晶片甩干机多工位转盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶片甩干机多工位转盘，属于半导体芯片加工设备领域。它包括位于转盘本体表面的夹紧装置；所述夹紧装置至少为两组，每组夹紧装置均包含四套夹具，每套所述夹具均由固定在转盘本体（4）表面的支承（1）和压板（2）构成；各组夹紧装置中的所有夹具均分别以转盘本体（4）的回转中心为圆心、由内而外分布于不同直径的圆周上，各所述圆周上的四套夹具均匀分布；每一圆周上各套夹具支承（1）的高度均大于相邻内层圆周上各个夹具压板（2）的高度。本实用新型专利技术不仅结构简单、加工制造方便、成本低，而且拓宽了设备的适用范围；是一种可兼容多种规格磁盘载具的晶片甩干机转盘。可兼容多种规格磁盘载具的晶片甩干机转盘。可兼容多种规格磁盘载具的晶片甩干机转盘。

【技术实现步骤摘要】
晶片甩干机多工位转盘


[0001]本技术涉及一种晶片甩干机转盘，属于半导体芯片加工设备领域。

技术介绍

[0002]在半导体晶片制备过程中，需要将晶片粘贴固定在磁盘上进行抛光、清洗，然后采用甩干脱水的方式对晶片进行干燥处理；如“一种晶圆片甩干机（CN 212542372 U）”。该专利存在以下缺陷：
[0003]1）转盘只有一个工位，只能适应某个规格的磁盘载具，适用范围较窄。
[0004]2）没有设置对罩壳进行清洗的装置，在甩干过程中罩壳内壁的污物可能会因振动等原因而掉落在晶片上，对晶片造成污染。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的上述缺陷，本技术旨在提供一种能够避免交叉污染、并可兼容多种规格磁盘载具的晶片甩干机多工位转盘。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：它包括位于转盘本体表面的夹紧装置；所述夹紧装置至少为两组，每组夹紧装置均包含四套夹具，每套所述夹具均由固定在转盘本体表面的支承和压板构成；各组夹紧装置中的所有夹具均分别以转盘本体的回转中心为圆心、由内而外分布于不同直径的圆周上，各所述圆周上的四套夹具均匀分布；每一圆周上各套夹具支承的高度均大于相邻内层圆周上各套夹具压板的高度。
[0007]上述技术方案中，每一圆周上的各套夹具与相邻圆周上的各个夹具之间错位布置。
[0008]上述技术方案中的转盘本体上具有两组清洗装置，所述清洗装置由穿过转盘本体而竖直固定在该转盘本体上的清洗管、与该清洗管下端连接的弯头、与清洗管连通的两个喷嘴构成。<br/>[0009]进一步地，上述技术方案中的转盘本体上方有通过多根支承柱固定的配重环。
[0010]与现有技术比较，本技术由于采用了上述技术方案，因此具有以下优点：
[0011]1）在转盘本体表面设置由多组夹紧装置构成的多个夹紧工位，因此只需一台甩干设备即可对多种规格的磁盘载具实现定位夹紧，拓宽了适用范围。
[0012]2）可同时对多个不同规格的磁盘载具进行甩干处理，提高了甩干效率。
[0013]3）在转盘本体上增加清洗装置，能够在每次甩干完毕后对罩壳内壁进行清洗，从而可有效克服传统甩干设备容易对晶片造成污染的缺陷。
附图说明
[0014]图1是本技术立体结构示意图；
[0015]图2是本技术的结构剖视图；
[0016]图3是图2中的俯视图；
[0017]图4是图3中的A—A剖视图；
[0018]图5是图3中的B—B剖视图；
[0019]图6是晶片贴于磁盘载具上的示意图；
[0020]图中：支承1、压板2、喷嘴3、转盘本体4、立柱5、配重环6、清洗管7、弯头8、磁盘载具9、晶片10。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和具体的实施例对本技术作进一步说明。
[0022]如图1～5所示：转盘本体4的表面具有两组夹紧装置，每组所述夹紧装置均包含四套夹具，每套所述夹具均由固定在转盘本体4表面的一个支承1和与之相配合的压板2构成。各组夹紧装置中的所有夹具均分别以转盘本体4的回转中心为圆心、由内而外分布于不同直径的圆周上，每一所述圆周上的四套夹具均匀分布。每一圆周上各套夹具的支承1的高度均大于相邻内层圆周上各套夹具的压板2的高度。
[0023]为了便于增大操作空间，每一圆周上的各套夹具与相邻圆周上的各套夹具之间错位布置。
[0024]为了便于清洗罩壳（图中未示出）内壁，转盘本体4上具有两组喷淋装置；所述清洗装置由穿过转盘本体4而竖直固定在该转盘本体上的清洗管7、与该清洗管下端连接的弯头8、与清洗管7连通的两个喷嘴3构成。
[0025]值得指出的是，弯头8通过固定在转盘本体4背面的连接管（图中未示出）与位于空心转轴（图中未示出）中的供水管（图中未示出）连接，所述供水管通过转接器与水泵（图中未示出）连通，因此供水管、连接管等不会因转盘本体4的转动而产生扭转干涉。所述转接器（图中未示出）的结构为现有成熟技术，在此不对其具体结构进行赘述。
[0026]为了便于增大转动惯量、减轻电机的负荷，转盘本体4的上方有通过多根支承柱5固定的配重环6。
[0027]工作原理：
[0028]使用时，根据尺寸大小，将表面粘贴有多块晶片10的磁盘载具9（参见图6）定位于某一圆周上的四个支承1上，利用该圆周上的四个压板2将磁盘载具9的边缘夹紧；然后接通电机（图中未示出）电源即可。
[0029]甩干完毕，断开电机电源，揭开罩壳的密封盖（图中未示出），松开压板2，取出磁盘载具9；然后关上所述密封盖，接通电机和水泵电源即可对罩壳内腔进行冲洗。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片甩干机多工位转盘，包括位于转盘本体表面的夹紧装置；其特征在于：所述夹紧装置至少为两组，每组夹紧装置均包含四套夹具，每套所述夹具均由固定在转盘本体（4）表面的支承（1）和压板（2）构成；各组夹紧装置中的所有夹具均分别以转盘本体（4）的回转中心为圆心、由内而外分布于不同直径的圆周上，各所述圆周上的四套夹具均匀分布；每一圆周上各套夹具支承（1）的高度均大于相邻内层圆周上各套夹具压板（2）的高度。2.根据权利要求1所述的晶片甩干机多工位转盘，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶德华，
申请(专利权)人：贵州华龙电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：