一种具有保护结构的除尘装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及外延片生产技术领域，且公开了一种具有保护结构的除尘装置，该具有保护结构的除尘装置，包括机体，所述机体正面顶端设置有控制台，所述机体正面侧壁滑动安装有移动门，所述机体内部设置有固定组件和转动机构，所述机体内部设置有

【技术实现步骤摘要】
一种具有保护结构的除尘装置


[0001]本专利技术涉及外延片生产
，具体为一种具有保护结构的除尘装置
。

技术介绍

[0002]外延是半导体工艺当中的一种，硅片最底层是
P
型衬底硅
(
有的加点埋层
)
，然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层，再后来在外延层上注入基区
、
发射区等等，最后基本形成纵向
NPN
管结构：外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区，外延片就是在衬底上做好外延层的硅片
。
[0003]外延片是指用外延工艺在衬底表面生长薄膜所生片的单晶硅片，一般外延层厚度为2‑
20
微米，作为衬底的单晶硅片厚度为
610
微米左右
。
[0004]外延片是由加工完成的单晶硅棒切割而成，切割完成的外延片表面易残留灰尘
、
粉尘等污染物，这些污染物会影响外延片的质量，从而影响芯片的性能，现有装置在除尘时不能方便地对不同外径大小的外延片进行夹持固定，并且固定方式不稳固，不能进行很好的保护，并且在除尘时吸尘方向固定不便导致除尘效果不佳，鉴于此，我们提出了一种具有保护结构的除尘装置
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种具有保护结构的除尘装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种具有保护结构的除尘装置，包括机体，所述机体正面顶端设置有控制台，所述机体正面侧壁滑动安装有移动门，所述机体内部设置有固定组件和转动机构，所述固定组件包括：
[0007]U
形架，所述机体内部设置有
U
形架，所述
U
形架侧壁固定安装有伺服减速异步马达，所述伺服减速异步马达与控制台电信连接，所述伺服减速异步马达输出端通过联轴器固定连接双向螺纹杆一端，所述双向螺纹杆另一端及其两端弧形外壁转动连接
U
形架侧壁内部；
[0008]螺纹块，所述双向螺纹杆外侧螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块左右方向上的侧壁固定连接长杆一侧侧壁，所述长杆远离螺纹块的一侧侧壁固定安装有矩形板；
[0009]短杆，所述螺纹块内外侧方向上的侧壁固定连接短杆一端侧壁，所述短杆远离螺纹块的一端侧壁固定连接滑套弧形外壁，所述
U
形架侧壁之间固定安装有滑柱，所述滑套弧形外壁滑动连接滑柱弧形外壁
。
[0010]优选的，所述螺纹块
、
长杆以及矩形板设置有两组，且以双向螺纹杆水平中线为镜像轴镜像设置在其两侧，所述双向螺纹杆两侧的螺纹旋向相反，以使得两个螺纹块可以做相向运动
。
[0011]优选的，所述单个螺纹块外侧的短杆
、
滑套以及滑柱设置有两组，且以螺纹块竖直中线为镜像轴镜像设置在其内外两侧，配合滑套和滑柱，可以约束螺纹块的运动方向，使其
只能横向移动，而不能旋转
。
[0012]优选的，所述转动机构包括底柱，所述机体内部底面固定安装有两个底柱，所述两个底柱顶部分别固定连接
L
形板内外侧两端底部，所述
L
形板内外侧两端顶部分别固定安装有固定块，所述位于外侧的一个固定块外侧侧壁固定安装有伺服减速电机，所述伺服减速电机与控制台电性连接
。
[0013]优选的，所述伺服减速电机输出端通过联轴器固定连接蜗杆一端，所述蜗杆另一端及其弧形外壁转动连接固定块弧形内壁，所述
L
形板竖直段侧壁中心弧形内壁转动连接圆柱弧形外壁，所述圆柱右端弧形外壁转动连接
U
形架侧壁中心弧形内壁，所述圆柱左端弧形外壁固定连接涡轮中心弧形内壁，所述蜗杆啮合连接涡轮
。
[0014]优选的，所述机体内部设置有移动组件，所述移动组件包括主动带轮，所述圆柱左端弧形外壁固定连接主动带轮中心弧形内壁
。
[0015]优选的，所述机体内部底面内侧固定安装有两个固定杆，所述两个固定杆顶端弧形内壁之间分别转动连接往复丝杆左右两端弧形外壁，所述往复丝杆左端弧形外壁固定连接从动带轮中心弧形内壁，所述主动带轮弧形外壁传动连接传动带一端内部，所述传动带远离主动带轮的一端内部传动连接从动带轮弧形外壁
。
[0016]优选的，所述往复丝杆外侧螺纹连接移动块内部，所述两个固定杆顶端弧形外壁之间分别固定连接连杆左右两端弧形内壁，所述连杆顶部开设有左右方向的矩形槽，所述移动块底部固定连接限位杆顶部，所述限位杆底端弧形外壁滑动贴合矩形槽内部，配合限位杆和矩形槽，可以约束移动块的运动方向，使其只能左右移动，而不能旋转，所述移动块顶端弧形内壁固定连接吸尘嘴弧形外壁，所述吸尘嘴内侧侧壁固定连接软管一端，所述机体内部底面固定安装有吸尘机，所述软管远离吸尘嘴的一端固定连接吸尘机
