多规格晶片甩干装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多规格晶片甩干装置，属于半导体芯片加工设备领域。包括固定在转盘上的四个定位装置；定位装置是由左侧板（6）、右侧板（12）和底板（2）共同围成的U字形结构，定位装置左侧板（6）的内表面依次固定有第一容纳槽（7）、第二容纳槽（8）和第三容纳槽（9），定位装置右侧板（12）的内表面对应于第三容纳槽（9）的位置竖直地固定有第四容纳槽（11）；左侧板（6）、右侧板（12）和底板（2）上分布有排水孔（3），各定位装置以转盘（1）的回转中心为圆心均匀分布。本发明专利技术结构简单、制造方便、定位操作快捷高效，是一种可适用于多种规格的晶片甩干装置。一种可适用于多种规格的晶片甩干装置。一种可适用于多种规格的晶片甩干装置。

【技术实现步骤摘要】
多规格晶片甩干装置


[0001]本专利技术涉及一种多规格晶片甩干装置，属于半导体芯片加工设备领域。

技术介绍

[0002]在半导体芯片、太阳能电池板、LED等制作工艺过程中，晶片都必须经过多次清洗，然后再进行干燥处理。离心甩干是脱水干燥最常用的方式。离心甩干装置主要由位于罩壳中的转盘、均布于转盘上的固定架构成。如“一种晶圆片盒架的翻转限位机构及晶片甩干机（CN218565931U）”、“一种用于非标尺寸晶片的转接支架（CN217521966U）”、“一种晶体谐振器晶片桶式干燥机（CN208238459U）”、“一种晶体谐振器晶片盘式干燥器（CN208269518U）”、“一种晶体谐振器晶片惯性干燥机（CN208238467U）”。
[0003]甩干时，将晶片层叠于标准的片盒中，通过转接夹具（或过渡夹具）将作为载具的片盒固定在均布于转盘的固定架上。上述传统的甩干装置存在以下缺陷：1）由于不同规格的晶片需要配置与之规格相对应的标准片盒（通常分为3英寸、4英寸、5英寸、6英寸等），因此转接夹具（或过渡夹具）也必须与相应规格的标准片盒匹配，从而导致转接夹具（或过渡夹具）规格繁多、成本较高、管理麻烦。
[0004]2）转接夹具（或过渡夹具）不仅结构复杂、制造成本高，而且安装固定片标准盒的操作比较麻烦、效率低。
[0005]3）由于标准片盒通过转接夹具（或过渡夹具）固定于转盘上，变换晶片规格时，需更同时换与标准片盒相匹配的转接夹具（或过渡夹具），不仅夹具拆装比较麻烦，而且容易破坏转盘的动平衡。
专利
技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的上述缺陷，本专利技术旨在提供一种结构简单、操作方便、可兼容多尺寸标准片盒的多规格晶片甩干装置。
[0007]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：它包括固定在转盘上的四个定位装置；所述定位装置是由左侧板、右侧板以及底板共同围成的U字形结构，定位装置左侧板的内表面由内而外依次竖直地固定有第一容纳槽、第二容纳槽和第三容纳槽，定位装置右侧板的内表面对应于第三容纳槽的位置竖直地固定有第四容纳槽；左侧板、右侧板以及底板上均分布有若干排水孔，各定位装置以转盘的回转中心为圆心均匀分布。
[0008]第一容纳槽、第二容纳槽和第三容纳槽的槽底均具有镂空的排水窗。
[0009]任意一个定位装置的左侧板的顶端均与相邻定位装置右侧板的顶端通过扇形板固定连接。
[0010]各定位装置的底端与转盘之间均具有排水空隙。
[0011]与现有技术比较，本专利技术由于采用了上述技术方案，因此具有以下优点：1）利用转盘的转动惯性即可将标准片盒直接定位于定位装置中，不仅结构简单、加工制造方便、成本低，而且由于不需夹紧，因此定位操作方便快捷高效。
[0012]2）定位装置的左侧板内壁上具有多个与不同规格标准片盒外形相适配的容纳槽，以及定位装置的右侧板内壁上具有一个与大规格标准片盒外形相适配的另外一个容纳槽，因此可满足至少四种规格的标准片盒的定位要求，兼容性好。
[0013]3）省略了转接夹具（或过渡夹具），因此可有地效减少整机的系统误差，提高转盘动平衡的精度，避免晶片因振动而破损。
附图说明
[0014]图1是本专利技术的立体结构示意图；图2是图1中的A—A剖视图；图3是图2中的俯视图；图4是标准片盒的立体结构示意图。
[0015]图中：转盘1、底板2、排水孔3、扇形板4、排水窗5、左侧板6、第一容纳槽7、第二容纳槽8、第三容纳槽9、排水空隙10、第四容纳槽11、右侧板12、标准片盒13、背面凸楞13
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1、侧面凸楞13
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2、正面翻边13
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3。
具体实施方式
[0016]下面结合附图和具体的实施例对本专利技术作进一步说明。
