一种晶圆隔离盒制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆隔离盒，包括：承托板，所述承托板的上方设置有若干个定位块，所述承托板的上方设置有若干个遮挡板，所述定位块与所述遮挡板相对应，所述承托板顶面的四个国交处分别固定连接有螺杆，所述螺杆的外圆壁面螺纹连接有螺母；分层组件，所述分层组件设置在所述承托板的上方，用于分层隔离储存多个晶圆，通过设置柔软垫，柔软垫可以利用自身的弹性保护储存在存放槽内部的晶圆，通过设置定位孔，定位孔可以利用和螺杆的活动套设带动确定定位块在承托板上方的位置，存放槽可以将晶圆储存在内部，并利用相互堆叠的定位块储存多个晶圆，相互堆叠的定位块利用遮挡板封闭存放槽的顶端出口，从而可以将多个晶圆分层隔离储存

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆隔离盒


[0001]本技术涉及铝单板领域，尤其涉及一种晶圆隔离盒
。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，其制作流程先后为拉单晶
、
切片
、
磨片
、
抛光
、
增层
、
光刻
、
掺杂
、
热处理
、
针测以及最后的划片
。
[0003]根据公开号为：
CN211088229U
的中国专利，多片水平放置晶圆盒及隔离环，包括相互扣接的底盒和顶盖
、
至少两块缓冲垫
、
两层隔离环；缓冲垫分别贴合于底盒
、
顶盖内侧面，两层隔离环放置于上下两层缓冲垫之间；所述隔离环包括较厚的外环和位于外环环内的较薄的若干呈同心圆状设置的内环，所述内环通过自内而外呈发散状的肋条相连接
、
并连接于外环内壁
。
[0004]但是该方案仍存在一定的缺点，例如：将多片晶圆放置在同一个空间中，多片晶圆可能会相互碰撞导致损坏
。

