一种伯努利夹盘及使用方法技术

本发明专利技术属于半导体加工清洗技术领域，具体涉及一种伯努利夹盘及使用方法，包括：转动设置的支撑座，所述支撑座的顶部转动设置有若干支撑柱，所述支撑柱的顶部偏心设置有夹持柱，所述支撑柱的侧壁设置有拨动板，所述拨动板上开设有贯穿的拨动缺口；同轴设置在所述支撑座顶部的转动座，所述转动座上设置有拨动柱，所述拨动柱始终卡设在所述拨动缺口内，以及所述转动座的底部与所述支撑座的顶部之间设置有若干弹性结构，以使当所述支撑座在变速旋转时，所述转动座能够相对所述支撑座发生转动；当所述支撑座由变速旋转转变为匀速旋转时，所述转动座能够回到初始位置；同轴设置在所述支撑座上的吸附组件

【技术实现步骤摘要】
一种伯努利夹盘及使用方法


[0001]本专利技术属于半导体加工清洗
，具体涉及一种伯努利夹盘及使用方法
。

技术介绍

[0002]在半导体生产行业，伯努利非接触式夹盘是固定晶圆的一种常用方式，但是现有的伯努利夹盘在使用时，需要在晶圆的侧壁设置若干夹持柱来辅助限位，因此在对晶圆的清洗时，夹持柱与晶圆的接触位置无法被良好清洗；因此，提供一种能够对晶圆的侧壁进行良好清洗的伯努利夹盘及使用方法是很有必要的
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种伯努利夹盘及使用方法，以解决晶圆侧壁无法良好清洁的技术问题
。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种伯努利夹盘，包括：转动设置的支撑座，所述支撑座的顶部转动设置有若干支撑柱，所述支撑柱的顶部偏心设置有夹持柱，所述支撑柱的侧壁设置有拨动板，所述拨动板上开设有贯穿的拨动缺口；同轴设置在所述支撑座顶部的转动座，所述转动座上设置有拨动柱，所述拨动柱始终卡设在所述拨动缺口内，以及所述转动座的底部与所述支撑座的顶部之间设置有若干弹性结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种伯努利夹盘，其特征在于，包括：转动设置的支撑座，所述支撑座的顶部转动设置有若干支撑柱（
110
），所述支撑柱（
110
）的顶部偏心设置有夹持柱（
120
），所述支撑柱（
110
）的侧壁设置有拨动板（
130
），所述拨动板（
130
）上开设有贯穿的拨动缺口（
131
）；同轴设置在所述支撑座顶部的转动座（
200
），所述转动座（
200
）上设置有拨动柱（
210
），所述拨动柱（
210
）始终卡设在所述拨动缺口（
131
）内，以及所述转动座（
200
）的底部与所述支撑座的顶部之间设置有若干弹性结构（
140
），以使当所述支撑座在变速旋转时，所述转动座（
200
）能够相对所述支撑座发生转动；当所述支撑座由变速旋转转变为匀速旋转时，所述转动座（
200
）能够回到初始位置；同轴设置在所述支撑座上的吸附组件
。2.
如权利要求1所述的伯努利夹盘，其特征在于，所述弹性结构（
140
）包括固定块（
141
）
、
弹簧本体（
142
）和活动块（
143
）；所述固定块（
141
）设置在所述支撑座的顶部，所述活动块（
143
）设置在所述转动座（
200
）的底部，所述弹簧本体（
142
）设置在所述固定块（
141
）和所述活动块（
143
）之间，并且所述弹簧本体（
142
）的两端分别固定在所述固定块（
141
）和所述活动块（
143
）的侧壁
。3.
如权利要求2所述的伯努利夹盘，其特征在于，所述转动座（
200
）的侧壁开设有若干转动缺口（
220
），所述活动块（
143
）设置在所述转动缺口（
220
）内；所述支撑座的顶部开设有若干所述支撑槽（
150
），所述固定块（
141
）设置在所述支撑槽（
150
）内，以及所述固定块（
141
）伸入所述转动缺口（
220
）内
。4.
如权利要求1所述的伯努利夹盘，其特征在于，所述转动座（
200
）上开设有若干弧形的限位槽（
230
）；所述支撑座的顶部设置有若干行程限位销（
160
），每个所述行程限位销（
160
）分别插接在所述限位槽（
230
）内，以及所述限位槽（
230
）的轴线与所述转动座（
200
）的旋转轴线同轴
。5.
如权利要求1所述的伯努利夹盘，其特征在于，所述转动座（
200
）的侧壁开设有若干缓冲缺口（
240
），所述缓冲缺口（
240
）内设置有阻尼器（
250
）；所述支撑座的顶部设置有阻尼板（
170
），以及所述阻尼器（
250
）的固定端设置在所述缓冲缺口（
240
）的侧壁，所述阻尼器（
250
）的活动端设置在所述阻尼板（
170
）上
。6.
如权利要求1所述的伯努利夹盘，其特征在于，所述支撑座的顶部开设有若干拨动槽（
180
），所述拨动缺口（
131
）伸出至所述拨动槽（
180
）的上方；所述转动座（
200
）的侧壁一体设置有连接块（
260
），所述连接块（
260
）伸出至所述拨动槽（
180
）的上方，所述连接块（
260
）的底部设置有拨动块（
270
），且所述拨动柱（
210
）设置在所述拨动块（
270
）的顶部，以及所述拨动块（
270
）卡设在所述拨动槽（
180
）内
。
7.
如权利要求1所述的伯努利夹盘，其特征在于，所述吸附组件包括同轴设置在所述支撑座上的出气板（
300
），所述出气板（
300
）的顶部开设有若干出气口（
310
）；所述支撑座的上方盖设有支撑板（
400
），所述支撑板（
400
）上开设有若干支撑孔（
410
），所述支撑板（
400
）上设置有与所述出气板（
300
）适配的贯穿孔（
430
），以及支撑柱（
110
）贯穿设置在所述支撑孔（
410
）内
。8.
如权利要求7所述的伯努利夹盘，其特征在于，所述伯努利夹盘还包括底座本体（
500
），所述底座本体（
500
）上设置有驱动电机（
510
），所述驱动电机（
510
）的输出轴中空设置，所述出气板（
300
）的底部设置有出气柱（
320
），所述出气柱（
320
）内部中空并且与所述出气口（
310
）连通，所述出气柱（
320
）插接在所述驱动电机（
510
）的输出轴内；所述转动座（
200
）的底部一体设置有转动环（
280
），所述转动环（
2...

【专利技术属性】
技术研发人员：许峯嘉，徐柏翔，石雷，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：发明
国别省市：