[0017]如图1～4所示：四个定位装置以转盘1的回转中心为圆心均匀地固定分布在转盘1的表面。所述定位装置是由左侧板6、右侧板12以及底板2共同围成的U字形结构，在所述定位装置左侧板6的内表面由内而外依次竖直地固定有第一容纳槽7、第二容纳槽8和第三容纳槽9，定位装置右侧板12的内表面对应于第三容纳槽9的位置竖直地固定有第四容纳槽11。其中，第一容纳槽7在宽度方向和深度方向可容纳3英寸标准片盒13的正面翻边13
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3、第二容纳槽8在宽度方向和深度方向可容纳4英寸标准片盒13的正面翻边13
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3、第三容纳槽9在宽度方向和深度方向可容纳5英寸标准片盒13左侧的正面翻边13
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3、第四容纳槽11在宽度方向和深度方向可容纳5英寸标准片盒13右侧的正面翻边13
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3（参见图3），从而可有效避免标准片盒13的正面翻边13
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3与左侧板6接触而造成X方向定位干涉。
[0018]为了减小风阻和便于排水，各定位装置的左侧板6、右侧板12以及底板2上均开设有若干排水孔3。
[0019]为了加快排水和进一步减小风阻，第一容纳槽7、第二容纳槽8和第三容纳槽9的槽底均具有镂空的排水窗5。
[0020]为了增加刚性，任意一个定位装置的左侧板6的顶端均与相邻定位装置右侧板12的顶端通过扇形板4固定连接。
[0021]为了便于排水，各定位装置的底端与转盘1之间均具有排水空隙10。
[0022]工作原理：1）将装载有相同数量晶片的四个3英寸的准片盒13置于对应的定位装置中，保证各四个3英寸准片盒13的两条背面凸楞13
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1与对应定位装置的底板2保持接触，从而实现3英寸的标准片盒13在Y方向定位；保证各3英寸标准片盒13的至少一条侧面凸楞13
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2与对应定位装置的左侧板6保持接触，则3英寸标准片盒13左侧的正面翻边13
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3便会嵌入对应的第一容纳槽7中，从而实现四个3英寸的标准片盒13定位。
[0023]将装载有相同数量晶片的四个4英寸的准片盒13置于对应的定位装置中，保证各四个4英寸准片盒13的两条背面凸楞13
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1与对应定位装置的底板2保持接触，从而实现4英寸的标准片盒13在Y方向定位；保证各4英寸标准片盒13的至少一条侧面凸楞13
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2与对应定位装置的左侧板6保持接触，则4英寸标准片盒13左侧的正面翻边13
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3便会嵌入对应的第二容纳槽8中，从而实现四个4英寸的标准片盒13定位。
[0024]将装载有相同数量晶片的四个5英寸的准片盒13置于对应的定位装置中，保证各四个5英寸准片盒13的两条背面凸楞13
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1与对应定位装置的底板2保持接触，从而实现5英寸的标准片盒13在Y方向定位；保证各5英寸标准片盒13的至少一条侧面凸楞13
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2与对应定位装置的左侧板6保持接触，则5英寸的标准片盒13两侧的正面翻边13
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3便会分别嵌入对应的第三容纳槽9和第四容纳槽11中，从而实现四个5英寸的标准片盒13定位。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多规格晶片甩干装置，包括固定在转盘上的四个定位装置；其特征在于：所述定位装置是由左侧板（6）、右侧板（12）以及底板（2）共同围成的U字形结构，定位装置左侧板（6）的内表面由内而外依次竖直地固定有第一容纳槽（7）、第二容纳槽（8）和第三容纳槽（9），定位装置右侧板（12）的内表面对应于第三容纳槽（9）的位置竖直地固定有第四容纳槽（11）；左侧板（6）、右侧板（12）以及底板（2）上均分布有若干排水孔（3），各定位装置以转盘（1）的回转...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶德华，
申请(专利权)人：贵州华龙电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：