一种半导体晶片抛光的托架制造技术

技术编号:39867933 阅读:14 留言:0更新日期:2023-12-30 12:57
本实用新型专利技术公开了一种半导体晶片抛光的托架,包括安装底座,所述安装底座的上表面四角处均固定连接有主滑动杆,四个所述主滑动杆的外表面均滑动连接有第一安装块,四个所述第一安装块之间固定连接有安装连接板,所述安装底座的上表面设置有驱动安装连接板上下移动的动力组件,所述安装连接板的上表面固定连接有托放框架,所述托放框架的内壁中间处固定连接有内隔离板

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶片抛光的托架


[0001]本技术涉及半导体晶片加工
,尤其涉及一种半导体晶片抛光的托架


技术介绍

[0002]在生产半导体晶片的过程中磨削和研磨等磨料处理是必不可少的,然而单晶硅晶片在磨削和研磨后其表面完整性会变差

因此在生产电子原件时对晶片表面抛光和平面化来说是十分重要的

[0003]在对半导体晶片表面进行抛光的过程中,需要采用托架对半导体晶片进行集中存放,便于后续对半导体晶片进行加工处理,但是现有的半导体晶片托架在放入产品后,不便于将半导体晶片取出,往往可能需要采用其它工具将其夹出,降低了效率


技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种半导体晶片抛光的托架

[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种半导体晶片抛光的托架,包括安装底座,所述安装底座的上表面四角处均固定连接有主滑动杆,四个所述主滑动杆的外表面均滑动连接有第一安装块,四个所述第一安装块之间固定连接有安装连接板,所述安装底座的上表面设置有驱动安装连接板上下移动的动力组件,所述安装连接板的上表面固定连接有托放框架,所述托放框架的内壁中间处固定连接有内隔离板,所述内隔离板的两侧均固定连接有多个固定斜板,每两个相邻的所述固定斜板之间设置有活动托板,所述活动托板的下表面固定连接有连接弹簧,所述连接弹簧的另一端与安装连接板的上表面固定连接

[0006]作为上述技术方案的进一步描述:
[0007]所述动力组件包括固定连接在安装底座上表面的伺服电机,所述伺服电机的输出轴固定连接有螺纹连接杆,所述螺纹连接杆的外表面螺纹连接有第二安装块,所述第二安装块与安装连接板的侧壁固定连接

[0008]作为上述技术方案的进一步描述:
[0009]所述活动托板的侧壁固定连接有滑动块,所述固定斜板的侧壁开设有滑动槽,所述滑动块滑动连接在滑动槽的内部

[0010]作为上述技术方案的进一步描述:
[0011]所述活动托板的一侧固定连接有贯穿拨动杆,所述托放框架的侧壁贯穿开设有贯穿斜槽,所述贯穿拨动杆延伸至贯穿斜槽的外部并与其滑动连接

[0012]作为上述技术方案的进一步描述:
[0013]所述活动托板的上表面设置有海绵垫

[0014]作为上述技术方案的进一步描述:
[0015]四个所述主滑动杆的顶部共同连接有上顶板

[0016]本技术具有如下有益效果:
[0017]1、
与现有技术相比,该半导体晶片抛光的托架,需要取出半导体晶片时,拨动贯穿拨动杆,让贯穿拨动杆在贯穿斜槽的内部移动,使得贯穿拨动杆带着活动托板往上移动,从而让半导体晶片探出两个固定斜板之间,方便工作人员取下半导体晶片,操作简单

[0018]2、
与现有技术相比,该半导体晶片抛光的托架,通过启动伺服电机,伺服电机的输出轴带着螺纹连接杆旋转,螺纹连接杆的旋转使得第二安装块移动,使得第二安装块可以带着安装连接板上下移动,从而调节托放框架的高度,方便不同的工作人员进行操作

附图说明
[0019]图1为本技术提出的一种半导体晶片抛光的托架的立体图;
[0020]图2为本技术提出的一种半导体晶片抛光的托架的托放框架结构示意图;
[0021]图3为本技术提出的一种半导体晶片抛光的托架的固定斜板排布示意图

