微型发光模组制造技术

本申请提供一种微型发光模组

【技术实现步骤摘要】
微型发光模组、显示装置及微型发光模组的制备方法


[0001]本申请涉及半导体显示器件领域，特别涉及一种微型发光模组
、
显示装置及微型发光模组的制备方法
。

技术介绍

[0002]随着显示技术的逐步发展，微发光二极管显示器
(Micro Light Emitting Diode Display
，简称
Micro LED
显示器
)
因具有消耗功率低
、
寿命长
、
亮度高等优点而逐渐成为一种新型显示器件
。
[0003]但是，伴随着电子技术的发展，轻薄化的
Micro LED
显示器更受市场欢迎
。
目前，相关技术的
Micro LED
显示器的厚度较厚，如何实现更轻薄的
Micro LED
显示器成为难题
。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种微型发光模组
、
显示装置及微型发光模组的制备方法，该微型发光模组及显示装置的厚度较小，可以解决相关技术中
Micro LED
显示器厚度大的问题
。
[0005]第一方面，本申请提供一种微型发光模组，包括：
[0006]衬底，所述衬底上形成有第一凹槽结构，所述第一凹槽结构包括承载面和第一侧面，所述第一侧面与所述承载面倾斜连接；
[0007]驱动单元，所述驱动单元设置于所述承载面；及
>[0008]显示单元，所述显示单元设置于所述第一侧面，所述显示单元包括外延结构和电极，所述外延结构通过所述电极电连接于所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光
。
[0009]可选的，所述承载面包括至少两个第一连接面，所述第一凹槽结构包括至少两个所述第一侧面，至少两个所述第一侧面相互连接，每一所述第一连接面倾斜连接于一个所述第一侧面，不同的所述第一连接面倾斜连接于不同的所述第一侧面；
[0010]其中，所述驱动单元设置于至少一个所述第一连接面
。
[0011]可选的，所述承载面包括底面和第一连接面，所述第一连接面平行于所述底面，所述第一侧面分别与所述底面和所述第一连接面倾斜连接；
[0012]其中，所述第一连接面
、
所述底面中的至少一个面上设有所述驱动单元
。
[0013]可选的，所述衬底上还形成有第二凹槽结构，所述第二凹槽结构包括至少两个第二连接面以及至少两个第二侧面，至少两个所述第二侧面相互连接，每一所述第二连接面倾斜连接于一个第二侧面，不同的所述第二连接面倾斜连接于不同的所述第二侧面；
[0014]其中，至少一个所述第二连接面上设有所述驱动单元，和
/
或，至少一个所述第二侧面上设有所述显示单元
。
[0015]可选的，所述微型发光模组包括多个驱动单元和多个显示单元，所述驱动单元采用下列至少一种电连接方式与所述显示单元电连接：
[0016]在一个所述第一凹槽结构内，所述外延结构通过所述电极电连接于至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；
[0017]当所述衬底上形成多个所述第一凹槽结构时，一个所述第一凹槽结构内的所述外延结构通过所述电极电连接于其他的所述第一凹槽结构内的至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；
[0018]在一个所述第二凹槽结构内，所述外延结构通过所述电极电连接于至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；
[0019]当所述衬底上形成有多个所述第二凹槽结构时，一个所述第二凹槽结构内的所述外延结构通过所述电极电连接于其他的所述第二凹槽结构内的至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；
[0020]一个所述第二凹槽结构内的所述外延结构通过所述电极电连接于至少一个所述第一凹槽结构内的至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；
[0021]一个所述第一凹槽结构内的所述外延结构通过所述电极电连接于至少一个所述第二凹槽结构内的至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光
。
[0022]可选的，所述显示单元包括出光面；所述微型发光模组还包括：
[0023]第一调光单元，所述第一调光单元设置于所述第二凹槽结构，所述第一调光单元包括第一调光面，在所述第二凹槽结构内，所述第一调光面与所述出光面相对设置
、
且所述第一调光面与所述出光面的夹角为锐角
。
[0024]可选的，所述显示单元包括出光面；所述微型发光模组还包括：
[0025]第二调光单元，所述第二调光单元设置于所述第一凹槽结构，所述第二调光单元包括第二调光面，在所述第一凹槽结构内，所述第二调光面与所述出光面相对设置，且所述第二调光面与所述出光面的夹角为锐角
。
[0026]可选的，所述第一侧面为硅晶圆
(111)
晶向平面，所述承载面为硅晶圆
(100)
晶向表面或者硅晶圆
(110)
晶向表面
。
[0027]可选的，所述外延结构包括依次层叠设置的本征
GaN
层
、N
型
GaN
层
、
多重量子阱层和
P
型
GaN
层；所述电极包括
P
电极和
N
电极，所述
P
电极与所述
P
型
GaN
层电连接，所述
N
电极与所述
N
型
GaN
层电连接；和
/
或，
[0028]所述驱动单元为
PMOS
单元或
NMOS
单元
。
[0029]第二方面，本申请还提供一种显示装置，包括：
[0030]如上所述的微型发光模组；及