。
[0017]优选的，所述机体内部设置有辅助组件，所述辅助组件包括弹簧，所述矩形板朝向双向螺纹杆中心的一侧侧壁固定连接弹簧一端，所述弹簧另一端固定连接橡胶板侧壁
。
[0018]优选的，所述弹簧和橡胶板设置有两组，且均以双向螺纹杆水平中线为镜像轴镜像设置在其两侧，且每一组中的弹簧数量设置有多个，且等间距线性阵列在矩形板侧壁，以使得橡胶板运动得更加稳定
。
[0019]与现有技术相比，本专利技术提供了一种具有保护结构的除尘装置，具备以下有益效果：
[0020]1、
该具有保护结构的除尘装置，为了更好地对外延片进行夹持固定，通过设置有固定组件，当启动伺服减速异步马达，配合双向螺纹杆
、
螺纹块以及长杆，使得两个矩形板做相向运动，当相互靠近时则可以对外延片进行夹持固定，防止夹持不稳，对其进行保护，进一步地，当螺纹块移动时，滑套也在滑柱弧形外壁滑动
。
[0021]2、
该具有保护结构的除尘装置，为了使得除尘效果更好，通过设置有转动机构，当启动伺服减速电机，配合底柱以及
L
形板，使得蜗杆在两个固定块之间转动，从而带动涡轮转动，从而配合圆柱带动
U
形架转动，从而使得外延片进行转动，从而可以更好地被移动组件中的吸尘装置吸尘，使得除尘效果更好
。
[0022]3、
该具有保护结构的除尘装置，为了更好地对外延片进行除尘，通过设置有移动组件，当圆柱转动时，配合主动带轮
、
传动带以及从动带轮，使得往复丝杆在两个固定杆之间转动，从而配合移动块带动吸尘嘴左右移动，从而配合软管和吸尘机可以更好地对外延
片进行除尘，与此同时，限位杆会在矩形槽内部移动
。
[0023]4、
该具有保护结构的除尘装置，为了更好地对外延片进行保护，防止夹持过度对其造成损坏，通过设置有辅助组件，当通过两个矩形板对外延片进行夹持时，会首先配合弹簧，使得两个橡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种具有保护结构的除尘装置，包括机体
(1)
，其特征在于：所述机体
(1)
正面顶端设置有控制台
(2)
，所述机体
(1)
正面侧壁滑动安装有移动门
(3)
，所述机体
(1)
内部设置有固定组件
(4)
和转动机构
(5)
，所述固定组件
(4)
包括：
U
形架
(41)
，所述机体
(1)
内部设置有
U
形架
(41)
，所述
U
形架
(41)
侧壁固定安装有伺服减速异步马达
(42)
，所述伺服减速异步马达
(42)
与控制台
(2)
电信连接，所述伺服减速异步马达
(42)
输出端通过联轴器固定连接双向螺纹杆
(43)
一端，所述双向螺纹杆
(43)
另一端及其两端弧形外壁转动连接
U
形架
(41)
侧壁内部；螺纹块
(44)
，所述双向螺纹杆
(43)
外侧螺纹连接有螺纹块
(44)
，所述螺纹块
(44)
左右方向上的侧壁固定连接长杆
(45)
一侧侧壁，所述长杆
(45)
远离螺纹块
(44)
的一侧侧壁固定安装有矩形板
(46)
；短杆
(47)
，所述螺纹块
(44)
内外侧方向上的侧壁固定连接短杆
(47)
一端侧壁，所述短杆
(47)
远离螺纹块
(44)
的一端侧壁固定连接滑套
(48)
弧形外壁，所述
U
形架
(41)
侧壁之间固定安装有滑柱
(49)
，所述滑套
(48)
弧形外壁滑动连接滑柱
(49)
弧形外壁
。2.
根据权利要求1所述的一种具有保护结构的除尘装置，其特征在于：所述螺纹块
(44)、
长杆
(45)
以及矩形板
(46)
设置有两组，且以双向螺纹杆
(43)
水平中线为镜像轴镜像设置在其两侧，所述双向螺纹杆
(43)
两侧的螺纹旋向相反
。3.
根据权利要求1所述的一种具有保护结构的除尘装置，其特征在于：所述单个螺纹块
(44)
外侧的短杆
(47)、
滑套
(48)
以及滑柱
(49)
设置有两组，且以螺纹块
(44)
竖直中线为镜像轴镜像设置在其内外两侧
。4.
根据权利要求1所述的一种具有保护结构的除尘装置，其特征在于：所述转动机构
(5)
包括底柱
(51)
，所述机体
(1)
内部底面固定安装有两个底柱
(51)
，所述两个底柱
(51)
顶部分别固定连接
L
形板
(52)
内外侧两端底部，所述
L
形板
(52)
内外侧两端顶部分别固定安装有固定块
(53)
，所述位于外侧的一个固定块
(53)
外侧侧壁固定安装有伺服减速电机
(54)
，所述伺服减速电机
(54)
与控制台
(2)
电性连接
。5.
根据权利要求4所述的一种具有保护结构的除尘装置，其特征在于：所述伺服减速电机
(54)
输出端通过联...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨天鹏，杨建国，卜浩礼，康建，
申请(专利权)人：江西圆融光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：