【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆片光刻，具体为一种光刻机用晶圆片匀胶装置。
技术介绍
1、光刻工艺总共包括晶片匀胶(即涂覆胶层)、前烘、曝光、显影、坚膜、腐蚀、去胶等步骤，其中，匀胶是为了使分布于晶片上的光刻胶分布均匀并能达到一定厚度，以便曝光时晶片表面的光刻胶都能得到适当的感光；其中在匀胶时通常都是采用电机带动吸附在真空吸盘上的晶片旋转，从而在离心力的作用下使胶均匀分布在晶圆片上，胶膜涂敷厚度可根据电机旋转轴的速度来进行控制。
2、现今有专利号为201810534084.5的一种光刻机用晶圆片匀胶装置包括固定框、基座、水平调节装置、固定支架、旋转装置、真空吸盘、真空发生器、可调节弹簧和感应装置；所述基座位于固定框上部；所述水平调节装置固定在固定框内；所述固定支架安装在基座上方；所述旋转装置安装在固定支架上；所属真空吸盘位于旋转装置上方；所述真空发生器位于真空吸盘右下方，真空发生器与真空吸盘相连通；所述可调节弹簧数量为三，可调节弹簧之间呈120°分布，可调节弹簧位于基座与固定框之间；所述感应装置位于固定框上方；本装置可以有效保证晶圆片水平固定在真空吸盘上，从而保证晶圆片表面涂覆胶的厚度均匀。
3、但上述专利在改进后通过将晶圆放置在真空吸盘上，真空吸盘将晶圆牢牢吸附，将胶液滴到晶圆上，开始匀胶操作，但在匀胶时，晶圆片上的光刻胶受离心力影响会甩落到真空吸盘内壁以及装置周围，对光刻胶清理较为麻烦，为此，我们提出一种光刻机用晶圆片匀胶装置。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括箱体，所述箱体的顶部转动连接有盖板，所述盖板的底部固定安装有卡块，且卡块插入到箱体的内部并与其转动连接，所述盖板的内部转动连接有转盘，所述转盘的底部两侧固定安装有刮板，且刮板与箱体转动连接，两个所述刮板穿过盖板的底部并与其转动连接，所述转盘顶部的中央位置固定安装有转手，且转手穿过盖板并与其转动连接，所述转手的外侧固定安装有指针。
3、优选的，所述箱体内壁的底部转动连接有基座，所述箱体的内部固定安装有第二伺服电机，且第二伺服电机的输出端与基座固定连接，所述基座的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内部且插入到基座的内部转动连接有双向丝杆，所述凹槽的内部固定安装有第一伺服电机，且第一伺服电机的输出端与双向丝杆固定连接，所述双向丝杆的外侧螺纹连接有两个固定块，且固定块与凹槽滑动连接，两个所述固定块的顶部均固定安装有弧形夹板，所述弧形夹板与基座滑动连接，通过第一伺服电机驱动使两个弧形夹板相互靠近对基座顶部的晶圆片进行夹持，使弧形夹板可以对更多不同规格的晶圆片进行夹持。
4、优选的，两个所述弧形夹板相互远离的一侧均螺纹连接有两个固定螺栓，两个所述弧形夹板相互靠近的一侧均设置有橡胶垫，且橡胶垫与固定螺栓螺纹连接，所述弧形夹板和橡胶垫通过固定螺栓固定连接，所述箱体的内部固定安装有限位杆，所述限位杆插入到基座的内部并与其转动连接，通过固定螺栓将弧形夹板与橡胶垫进行固定，提高对晶圆片夹持时的稳定性，同时通过固定螺栓使橡胶垫方便替换。
5、优选的，所述箱体的内部两侧开设有第一槽体和第二槽体，所述第一槽体和第二槽体的内部两侧均设置有通风板，所述第一槽体内部两侧的通风板与其固定连接，所述第二槽体靠近第一槽体的其中一个通风板与第二槽体固定连接，另一个所述通风板通过转轴与第二槽体转动连接，所述第一槽体的两侧内壁之间且位于两个通风板之间固定安装有贯流风机，所述第二槽体的内部滑动连接有活性炭板，所述箱体和通过转轴转动连接的通风板外侧设置有相互配合的卡扣，通过贯流风机作用将装置外部的空气输送到内部，并将光刻胶散发的异味通过活性炭板净化后排出。
6、优选的，所述盖板的顶部镶嵌有辅助板，通过指针与辅助板位于同于水平线上，使刮板对箱体上开设的两个槽体处进行阻挡。
7、优选的，所述箱体的一侧镶嵌有控制器，所述控制器与第一伺服电机、第二伺服电机和贯流风机电性连接，所述箱体的外侧且位于控制器相对应一侧设置有透明视窗，所述箱体的一侧且位于透明视窗的下方镶嵌有水平仪，所述箱体的底部固定安装有防滑垫，通过水平仪确定装置放置位置是否水平，防止在匀胶时基座不处于水平状态，导致在第二伺服电机旋转时，基座产生的离心力不在水平面方向上，从而使涂覆胶分布的不均匀，导致晶片上的胶层的厚度不一。
8、本技术提供了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，具备以下有益效果：
9、1、该光刻机用晶圆片匀胶装置，通过在箱体顶部卡接的盖板，并转动转手使转手一侧的指针与辅助板位于同一水平线上，使两个刮板分别对第一槽体和第二槽体处进行阻挡，使在匀胶作业时装置呈封闭状，尽可能防止光刻胶甩落位置的不可控，提高光刻胶的清理效率。
10、2、该光刻机用晶圆片匀胶装置，通过控制器控制双向丝杆转动，从而使双向丝杆外侧的固定块带动两个弧形夹板相互靠近，并通过弧形夹板一侧的橡胶垫对晶圆片进行夹持，通过可移动的两个弧形夹板对更多不同规格的晶圆片进行夹持，提高了该装置的适用性。