[0031]控制电路，所述控制电路与每一所述驱动单元电连接，以通过所述驱动单元控制所述显示单元的发光状态
。
[0032]第三方面，本申请还提供一种微型发光模组的制备方法，包括：
[0033]在衬底上形成第一凹槽结构；其中，所述第一凹槽结构包括承载面和第一侧面，所述第一侧面与所述承载面倾斜连接；
[0034]在所述承载面上形成第一绝缘层；
[0035]在所述第一侧面上外延生长出外延结构并形成电极，以形成显示单元；
[0036]去除所述第一绝缘层，并在所述承载面上形成驱动单元；
[0037]将所述外延结构通过所述电极电连接于所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所
述显示单元发光
。
[0038]可选的，所述承载面包括至少两个第一连接面，所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种微型发光模组，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上形成有第一凹槽结构，所述第一凹槽结构包括承载面和第一侧面，所述第一侧面与所述承载面倾斜连接；驱动单元，所述驱动单元设置于所述承载面；及显示单元，所述显示单元设置于所述第一侧面，所述显示单元包括外延结构和电极，所述外延结构通过所述电极电连接于所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光
。2.
根据权利要求1所述的微型发光模组，其特征在于，所述承载面包括至少两个第一连接面，所述第一凹槽结构包括至少两个所述第一侧面，至少两个所述第一侧面相互连接，每一所述第一连接面倾斜连接于一个所述第一侧面，不同的所述第一连接面倾斜连接于不同的所述第一侧面；其中，所述驱动单元设置于至少一个所述第一连接面
。3.
根据权利要求1所述的微型发光模组，其特征在于，所述承载面包括底面和第一连接面，所述第一连接面平行于所述底面，所述第一侧面分别与所述底面和所述第一连接面倾斜连接；其中，所述第一连接面
、
所述底面中的至少一个面上设有所述驱动单元
。4.
根据权利要求3所述的微型发光模组，其特征在于，所述衬底上还形成有第二凹槽结构，所述第二凹槽结构包括至少两个第二连接面以及至少两个第二侧面，至少两个所述第二侧面相互连接，每一所述第二连接面倾斜连接于一个第二侧面，不同的所述第二连接面倾斜连接于不同的所述第二侧面；其中，至少一个所述第二连接面上设有所述驱动单元，和
/
或，至少一个所述第二侧面上设有所述显示单元
。5.
根据权利要求4所述的微型发光模组，其特征在于，所述微型发光模组包括多个驱动单元和多个显示单元，所述驱动单元采用下列至少一种电连接方式与所述显示单元电连接：在一个所述第一凹槽结构内，所述外延结构通过所述电极电连接于至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；当所述衬底上形成多个所述第一凹槽结构时，一个所述第一凹槽结构内的所述外延结构通过所述电极电连接于其他的所述第一凹槽结构内的至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；在一个所述第二凹槽结构内，所述外延结构通过所述电极电连接于至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；当所述衬底上形成有多个所述第二凹槽结构时，一个所述第二凹槽结构内的所述外延结构通过所述电极电连接于其他的所述第二凹槽结构内的至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；一个所述第二凹槽结构内的所述外延结构通过所述电极电连接于至少一个所述第一凹槽结构内的至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光；一个所述第一凹槽结构内的所述外延结构通过所述电极电连接于至少一个所述第二凹槽结构内的至少一个所述驱动单元，以使所述驱动单元驱动所述显示单元发光
。
6.
根据权利要求4所述的微型发光模组，其特征在于，所述显示单元包括出光面；所述微型发光模组还包括：第一调光单元，所述第一调光单元设置于所述第二凹槽结构，所述第一调光单元包括第一调光面，在所述第二凹槽结构内，所述第一调光面与所述出光面相对设置
、
且所述第一调光面与所述出光面的夹角为锐角
。7.
根据权利要求1至5任一项所述的微型发光模组，其特征在于，所述显示单元包括出光面；所述微型发光模组还包括：第二调光单元，所述第二调光单元设置于所述第一凹槽结构，所述第二调光单元包括第二调光面，在所述第一凹槽结构内，所述第二调光面与所述出光面相对设置，且所述第二调光面与所述出光面的夹角为锐角
。8.
根据权利要求1至6任一项所述的微型发光模组，其特征在于，所述第一侧面为硅晶圆
(111)
晶向平面，所述承载面为硅晶圆
(100)
晶向表面或者硅晶圆
(110)
晶向表面
。9.
根据权利要求1至6任一项所述的微型发光模组，其特征在于，所述外延结构包括依次层叠设置的本征
GaN
层
、N
型
GaN
层
、
多重量子阱层和
P
型
GaN
层；所述电极包括
P
电极和
N
电极，所述
P
电极与所述
P
型
GaN
层电连接，所述
N
电极与所述
N
型
GaN
层电连接；和
/
或，所述驱动单元为
PMOS
单元或
NMOS

【专利技术属性】
技术研发人员：周玮，陈家华，
申请(专利权)人：深圳市思坦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：