一种光刻机用陶瓷吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，涉及光刻机技术领域，包括陶瓷盘和底座，所述陶瓷盘的内部开设有四个相对应的第一转动槽，所述第一转动槽的内部转动连接有转动旋钮，所述陶瓷盘的内部且位于第一转动槽的一侧开设有第二转动槽，所述第一转动槽的底部固定有转动柱，所述转动柱转动于第二转动槽的内部，所述陶瓷盘的内部且位于第二转动槽的一侧开设有弧形转动槽，所述转动柱的底部固定连接有转动杆，本实用新型专利技术的有益效果为：通过转动旋钮

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机用陶瓷吸盘


[0001]本技术涉及光刻机
，具体为一种光刻机用陶瓷吸盘
。

技术介绍

[0002]高端光刻机在工件台等系统采用陶瓷材料，是为解决运动及测量的高精度要求
。
应用于光刻机的吸盘为一种采用陶瓷制作的中空结构，吸盘通过接管与真空设备连接，然后与大尺寸硅片接触，启动真空抽吸，使吸盘内产生负压，从而将硅片吸牢
。
现有的陶瓷吸盘结构在制作过程中，由于陶瓷烧结过程中产生内应力，使吸盘变形，很难满足产品的使用要求
。
[0003]陶瓷吸盘的表面容易吸附灰尘，从而影响陶瓷吸盘的吸附性能，需要对陶瓷盘进行替换，但是陶瓷吸盘大多通过螺栓固定，拆卸困难，增加了工作人员的工作强度，为此我们提出一种光刻机用陶瓷吸盘
。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种光刻机用陶瓷吸盘，解决了上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种光刻机用陶瓷吸盘，包括陶瓷盘和底座，所述陶瓷盘的内部开设有四个相对应的第一转动槽，所述第一转动槽的内部转动连接有转动旋钮，所述陶瓷盘的内部且位于第一转动槽的一侧开设有第二转动槽，所述第一转动槽的底部固定有转动柱，所述转动柱转动于第二转动槽的内部，所述陶瓷盘的内部且位于第二转动槽的一侧开设有弧形转动槽，所述转动柱的底部固定连接有转动杆，所述转动杆滑动连接于弧形转动槽的内部，所述陶瓷盘的内部且位于弧形转动槽的一侧开设有第一滑动槽，所述第一滑动槽的内部设置有滑动机构，所述滑动机构的一侧固定连接有滑动斜块，所述滑动机构的一侧开设有第四滑动槽，所述滑动斜块滑动连接于第四滑动槽的内部
。
[0006]优选的，所述滑动机构包括第一滑动块，所述第一滑动块滑动连接于转动杆的内部，所述陶瓷盘的内部且位于第一滑动槽的一侧开设有第二滑动槽，所述陶瓷盘的内部且位于第二滑动槽的内部开设有第三滑动槽，所述第一滑动块的一侧固定连接有第二滑动块，所述第二滑动块的底部固定连接有第三滑动块，所述第二滑动块滑动连接于第二滑动槽的内部，所述第三滑动块滑动连接于第三滑动槽的内部，所述滑动斜块固定连接于第三滑动块的一侧，所述第四滑动槽开设于第三滑动槽的一侧，通过滑动机构可以带动滑动斜块在第四滑动槽的内部进行滑动，从而使滑动斜块可以插接于卡槽内部或拔出，从而方便将陶瓷盘和底座进行固定与拆卸
。
[0007]优选的，所述转动杆和第一滑动块相互配合，通过转动杆和第一滑动块的相互配合，从而保证滑动机构的正常运行，确保陶瓷盘和底座方便进行安拆
。
[0008]优选的，所述第三滑动槽的内部设置有多个弹簧，所述弹簧的一端固定连接于第
三滑动槽的内壁，所述弹簧的另一端固定连接于第三滑动块的一侧，通过弹簧可以对滑动斜块进行限位，从而使滑动斜块插接于卡槽的内部，从而将陶瓷盘和底座进行固定
。
[0009]优选的，所述底座的内部开设有插接槽，所述底座的内部且位于插接槽的一侧开设有卡槽，所述陶瓷盘插接于插接槽的内部，所述滑动斜块插接于卡槽的内部，通过陶瓷盘
、
插接槽和卡槽
、
滑动斜块的相互配合，从而方便将陶瓷盘和底座进行安拆
。
[0010]优选的，所述陶瓷盘的内部开设有内部槽，所述内部槽的内部固定连接有多个支撑杆，多个所述支撑杆的一端固定连接有内盘，所述内盘和陶瓷盘的内部开设有多个凹槽，通过支撑杆增加了陶瓷盘整体的强度，通过凹槽和内部槽提升了消除应力的效果
。
[0011]优选的，所述内盘的内部开设有吸盘孔，通过吸盘孔方便对圆晶进行吸附
