【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】2018/224303
公开了这样的处理工具的示例
。
处理工具可以在其在衬底支撑件上相对移动的同时旋转
(
和
/
或倾斜
)。
例如，处理工具可以被布置为使得与支撑元件的顶部表面接触的表面
(
相对地
)
在平行于支撑元件的顶部表面所在的平面的平面中旋转
。
处理工具的占地面积通常小于衬底支撑件的占地面积，使得衬底支撑件和处理工具在处理期间相对于彼此移动
。
处理工具可以由例如花岗岩或
Si/SiC
制成
。
[0010]处理工具还可以被配置为修改支撑元件的远端
。
也就是说，通过应用这些工具与衬底支撑件相互作用，远端的表面粗糙度发生改变，从而修整衬底支撑件
。
这些处理工具通常为圆形形状，并且具有平坦且连续的接触表面区域，如
WO 2019/154630
中所公开的，或具有由多个突起形成的接触表面，如
WO 2020/020568
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种用于处理衬底支撑件的表面的表面处理设备，所述表面处理设备包括接触表面，所述接触表面被配置为接触所述衬底支撑件的所述表面，所述接触表面包括第一圆弧形轮廓和第二圆弧形轮廓，所述第一圆弧形轮廓是具有第一曲率中心的第一轮廓，而所述第二圆弧形轮廓是具有第二曲率中心的第二轮廓，所述第二轮廓布置在所述表面处理设备的相对于所述第一轮廓的相对侧处，其中所述第一曲率中心和所述第二曲率中心是非重合点
。2.
根据权利要求1所述的表面处理设备，其中所述第一轮廓和所述第二轮廓被布置为形成凸
‑
凸形接触表面
、
凸
‑
凹形接触表面或凸
‑
平形接触表面
。3.
根据权利要求1或2所述的表面处理设备，其中所述第一轮廓具有基本等于所述衬底支撑件的外半径的第一半径
。4.
根据权利要求3所述的表面处理设备，其中所述第二轮廓具有基本等于所述第一半径的第二半径
。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的表面处理设备，其中所述接触表面包括一个或多个凹陷区域
。6.
根据权利要求1至5中任一项所述的表面处理设备，其中所述接触表面包括倒角边缘
。7.
根据权利要求1至4中任一项所述的表面处理设备，所述表面处理设备是包括载体元件
、
结合层和表面处理片的模块化表面处理设备，其中所述结合层被布置为将所述表面处理片结合到所述载体元件，并且所述表面处理片包括所述接触表面
。8.
根据权利要求1至7中任一项所述的表面处理设备，还包括以下各项中的至少一项：花岗岩
、
硅
、
碳化硅
、
氮化硅
、
类金刚石碳
、
半刚石金刚石和金刚...
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