一种掩模版清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种掩模版清洁装置，包括加工台，所述加工台顶部固定连接有两个相对称的安装支架，所述安装支架侧壁开设有两个安装齿槽，所述加工台顶部固定连接有两个相对称的

【技术实现步骤摘要】
一种掩模版清洁装置


[0001]本技术涉及液晶显示面板
，尤其涉及一种掩模版清洁装置
。

技术介绍

[0002]掩模版是器件或部分器件的物理表示，掩模版简称掩模，是光刻工艺不可缺少的部件，掩模版上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形投射在光刻胶上，当有机或金属材料层达到一定厚度后就需要定期清洗，否则材料层或脱落或堵塞掩模版空隙，影响制程，然而，现有的部分清洁装置在对配件进行清洁的过程中，大多通过人工对配件进行清洁，并且人工清理存在清理不干净的情况，导致影响后的加工，从而降低使用效果
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种掩模版清洁装置
。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种掩模版清洁装置，包括加工台，所述加工台顶部固定连接有两个相对称的安装支架，所述安装支架侧壁开设有两个安装齿槽，所述加工台顶部固定连接有两个相对称的
T
形支板，两个所述
T
形支板相对的一侧均转动连接有安装杆，所述安装杆末端固定连接有安装凹块，所述安装凹块顶部贯穿并螺纹连接有安装螺栓，其中一个所述
T
形支板侧壁固定连接有安装电机，所述安装电机输出轴贯穿
T
形支板并与其中一个安装杆固定连接，所述安装支架外侧壁活动套接有两个调节套块，四个所述调节套块之间固定连接有调节框架，所述调节套块侧壁连接有调节组件；
[0005]所述调节框架内壁两侧均开设有调节槽，所述调节槽内部滑动连接有调节滑块，两个所述调节滑块之间固定连接有固定横板，所述固定横板底部固定连接有固定刷，所述调节框架侧壁连接有调节所述固定横板进行移动的固定组件；
[0006]所述固定横板顶部固定连接有活动外壳，所述活动外壳顶部固定连接有活动管，所述活动管侧壁固定连接有活动阀门，所述活动外壳外侧壁两侧均连接有清洁组件
。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述：
[0008]所述调节组件包括与调节套块侧壁固定连接的两个调节支架，所述调节套块侧壁开设有调节口，其中一个所述调节支架表面固定连接有调节电机，所述调节电机输出端固定连接有调节杆
。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：
[0010]所述调节杆末端贯穿其中一个调节支架并与另一个调节支架转动连接，所述调节杆外侧壁固定套接有调节齿轮，所述调节齿轮与其相对应的安装齿槽啮合连接
。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：
[0012]所述固定组件包括与调节框架侧壁固定连接的固定电机，所述固定电机输出端固定连接有固定螺杆，所述固定螺杆末端贯穿调节框架并与调节框架内壁转动连接，所述固定螺杆外侧壁与固定横板螺纹连接
。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：
[0014]所述清洁组件包括与活动外壳外侧壁固定连接的活动支管，所述活动支管末端固定连接有抽水泵，所述抽水泵出水口固定连接有活动伸缩软管，所述活动伸缩软管末端通过活动排水管连接有喷头，所述固定横板顶部固定连接有连接
J
形板，所述连接
J
形板末端固定连接有连接凹块
。
[0015]作为上述技术方案的进一步描述：
[0016]所述连接凹块内壁两侧之间转动连接有调节转轴，所述调节转轴一端贯穿连接凹块并固定连接有调节蜗轮，所述调节转轴外侧壁固定套接有调节套板，所述调节套板底部固定连接有调节套环，所述调节套环内部与活动排水管固定套接，所述连接凹块侧壁连接有驱动组件
。
[0017]作为上述技术方案的进一步描述：
[0018]所述驱动组件包括与连接凹块侧壁固定连接的两个驱动块，其中一个所述驱动块顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有驱动蜗杆，所述驱动蜗杆末端贯穿其中一个驱动块并与另一个驱动块转动连接，所述驱动蜗杆与调节蜗轮啮合连接
。
