一种具有尾气处理功能的浸泡机制造技术

本发明专利技术涉及

【技术实现步骤摘要】
一种具有尾气处理功能的浸泡机


[0001]本专利技术涉及
LED
外延片生产
，具体为一种具有尾气处理功能的浸泡机
。

技术介绍

[0002]LED
外延片是一块加热至适当温度的衬底基片，材料是半导体照明产业技术发展的基石，不同的衬底材料，需要不同的
LED
外延片生长技术
、
芯片加工技术和器件封装技术，衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线
。
[0003]而
LED
外延片的具体生产工艺可分为：切片
、
退火
、
倒角，分档检测
、
研磨以及清洗，在清洗步骤中：将
LED
外延片放置在浸泡机中，通过有机溶剂的溶解作用，从而去除表面的有机杂质，此工序会产生有机废气等尾气
。
[0004]目前的清洗工艺中，是将
LED
外延片静止在浸泡机的溶解剂内，二者不能充分发生反应，导致去除有机杂质的效果不能达到最佳，并且静止状态下溶解剂内的尾气不能充分快速地释放出来，并且缺乏一种有效的尾气处理功能，溶解过程中挥发出的气体，不仅容易造成环境污染，而且不利于作业人员的身心健康，存在安全隐患，鉴于此，我们提出了一种具有尾气处理功能的浸泡机
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种具有尾气处理功能的浸泡机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种具有尾气处理功能的浸泡机，包括机架，所述机架底部右侧上表面固定安装有控制台，所述机架底部中心上表面固定连接浸泡池底部，所述浸泡池后侧弧形侧壁固定安装有进液管，所述浸泡池前侧弧形侧壁固定安装有出液管，所述进液管和出液管弧形侧壁均固定安装有电磁阀，所述机架顶部上表面固定安装有伺服液压缸，所述伺服液压缸与控制台电性连接，所述伺服液压缸内部设置有活塞杆，所述机架内侧设置有转动机构，所述转动机构包括：
[0007]伺服电机，所述活塞杆底部固定连接伺服电机顶部，所述伺服电机底端输出端通过联轴器固定连接转轴顶部，所述转轴底端弧形外壁固定连接有两个圆盘中心弧形内壁，所述浸泡池顶部贴合顶盖底部，所述顶盖顶部上下表面均开设有圆槽，所述上下两个圆盘分别转动连接于上下两个圆槽内部；
[0008]固定块，所述位于转轴底端的一个圆盘底部固定连接固定块顶部，所述固定块右侧侧壁内部螺纹安装有螺纹杆；
[0009]旋钮，所述螺纹杆右侧固定安装有旋钮，所述螺纹杆左侧固定连接橡胶板右侧侧壁，所述固定块左侧内壁和橡胶板左侧侧壁之间分别贴合
LED
外延片本体顶端左右两侧外壁
。
[0010]优选的，所述活塞杆弧形外壁滑动贴合机架顶部内壁，所述转轴底端弧形外壁转动连接顶盖中心弧形内壁，配合两个圆盘和圆槽，使得活塞杆上下运动时可以带动顶盖同
步上下运动
。
[0011]优选的，所述圆盘位于浸泡池的正上方，二者圆形截面圆心同轴心，以使得顶盖可以封堵住浸泡池，防止尾气泄露
。
[0012]优选的，所述浸泡池内部设置有辅助组件，所述固定块前后侧方向侧壁固定连接侧板侧壁，所述侧板远离固定块的一端底部固定安装有圆杆
。
[0013]优选的，所述圆杆弧形外壁转动连接涡轮中心弧形内壁，所述侧板
、
圆杆以及涡轮设置有两组，且以固定块左右方向上的水平中线为镜像轴镜像设置在其前后两侧，且每一组中的涡轮数量为两个，以使得对溶解液的搅动效果更好，从而对
LED
外延片本体的清洗效果更好
。
[0014]优选的，所述涡轮圆形运动轨迹与
LED
外延片本体前后端侧壁不相交，防止涡轮转动与
LED
外延片本体产生运动干涉
。
[0015]优选的，所述机架内侧设置有扰流组件，所述转轴顶端弧形外壁固定连接右侧带轮中心弧形内壁，所述顶盖左侧弧形侧壁固定安装有侧块，所述侧块顶部弧形内壁转动安装有圆柱，所述圆柱弧形外壁固定连接中部带轮中心弧形内壁
。
[0016]优选的，所述机架底部左侧弧形内壁固定安装有废气桶，所述废气桶中心弧形内壁转动连接长杆底端弧形外壁，所述长杆顶端弧形外壁转动连接机架顶部左侧弧形内壁，所述长杆底端弧形外壁滑动套接于左侧带轮内部，所述右侧带轮
、
中部带轮以及左侧带轮外径相同，且位于同一水平面内，且三者分别传动连接传动带右侧内部
、
中部内部以及左侧内部
。
[0017]优选的，所述长杆弧形外壁固定安装有卡块，所述左侧带轮内部开设有卡槽，所述卡块滑动贴合于卡槽内部，所述长杆位于废气桶内部的弧形外壁固定安装有扰流板
。
