一种半导体加工用清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种半导体加工用清洗装置，包括底座、烘干箱和固定盒，所述底座的顶部安装有烘干箱，所述烘干箱的一侧安装有出风口，所述烘干箱的另一侧安装有固定盒，且固定盒的一侧贯穿烘干箱的内壁，所述底座的顶部安装有固定杆，所述固定杆的顶部安装有连接杆，所述连接杆的一侧安装有安装架，所述安装架的内部安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有第一旋转轴，所述第一旋转轴的一端安装有清洗仓，所述清洗仓的一侧安装有第二旋转轴，所述第二旋转轴的一端安装有安装板。本发明专利技术通过在底座的顶部安装有烘干装置，可以使烘干箱内的半导体进行烘干，从而可以使半导体可以更加快速的将水分烘干，从而可以提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用清洗装置
本专利技术涉及半导体加工
，具体为一种半导体加工用清洗装置。
技术介绍
半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要，很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。现有的半导体加工存在的缺陷是：1、传统的半导体加工清洗装置在清洗半导体时，清洗不彻底还会残留大量的污垢，而且清洗时间也非常缓慢。2、传统的半导体加工没有安装烘干装置，清洗完之后半导体需要用太长的时间进行晾干，会导致工作的效率下降。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种半导体加工用清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体加工用清洗装置，包括底座、烘干箱和固定盒，所述底座的顶部安装有烘干箱，所述烘干箱的一侧安装有出风口本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体加工用清洗装置，包括底座(1)、烘干箱(2)和固定盒(3)，其特征在于：所述底座(1)的顶部安装有烘干箱(2)，所述烘干箱(2)的一侧安装有出风口(201)，所述烘干箱(2)的另一侧安装有固定盒(3)，且固定盒(3)的一侧贯穿烘干箱(2)的内壁，所述底座(1)的顶部安装有固定杆(4)，所述固定杆(4)的顶部安装有连接杆(401)，所述连接杆(401)的一侧安装有安装架(5)，所述安装架(5)的内部安装有第一电机(501)，所述第一电机(501)的输出端安装有第一旋转轴(502)，所述第一旋转轴(502)的一端安装有清洗仓(6)，所述清洗仓(6)的一侧安装有第二旋转轴(7)，所述第...

【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用清洗装置，包括底座(1)、烘干箱(2)和固定盒(3)，其特征在于：所述底座(1)的顶部安装有烘干箱(2)，所述烘干箱(2)的一侧安装有出风口(201)，所述烘干箱(2)的另一侧安装有固定盒(3)，且固定盒(3)的一侧贯穿烘干箱(2)的内壁，所述底座(1)的顶部安装有固定杆(4)，所述固定杆(4)的顶部安装有连接杆(401)，所述连接杆(401)的一侧安装有安装架(5)，所述安装架(5)的内部安装有第一电机(501)，所述第一电机(501)的输出端安装有第一旋转轴(502)，所述第一旋转轴(502)的一端安装有清洗仓(6)，所述清洗仓(6)的一侧安装有第二旋转轴(7)，所述第二旋转轴(7)的一端安装有安装板(8)。


2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗装置，其特征在于：所述底座(1)的底部安装有弹簧座(101)，底座(1)的底部安装有连接件(102)，且连接件(102)位于弹簧座(101)一侧，连接件(102)的内侧安装有移动轮(103)。


3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓东，
申请(专利权)人：上海讯颖电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31