[0019]本技术具有如下有益效果：
[0020]通过调节组件
、
清洁组件
、
固定组件和驱动组件之间的相互地配合，利用调节组件可使调节套块
、
调节支架
、
调节电机和调节齿轮配合，以便通过调节电机带动调节齿轮进行旋转，使得带动调节套块沿着安装支架上的方向进行滑动，方便带动调节框架根据需要调节到合适的高度的作用，利用清洁组件可使固定横板
、
活动外壳
、
活动支管
、
抽水泵
、
活动伸缩软管
、
活动排水管
、
连接
J
形板
、
连接凹块
、
调节套板和调节蜗轮配合，以便通过抽水泵带动水排入至活动排水管内部，接着从活动排水管上的喷头排出，方便对模版冲洗清洁的作用，利用固定组件可使固定电机
、
固定螺杆和固定横板配合，以便通过固定电机带动固定螺杆进行旋转，使得固定横板沿着固定螺杆上的方向进行移动，同时固定横板上的调节滑块沿着调节槽内部滑动，从而对固定横板进行导向，方便固定横板上的固定刷对模版左右清洁，并且也通过喷头对模板左右清扫喷洒清洁的作用，利用驱动组件可使调节蜗轮
、
驱动块
、
驱动电机和驱动蜗杆配合，以便通过驱动电机带动驱动蜗杆进行旋转，同时驱动蜗杆与调节蜗轮啮合，使得带动调节蜗轮上的调节转轴进行旋转，跟着调节转轴带动调节套板和调节套环上的活动排水管调节到合适的角度，方便活动排水管上的喷头对模版调节喷洒清洁，使得无需通过人工进行清洁，减少清理不干净的情况，从而提高使用效果
。
附图说明
[0021]图1为本技术提出的一种掩模版清洁装置的整体结构示意图；
[0022]图2为图1中
A
处放大的结构示意图；
[0023]图3为图1中
B
处放大的结构示意图
。
[0024]图例说明：
[0025]1、
加工台；
2、
安装支架；
3、T
形支板；
4、
安装电机；
5、
安装杆；
6、
安装凹块；
7、
调节套块；
8、
调节框架；
9、
调节支架；
10、
调节电机；
11、
调节齿轮；
12、
固定电机；
13、
固定螺杆；
14、
固定横板；
15、
活动外壳；
16、
活动支管；
17、
抽水泵；
18、
活动伸缩软管；
19、
活动排水管；
20、
连接
J
形板；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种掩模版清洁装置，包括加工台
(1)
，其特征在于：所述加工台
(1)
顶部固定连接有两个相对称的安装支架
(2)
，所述安装支架
(2)
侧壁开设有两个安装齿槽，所述加工台
(1)
顶部固定连接有两个相对称的
T
形支板
(3)
，两个所述
T
形支板
(3)
相对的一侧均转动连接有安装杆
(5)
，所述安装杆
(5)
末端固定连接有安装凹块
(6)
，所述安装凹块
(6)
顶部贯穿并螺纹连接有安装螺栓，其中一个所述
T
形支板
(3)
侧壁固定连接有安装电机
(4)
，所述安装电机
(4)
输出轴贯穿
T
形支板
(3)
并与其中一个安装杆
(5)
固定连接，所述安装支架
(2)
外侧壁活动套接有两个调节套块
(7)
，四个所述调节套块
(7)
之间固定连接有调节框架
(8)
，所述调节套块
(7)
侧壁连接有调节组件；所述调节框架
(8)
内壁两侧均开设有调节槽，所述调节槽内部滑动连接有调节滑块，两个所述调节滑块之间固定连接有固定横板
(14)
，所述固定横板
(14)
底部固定连接有固定刷，所述调节框架
(8)
侧壁连接有调节所述固定横板
(14)
进行移动的固定组件；所述固定横板
(14)
顶部固定连接有活动外壳
(15)
，所述活动外壳
(15)
顶部固定连接有活动管，所述活动管侧壁固定连接有活动阀门，所述活动外壳
(15)
外侧壁两侧均连接有清洁组件
。2.
根据权利要求1所述的一种掩模版清洁装置，其特征在于：所述调节组件包括与调节套块
(7)
侧壁固定连接的两个调节支架
(9)
，所述调节套块
(7)
侧壁开设有调节口，其中一个所述调节支架
(9)
表面固定连接有调节电机
(10)
，所述调节电机
(10)
输出端固定连接有调节杆
。3.
根据权利要求2所述的一种掩模版清洁装置，其特征在于：所述调节杆末端贯穿其中一个调节支架
(9)
并与另一个调节支架
(9)
转动连接，所述调节杆外侧壁固定套接有调节齿轮
(11)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘尚书，汪民，黄伟，施建华，
申请(专利权)人：磊菱半导体设备江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：