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1.一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部转动连接有盖板(4)，所述盖板(4)的底部固定安装有卡块(18)，且卡块(18)插入到箱体(1)的内部并与其转动连接，所述盖板(4)的内部转动连接有转盘(7)，所述转盘(7)的底部两侧固定安装有刮板(8)，且刮板(8)与箱体(1)转动连接，两个所述刮板(8)穿过盖板(4)的底部并与其转动连接，所述转盘(7)顶部的中央位置固定安装有转手(6)，且转手(6)穿过盖板(4)并与其转动连接，所述转手(6)的外侧固定安装有指针。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述箱体(1)内壁的底部转动连接有基座(15)，所述箱体(1)的内部固定安装有第二伺服电机(16)，且第二伺服电机(16)的输出端与基座(15)固定连接，所述基座(15)的顶部开设有凹槽(10)，所述凹槽(10)的内部且插入到基座(15)的内部转动连接有双向丝杆(11)，所述凹槽(10)的内部固定安装有第一伺服电机(9)，且第一伺服电机(9)的输出端与双向丝杆(11)固定连接，所述双向丝杆(11)的外侧螺纹连接
3.根据权利要求2所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：两个所述弧形夹板(13)相互远离的一侧均螺纹连接有两个固定螺栓(19)，两个所述弧形夹板(13)相互靠近的一侧均设置有橡胶垫(14)，且橡胶垫(14)与固定螺栓(19)螺纹连接，所述弧形夹板(13)和橡胶垫(14)通过固定螺栓(19)固定连接，所述箱体(1)的内部固定安装有限位杆(17)，所述限位杆(17)插入到基座(15)的内部并与其转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述箱体(1)的内部两侧开设有第一槽体(21)和第二槽体(22)，所述第一槽体(21)和第二槽体(22)的内部两侧均设置有通风板(24)，所述第一槽体(21)内部两侧的通风板(24)与其固定连接，所述第二槽体(22)靠近第一槽体(21)的其中一个通风板(24)与第二槽体(22)固定连接，另一个所述通风板(24)通过转轴与第二槽体(22)转动连接，所述第一槽体(21)的两侧内壁之间且位于两个通风板(24)之间固定安装有贯流风机(25)，所述第二槽体(22)的内部滑动连接有活性炭板(23)，所述箱体(1)和通过转轴转动连接的通风板(24)外侧设置有相互配合的卡扣(26)。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述盖板(4)的顶部镶嵌有辅助板(5)。
6.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述箱体(1)的一侧镶嵌有控制器(3)，所述控制器(3)与第一伺服电机(9)、第二伺服电机(16)和贯流风机(25)电性连接，所述箱体(1)的外侧且位于控制器(3)相对应一侧设置有透明视窗，所述箱体(1)的一侧且位于透明视窗的下方镶嵌有水平仪(20)，所述箱体(1)的底部固定安装有防滑垫(2)。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部转动连接有盖板(4)，所述盖板(4)的底部固定安装有卡块(18)，且卡块(18)插入到箱体(1)的内部并与其转动连接，所述盖板(4)的内部转动连接有转盘(7)，所述转盘(7)的底部两侧固定安装有刮板(8)，且刮板(8)与箱体(1)转动连接，两个所述刮板(8)穿过盖板(4)的底部并与其转动连接，所述转盘(7)顶部的中央位置固定安装有转手(6)，且转手(6)穿过盖板(4)并与其转动连接，所述转手(6)的外侧固定安装有指针。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述箱体(1)内壁的底部转动连接有基座(15)，所述箱体(1)的内部固定安装有第二伺服电机(16)，且第二伺服电机(16)的输出端与基座(15)固定连接，所述基座(15)的顶部开设有凹槽(10)，所述凹槽(10)的内部且插入到基座(15)的内部转动连接有双向丝杆(11)，所述凹槽(10)的内部固定安装有第一伺服电机(9)，且第一伺服电机(9)的输出端与双向丝杆(11)固定连接，所述双向丝杆(11)的外侧螺纹连接有两个固定块(12)，且固定块(12)与凹槽(10)滑动连接，两个所述固定块(12)的顶部均固定安装有弧形夹板(13)，所述弧形夹板(13)与基座(15)滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：两个所述弧形夹板(13)相互远离的一侧均螺纹连接有两个固定螺栓(19)，两个所述弧形夹板(13)相互靠近的一侧均设置有橡胶垫(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓东，闻杰，
申请(专利权)人：上海讯颖电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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