[0022]图例说明:
[0023]1、
安装底座;
2、
主滑动杆;
3、
第一安装块;
4、
安装连接板;
5、
伺服电机;
6、
螺纹连接杆;
7、
第二安装块;
8、
托放框架;
9、
内隔离板;
10、
固定斜板;
11、
活动托板;
12、
贯穿拨动杆;
13、
连接弹簧;
14、
滑动槽;
15、
贯穿斜槽;
16、
上顶板

具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚

完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例

基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围

[0025]参照图1到图3,本技术提供的一种半导体晶片抛光的托架:包括安装底座1,安装底座1的上表面四角处均固定连接有主滑动杆2,四个主滑动杆2的顶部共同连接有上顶板
16
,四个主滑动杆2的外表面均滑动连接有第一安装块3,四个第一安装块3之间固定连接有安装连接板4,安装底座1的上表面设置有驱动安装连接板4上下移动的动力组件,动力组件包括固定连接在安装底座1上表面的伺服电机5,伺服电机5的输出轴固定连接有螺纹连接杆6,螺纹连接杆6的外表面螺纹连接有第二安装块7,第二安装块7与安装连接板4的侧壁固定连接,通过启动伺服电机5,伺服电机5的输出轴带着螺纹连接杆6旋转,螺纹连接杆6的旋转使得第二安装块7移动,使得第二安装块7可以带着安装连接板4上下移动;
[0026]安装连接板4的上表面固定连接有托放框架8,托放框架8的内壁中间处固定连接有内隔离板9,内隔离板9的两侧均固定连接有多个固定斜板
10
,每两个相邻的固定斜板
10
之间设置有活动托板
11
,活动托板
11
的侧壁固定连接有滑动块,固定斜板
10
的侧壁开设有滑动槽
14
,滑动块滑动连接在滑动槽
14
的内部,可以保证活动托板
11
能够稳定的移动,活动托板
11
的一侧固定连接有贯穿拨动杆
12
,托放框架8的侧壁贯穿开设有贯穿斜槽
15
,贯穿拨动杆
12
延伸至贯穿斜槽
15
的外部并与其滑动连接,通过贯穿拨动杆
12
带着活动托板
11
移动,活动托板
11
的上表面设置有海绵垫,有效对半导体晶片进行缓冲,活动托板
11
的下表面固定连接有连接弹簧
13
,连接弹簧
13
的另一端与安装连接板4的上表面固定连接

[0027]工作原理:
[0028]使用时,将半导体晶片放置在两个固定斜板
10
之间,半本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体晶片抛光的托架,包括安装底座
(1)
,其特征在于:所述安装底座
(1)
的上表面四角处均固定连接有主滑动杆
(2)
,四个所述主滑动杆
(2)
的外表面均滑动连接有第一安装块
(3)
,四个所述第一安装块
(3)
之间固定连接有安装连接板
(4)
,所述安装底座
(1)
的上表面设置有驱动安装连接板
(4)
上下移动的动力组件,所述安装连接板
(4)
的上表面固定连接有托放框架
(8)
,所述托放框架
(8)
的内壁中间处固定连接有内隔离板
(9)
,所述内隔离板
(9)
的两侧均固定连接有多个固定斜板
(10)
,每两个相邻的所述固定斜板
(10)
之间设置有活动托板
(11)
,所述活动托板
(11)
的下表面固定连接有连接弹簧
(13)
,所述连接弹簧
(13)
的另一端与安装连接板
(4)
的上表面固定连接
。2.
根据权利要求1所述的一种半导体晶片抛光的托架,其特征在于:所述动力组件包括固定连接在安装底座
(1)
上表面的伺服电机
(5)
...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘尚书汪民黄伟施建华
申请(专利权)人:磊菱半导体设备江苏有限公司
类型:新型
国别省市:

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