一种磁吸式半导体组件清洗载具制造技术

本实用新型专利技术提供一种磁吸式半导体组件清洗载具，包括载盘、磁力件、紧固组件及导线组件固定条，载盘包括至少一承载区，承载区包括至少一固定条安装区及至少两垂向贯穿间隔设置的第一通孔；磁力件位于载盘上并设有第二通孔；紧固组件包括螺钉及螺母，螺钉的底端穿过第二通孔及第一通孔与螺母连接以固定磁力件；导线组件固定条位于固定条安装区上并通过磁力件磁吸于载盘上以固定待清洗半导体组件边缘，导线组件固定条包括至少两个垂向贯穿间隔设置的以使螺钉顶端穿过的第三通孔。该清洗载具采用磁吸方式固定待清洗半导体组件，使用时拆卸方便，能够明显提升生产效率，且同时提高清洗载具的使用寿命及方便后期的保养维护，有利于生产成本的降低。利于生产成本的降低。利于生产成本的降低。

【技术实现步骤摘要】
一种磁吸式半导体组件清洗载具


[0001]本技术属于半导体生产制造领域，涉及一种磁吸式半导体组件清洗载具。

技术介绍

[0002]半导体清洗是贯穿整个半导体产品制造过程的重要工艺环节，清洗工艺好坏是提升良率的关键。随着尺寸缩小、结构复杂化，芯片对杂质含量的敏感度也相应提高，直接影响到产品良率，随着半导体产品的更新迭代，清洗工序的数量和重要性会继续提升，针对不同半导体产品的清洗设备及相关工装也随之更新换代。
[0003]目前，针对部分半导体产品(如玻璃基半导体组件相关产品)，通常采用平板式清洗机进行清洁，并且由于平板式清洗机的工作特性，整个清洗流程中会经过清洗剂(水及溶剂等)喷淋、滚刷接触清洗、风刀吹干、加热烘干以及等离子轰击等工艺步骤，在对半导体组件进行清洗时，需先将半导体组件通过专用工装载具进行固定，然后再送入清洗设备内进行连续的清洗流转，以防止在对半导体组件清洗过程中造成半导体组件遭到损坏或清洗不完全的情况发生。请参阅图1，显示为半导体组件的整体结构示意图，半导体组件100包括半导体基底101及导线组件102，导线组件102分布于半本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁吸式半导体组件清洗载具，其特征在于，包括：载盘，包括至少一用于承载待清洗半导体组件的承载区，所述承载区包括至少一固定条安装区及至少两垂向贯穿所述固定条安装区且间隔设置的第一通孔；至少两个磁力件，所述磁力件位于所述载盘朝上的一面，所述磁力件中设有对准所述第一通孔的第二通孔；至少两个紧固组件，所述紧固组件包括螺钉及螺母，所述螺钉的底端依次穿过所述第二通孔及所述第一通孔与所述螺母连接以将所述磁力件固定于所述载盘上；至少一导线组件固定条，所述导线组件固定条位于所述固定条安装区上并通过所述磁力件磁吸于所述载盘上以使所述导线组件固定条压住所述待清洗半导体组件的边缘，所述导线组件固定条包括至少两个垂向贯穿所述导线组件固定条且间隔设置的第三通孔，所述螺钉的顶端穿过所述第三通孔。2.根据权利要求1所述的磁吸式半导体组件清洗载具，其特征在于：所述载盘的上表面还设有位于所述固定条安装区以容纳所述磁力件的第一容纳槽。3.根据权利要求1所述的磁吸式半导体组件清洗载具，其特征在于：所述载盘的下表面还设有位...

【专利技术属性】
技术研发人员：金吕超，许义全，张世晓，王浩，李庆伟，
申请(专利权)人：奕瑞影像科技太仓有限公司，
类型：新型
国别省市：