一种制造技术

本实用新型专利技术提供一种

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD镀膜载板


[0001]本技术涉及异质结电池
，尤其是一种
PECVD
镀膜载板
。

技术介绍

[0002]现有的用于生产异质结电池
(HJT)
的
PECVD
镀膜载板通常在石墨板或碳纤维复合板上通过机械加工形成凹槽，凹槽侧壁对待镀膜件形成限位；另外在二级凹槽内设置通气孔和一定数量支撑点，结构复杂且为实心板，加工过程繁琐，载板生产成本较高；实心载板的加热能耗高且工艺温度不可控，实心载板加热变形严重，等离子体均匀性差，自动化设计匹配较难，电池片放片的定位精度差；
[0003]同时，在载板到达工艺腔，传输的过程及镀膜过程中会震动，导致待镀膜件发生偏移，所欲需要缓冲减震，减小震动带来的影响
。
[0004]有鉴于此，本专利技术人对上述问题进行深入研究，逐由本案产生
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种
PECVD
镀膜载板，解决传输过程中和镀膜过程中产生的震动等问题
。
[0006]为了解决上述问题，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种
PECVD
镀膜载板，包括支撑框和对所述支撑框进行承载的载板框架；所述载板框架包括第一边框
、
第二边框
、
第三边框
、
第四边框和连接块；所述支撑框包括空心横杆和空心竖杆，所述空心横杆与空心竖杆相互交织形成若干镂空部，所述镂空部上设有承载面<br/>。
[0008]所述第一边框
、
第二边框
、
第三边框和第四边框的各个连接处设有连接块；所述连接块的下表面设有减震板，所述减震板与所述连接块之间形成有间隙，所述减震板靠近所述连接块的一面设有固定块，所述连接块与所述减震板相邻的一面上设有固定槽，所述固定块与所述固定槽相对应；所述固定块上套设有第一弹簧，所述第一弹簧的另一端嵌入所述固定槽
。
[0009]优选地，所述第三边框上设有缓冲组件；所述缓冲组件包括导柱
、
缓冲板和第二弹簧；所述第三边框上开设有供所述导柱活动的滑动槽，且开设有容纳所述第二弹簧的第一凹槽；所述缓冲板上开设有容纳所述第二弹簧的第二凹槽；所述第二弹簧一端置于所述第一凹槽，另一端置于所述第二凹槽；所述缓冲板和所述导柱活动连接
。
[0010]优选地，所述空心横杆和空心竖杆的下表面均开设有安装槽，所述安装槽内装设耐腐蚀张紧件
。
[0011]优选地，所述横杆上的耐腐蚀张紧件一端通过压板固定于第二边框上，另一端通过弹性滑动张紧单元固定于第四边框上；所述竖杆上的耐腐蚀张紧件一端通过弹性滑动张紧单元固定于第一边框上，另一端通过压板固定于第三边框上；
[0012]优选地，所述耐腐蚀张紧件为金属丝或薄金属带
。
[0013]优选地，所述耐腐蚀张紧件由镍基合金材质所制成
。
[0014]优选地，所述承载面涂覆有防护涂层
。
[0015]优选地，所述承载面向下倾斜设置
。
[0016]优选地，所述载板框架和所述支撑框均由铝材质所制
。
[0017]通过采用上述的技术方案，本技术的有益效果是：
[0018]本技术通过支撑框采用空心横杆和空心竖杆所制成，导热性好，无变形问题，同时降低生产载板的成本；在边框上的连接块下表面减震板，及弹簧，使得在镀膜及运输过程中震动减小，防止待镀膜件在支撑框上发生移动错位等情况
。
附图说明
[0019]图1为本技术整体结构示意图；
[0020]图2为本技术图
1B
处放大图；
[0021]图3为本技术图
1A
‑
A
剖视放大图；
[0022]图4为本技术的载板框架结构图；
[0023]图5为本技术的支撑框结构图；
[0024]附图标记说明：
[0025]1‑
支撑框
11
‑
空心横杆
12
‑
空心竖杆；
[0026]2‑
载板框架
21
‑
第一边框
22
‑
第二边框
23
‑
第三边框
231
‑
滑动槽
232
‑
第一凹槽
24
‑
第四边框
25
‑
连接块
251
‑
固定槽；
[0027]3‑
镂空部
[0028]4‑
减震板
41
‑
固定块；
[0029]5‑
间隙；
[0030]6‑
第一弹簧；
[0031]7‑
缓冲组件
71
‑
导柱
72
‑
缓冲板
721
‑
第二凹槽
73
‑
第二弹簧；
[0032]8‑
耐腐蚀张紧件
[0033]9‑
压板
。
具体实施方式
[0034]为使专利技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0035]本技术提供了一种
PECVD
镀膜载板，包括支撑框1和对支撑框进行承载的载板框架2；载板框架2包括第一边框
21、
第二边框
22、
第三边框
23、
第四边框
24
和连接块
25
；支撑框1包括空心横杆
11
和空心竖杆
12
，空心横杆
11
与空心竖杆
12
相互交织形成若干镂空部3，镂空部3上设有承载面，承载面用于承托待镀膜件；支撑框1采用空心横杆
11
和空心竖杆
12
所制成，导热性好，无变形问题，同时降低生产载板的成本；
[0036]第一边框
21、
第二边框
22、
第三边框
23
和第四边框
24
的各个连接处设有连接块
25
；通过连接块
25
将各个边框组合完成，方便安装，当边框出现损坏时，易于更换降低维护成本；连接块
25本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
PECVD
镀膜载板，其特征在于：包括支撑框和对所述支撑框进行承载的载板框架；所述载板框架包括第一边框
、
第二边框
、
第三边框
、
第四边框和连接块；所述支撑框包括空心横杆和空心竖杆，所述空心横杆与空心横杆相互交织形成若干镂空部，所述镂空部上设有承载面；所述第一边框
、
第二边框
、
第三边框和第四边框的各个连接处设有连接块；所述连接块的下表面设有减震板，所述减震板与所述连接块之间形成有间隙，所述减震板靠近所述连接块的一面设有固定块，所述连接块与所述减震板相邻的一面上设有固定槽，所述固定块与所述固定槽相对应；所述固定块上套设有第一弹簧，所述弹簧的另一端嵌入所述固定槽
。2.
根据权利要求1所述的一种
PECVD
镀膜载板，其特征在于：所述第三边框上设有缓冲组件；所述缓冲组件包括导柱
、
缓冲板和第二弹簧；所述第三边框上开设有供所述导柱活动的滑动槽，且开设有容纳所述弹簧的第一凹槽；所述缓冲板上开设有容纳所述弹簧的第二凹槽；所述弹簧一端置于所述第一凹槽，另一端置于所述第二凹槽；所述缓冲板和所述导柱活动连接
。3.
根据权利要求1所述的一种<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王小海，江木元，张清江，徐尔强，王武鹏，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：