。
[0012]本技术提供了一种光刻机用陶瓷吸盘，具备以下有益效果：
[0013]1、
该光刻机用陶瓷吸盘，通过转动旋钮
、
插接槽
、
转动柱
、
弧形转动槽
、
转动杆
、
第一滑动槽
、
第一滑动块
、
第二滑动槽
、
第二滑动块
、
第三滑动槽
、
第三滑动块
、
弹簧
、
第四滑动槽
、
滑动斜块和卡槽相互配合，从而方便对陶瓷盘和底座进行安装与拆卸，从而使得更换陶瓷盘更加便捷
、
快速，降低了工作人员的工作强度
。
[0014]2、
该光刻机用陶瓷吸盘，通过陶瓷盘
、
内部槽
、
支撑杆
、
内盘
、
吸盘孔和凹槽的相互配合，增加了陶瓷盘的强度，提高了消除应力的效果，对比一般的光刻机用陶瓷吸盘使用更加方便
。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术的陶瓷吸盘凹槽示意图；
[0017]图3为本技术卡接机构示意图
。
[0018]图中：
1、
陶瓷盘；
2、
底座；
3、
内部槽；
4、
支撑杆；
5、
内盘；
6、
吸盘孔；
7、
凹槽；
8、
第一转动槽；
9、
转动旋钮；
10、
插接槽；
11、
第二转动槽；
12、
转动柱；
13、
弧形转动槽；
14、
转动杆；
15、
第一滑动槽；
16、
第一滑动块；
17、
第二滑动槽；
18、
第二滑动块；
19、
第三滑动槽；
20、
第三滑动块；
21、
弹簧；
22、
第四滑动槽；
23、
滑动斜块；
24、
卡槽
。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0020]请参阅图1至图3，本技术提供一种技术方案：一种光刻机用陶瓷吸盘，包括陶瓷盘1和底座2，陶瓷盘1的内部开设有四个相对应的第一转动槽8，第一转动槽8的内部转动连接有转动旋钮9，陶瓷盘1的内部且位于第一转动槽8的一侧开设有第二转动槽
11
，第一转动槽8的底部固定有转动柱
12
，转动柱
12
转动于第二转动槽
11
的内部，陶瓷盘1的内部且位于第二转动槽
11
的一侧开设有弧形转动槽
13
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光刻机用陶瓷吸盘，包括陶瓷盘
(1)
和底座
(2)
，其特征在于：所述陶瓷盘
(1)
的内部开设有四个相对应的第一转动槽
(8)
，所述第一转动槽
(8)
的内部转动连接有转动旋钮
(9)
，所述陶瓷盘
(1)
的内部且位于第一转动槽
(8)
的一侧开设有第二转动槽
(11)
，所述第一转动槽
(8)
的底部固定有转动柱
(12)
，所述转动柱
(12)
转动于第二转动槽
(11)
的内部，所述陶瓷盘
(1)
的内部且位于第二转动槽
(11)
的一侧开设有弧形转动槽
(13)
，所述转动柱
(12)
的底部固定连接有转动杆
(14)
，所述转动杆
(14)
滑动连接于弧形转动槽
(13)
的内部，所述陶瓷盘
(1)
的内部且位于弧形转动槽
(13)
的一侧开设有第一滑动槽
(15)
，所述第一滑动槽
(15)
的内部设置有滑动机构，所述滑动机构的一侧固定连接有滑动斜块
(23)
，所述滑动机构的一侧开设有第四滑动槽
(22)
，所述滑动斜块
(23)
滑动连接于第四滑动槽
(22)
的内部
。2.
根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述滑动机构包括第一滑动块
(16)
，所述第一滑动块
(16)
滑动连接于转动杆
(14)
的内部，所述陶瓷盘
(1)
的内部且位于第一滑动槽
(15)
的一侧开设有第二滑动槽
(17)
，所述陶瓷盘
(1)
的内部且位于第二滑动槽
(17)
的内部开设有第三滑动槽
(19)
，所述第一滑动块
(16)
的一侧固定连接有第二滑动块
(18)
，所述第二滑动块
(18)
的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓东，闻杰，
申请(专利权)人：上海讯颖电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：