[0018]优选的，所述浸泡池顶端左侧弧形侧壁和废气桶顶端右侧弧形侧壁分别固定连接出气管右侧侧壁和左侧侧壁，所述废气桶顶部弧形内壁卡接喷淋头弧形外壁，所述废气桶底部固定安装有出水口
。
[0019]与现有技术相比，本专利技术提供了一种具有尾气处理功能的浸泡机，具备以下有益效果：
[0020]1、
该具有尾气处理功能的浸泡机，为了更好地挥发出清洗过程中的尾气，通过设置有转动机构，配合伺服液压缸和活塞杆，使得顶盖向下运动直至贴合浸泡池顶部，当启动伺服电机，配合转轴
、
圆盘以及圆槽，使得固定块在浸泡池内部转动，进一步地，配合螺纹杆
、
旋钮和橡胶板可以夹持固定不同厚度的
LED
外延片本体，继而使得其进行转动，与溶解液充分发生反应，加速尾气的挥发
。
[0021]2、
该具有尾气处理功能的浸泡机，为了进一步加速挥发出清洗过程中的尾气，通过设置有辅助组件，当固定块转动时，配合侧板带动圆杆同步转动，从而带动涡轮在溶解液内部转动，从而多组转动的涡轮更好地使得
LED
外延片本体与溶解液充分发生反应，进一步加速尾气的挥发
。
[0022]3、
该具有尾气处理功能的浸泡机，为了更好地处理尾气，通过设置有扰流组件，当转轴转动时，配合右侧带轮
、
侧块
、
圆柱
、
中部带轮
、
左侧带轮
、
传动带
、
卡块以及卡槽，使得长杆带动扰流板进行转动，同时配合出气管将尾气输送至废气桶内部，配合喷淋头喷出的水雾，使得尾气充分与水结合，最终从出水口排出，继而达到了高效处理尾气的效果
。
附图说明
[0023]图1为本专利技术整体一种结构右视俯视示意图；
[0024]图2为本专利技术浸泡池剖视仰视示意图；
[0025]图3为本专利技术浸泡池剖视及其内部结构爆炸图示意图；
[0026]图4为本专利技术整体一种结构左视俯视示意图；
[0027]图5为本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种具有尾气处理功能的浸泡机，包括机架
(1)
，其特征在于：所述机架
(1)
底部右侧上表面固定安装有控制台
(2)
，所述机架
(1)
底部中心上表面固定连接浸泡池
(3)
底部，所述浸泡池
(3)
后侧弧形侧壁固定安装有进液管
(4)
，所述浸泡池
(3)
前侧弧形侧壁固定安装有出液管
(5)
，所述进液管
(4)
和出液管
(5)
弧形侧壁均固定安装有电磁阀
(6)
，所述机架
(1)
顶部上表面固定安装有伺服液压缸
(7)
，所述伺服液压缸
(7)
与控制台
(2)
电性连接，所述伺服液压缸
(7)
内部设置有活塞杆
(8)
，所述机架
(1)
内侧设置有转动机构
(9)
，所述转动机构
(9)
包括：伺服电机
(91)
，所述活塞杆
(8)
底部固定连接伺服电机
(91)
顶部，所述伺服电机
(91)
底端输出端通过联轴器固定连接转轴
(92)
顶部，所述转轴
(92)
底端弧形外壁固定连接有两个圆盘
(93)
中心弧形内壁，所述浸泡池
(3)
顶部贴合顶盖
(94)
底部，所述顶盖
(94)
顶部上下表面均开设有圆槽
(95)
，所述上下两个圆盘
(93)
分别转动连接于上下两个圆槽
(95)
内部；固定块
(96)
，所述位于转轴
(92)
底端的一个圆盘
(93)
底部固定连接固定块
(96)
顶部，所述固定块
(96)
右侧侧壁内部螺纹安装有螺纹杆
(97)
；旋钮
(98)
，所述螺纹杆
(97)
右侧固定安装有旋钮
(98)
，所述螺纹杆
(97)
左侧固定连接橡胶板
(99)
右侧侧壁，所述固定块
(96)
左侧内壁和橡胶板
(99)
左侧侧壁之间分别贴合
LED
外延片本体
(10)
顶端左右两侧外壁
。2.
根据权利要求1所述的一种具有尾气处理功能的浸泡机，其特征在于：所述活塞杆
(8)
弧形外壁滑动贴合机架
(1)
顶部内壁，所述转轴
(92)
底端弧形外壁转动连接顶盖
(94)
中心弧形内壁
。3.
根据权利要求1所述的一种具有尾气处理功能的浸泡机，其特征在于：所述圆盘
(93)
位于浸泡池
(3)
的正上方，二者圆形截面圆心同轴心
。4.
根据权利要求1所述的一种具有尾气处理功能的浸泡机，其特征在于：所述浸泡池
(3)
内部设置有辅助组件
(11)
，所述固定块
(96)
前后侧方向侧壁固定连接侧板
(111)
侧壁，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨天鹏，杨建国，卜浩礼，康建，
申请(专利权)人：江西圆融光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：