技术实现思路

[0005]本技术旨在提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种晶圆隔离盒，以解决将多片晶圆放置在同一个空间中，多片晶圆可能会相互碰撞导致损坏的问题
。
[0006]为达到上述目的，本技术的技术方案具体是这样实现的：
[0007]本技术的提供了一种晶圆隔离盒，包括：承托板，所述承托板的上方设置有若干个定位块，所述承托板的上方设置有若干个遮挡板，所述定位块与所述遮挡板相对应，所述承托板顶面的四个国交处分别固定连接有螺杆，所述螺杆的外圆壁面螺纹连接有螺母；分层组件，所述分层组件设置在所述承托板的上方，用于分层隔离储存多个晶圆
。
[0008]通过采用上述技术方案，通过设置承托板，承托板可以在固定多个螺杆相互之间位置的同时带动固定螺杆在地面上的位置，通过设置遮挡板，遮挡板可以覆盖在对应定位块的顶面上，从而可以将定位块的顶面空间遮挡保护起来
。
[0009]作为本技术进一步的方案，所述分层组件包括：若干个套接孔，若干个所述套接孔分别开设在若干个所述遮挡板顶面的四个拐角处，所述定位块顶面的四个拐角处分别开设有定位孔，所述套接孔与所述定位孔的位置相对应，所述定位块的顶面开设有存放槽，所述定位孔的内圆壁面与所述螺杆的外圆壁面活动套设，所述螺杆的一端穿过所述定位孔并与所述套接孔的内圆壁面活动套设，所述存放槽的内部底面固定连接有柔软垫
。
[0010]通过采用上述技术方案，通过设置柔软垫，柔软垫可以利用自身的弹性保护储存在存放槽内部的晶圆，通过设置定位孔，定位孔可以利用和螺杆的活动套设带动确定定位块在承托板上方的位置，通过设置套接孔，套接孔可以利用和螺杆的活动套设带动确定遮挡板在承托板上方的位置，通过设置螺母，螺母可以在螺杆的表面旋进，并在旋进的过程中带动挤压定位块和遮挡板固定在一起，通过设置存放槽，存放槽可以将晶圆储存在内部，并
利用相互堆叠的定位块储存多个晶圆，相互堆叠的定位块利用遮挡板封闭存放槽的顶端出口，从而可以将多个晶圆分层隔离储存
。
[0011]作为本技术进一步的方案，所述遮挡板的下方设置有柔性块，所述遮挡板的底面开设有固定槽，所述固定槽的内圆壁面活动套设有活动柱，所述活动柱的底端与所述柔性块的顶面固定连接，所述活动柱的外圆壁面活动套设有弹簧
。
[0012]通过采用上述技术方案，通过设置柔性块，柔性块可以当遮挡板被扣压在定位块的顶面时，被同步按进存放槽的内部，从而利用按进存放槽内部的柔软垫抵触在存放槽内部晶圆的表面，从而可以增加晶圆在存放槽内部位置的稳定性
。
[0013]作为本技术进一步的方案，所述固定槽的内圆壁面开设有限位槽，所述活动柱的顶端固定连接有阻挡块，所述阻挡块的外圆壁面与所述限位槽的内圆壁面活动套设
。
[0014]通过采用上述技术方案，通过设置活动柱，活动柱可以在柔性块被按压进存放槽的内部后在固定槽的内部同步上下移动，通过设置阻挡块，阻挡块可以当活动柱在上下移动时在限位槽的内部同步上下移动，通过设置阻挡块，由于阻挡块的直径大于固定槽的直径，从而可以避免活动柱从固定槽的内部脱离
。
[0015]作为本技术进一步的方案，所述定位块的两侧分别固定连接有托举块，所述遮挡板的两侧分别固定连接有连接块
。
[0016]通过采用上述技术方案，通过设置连接块，连接块可以便于工作人员对遮挡板施加作用力，便于工作人员将定位块和遮挡板分离，通过设置托举块，托举块可以便于工作人员对定位块施加作用，从而可以将定位块从承托板的上方取下
。
[0017]作为本技术进一步的方案，所述定位块的底面开设有若干个卡接槽，所述遮挡板的顶面固定连接有若干个固定块，所述卡接槽与所述固定块的位置相对应
。
[0018]通过采用上述技术方案，通过设置卡接槽，卡接槽可以当多个定位块相互堆叠时将固定块容纳在内部，从而可以增加多个定位块在堆叠时相互之间位置的稳定性
。
[0019]本技术提供了一种晶圆隔离盒，有益效果在于：
[0020]通过设置柔软垫，柔软垫可以利用自身的弹性保护储存在存放槽内部的晶圆，通过设置定位孔，定位孔可以利用和螺杆的活动套设带动确定定位块在承托板上方的位置，通过设置套接孔，套接孔可以利用和螺杆的活动套设带动确定遮挡板在承托板上方的位置，通过设置螺母，螺母可以在螺杆的表面旋进，并在旋进的过程中带动挤压定位块和遮挡板固定在一起，通过设置存放槽，存放槽可以将晶圆储存在内部，并利用相互堆叠的定位块储存多个晶圆，相互堆叠的定位块利用遮挡板封闭存放槽的顶端出口，从而可以将多个晶圆分层隔离储存
。
[0021]通过设置柔性块，柔性块可以当遮挡板被扣压在定位块的顶面时，被同步按进存放槽的内部，从而利用按进存放槽内部的柔软垫抵触在存放槽内部晶圆的表面，从而可以增加晶圆在存放槽内部位置的稳定性，通过设置活动柱，活动柱可以在柔性块被按压进存放槽的内部后在固定槽的内部同步上下移动，通过设置阻挡块，阻挡块可以当活动柱在上下移动时在限位槽的内部同步上下移动，通过设置阻挡块，由于阻挡块的直径大于固定槽的直径，从而可以避免活动柱从固定槽的内部脱离，通过设置卡接槽，卡接槽可以当多个定位块相互堆叠时将固定块容纳在内部，从而可以增加多个定位块在堆叠时相互之间位置的稳定性
。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图
。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆隔离盒，其特征在于，包括：承托板
(1)
，所述承托板
(1)
的上方设置有若干个定位块
(3)
，所述承托板
(1)
的上方设置有若干个遮挡板
(4)
，所述定位块
(3)
与所述遮挡板
(4)
相对应，所述承托板
(1)
顶面的四个国交处分别固定安装有螺杆
(2)
，所述螺杆
(2)
的外圆壁面螺纹连接有螺母
(8)
；分层组件，所述分层组件设置在所述承托板
(1)
的上方，用于分层隔离储存多个晶圆
。2.
根据权利要求1所述的一种晶圆隔离盒，其特征在于，所述分层组件包括：若干个套接孔
(7)
，若干个所述套接孔
(7)
分别开设在若干个所述遮挡板
(4)
顶面的四个拐角处，所述定位块
(3)
顶面的四个拐角处分别开设有定位孔
(12)
，所述套接孔
(7)
与所述定位孔
(12)
的位置相对应，所述定位块
(3)
的顶面开设有存放槽
(11)
，所述定位孔
(12)
的内圆壁面与所述螺杆
(2)
的外圆壁面活动套设，所述螺杆
(2)
的一端穿过所述定位孔
(12)
并与所述套接孔
(7)
的内圆壁面活动套设，所述存放槽
(11)
的内部底面固定安装有柔软垫
...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳国亮，戴煜，
申请(专利权)人：长三角一体化示范区浙江嘉善嘉芯半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：