端面与所述密封连接部抵接；散热部，设置于所述接触端面，用于对所述接触端面进行冷却；限位组件，与所述桨炉门连接部和所述密封连接部限位连接，以使所述桨炉门连接部和所述密封连接部之间紧密配合
。2.
根据权利要求1所述的炉门，其特征在于，所述散热部为
U
型槽状结构，以形成用于冷却所述接触端面的散热空间；或者，在所述限位组件与所述散热部之间设置有密封件，以形成用于冷却所述接触端面的封闭空间
。3.
根据权利要求1所述的炉门，其特征在于，所述密封连接部，包括：法兰盖，套接于所述桨杆；波纹管，套接于所述桨杆，一端与所述桨炉门连接部的接触端面抵接，另一端与所述法兰盖紧密配合；桨杆密封圈，设置于所述波纹管与所述法兰盖之间，用于使所述波纹管与桨杆之间形成密封结构
。4.
根据权利要求3所述的炉门，其特征在于，所述限位组件，包括：第一限位件，与所述波纹管限位连接；第二限位件，与所述散热部限位连接；锁紧件，与所述第一限位件和第二限位件固定连接，以使所述第一限位件和第二限位件之间锁紧
。5.
根据权利要求4所述的炉门，其特征在于，所述限位组件，还包括：端面密封圈，设置于所述波纹管与所述桨炉门连接部之间，用于使所述波纹管与所述桨炉门连接部之间形成密封结构
。6.
根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛文瑞，盛玉长，陈程，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：