一种半导体载台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体载台装置，包括载台本体，所述载台本体顶部固定连接有装配外壳，所述装配外壳外侧壁贯穿设置有多个定位插条，所述定位插条两端分别固定连接有定位弧块和抵紧板，所述定位插条外侧壁活动套接有定位弹簧，所述定位弹簧两端分别与定位弧块侧壁和装配外壳侧壁固定连接。本实用新型专利技术，使得定位弧块带动定位插条上得抵紧橡胶对不同规格的半导体进行调节定位，利用辅助组件可使抽气泵、抽气管、连接管、连接吸管和连接吸盘配合，以便通过抽气泵带动连接吸管上的连接吸盘吸附单晶片半导体，方便对单晶片半导体吸附定位，使得无需更换不同的设备，提高使用效果。提高使用效果。提高使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体载台装置


[0001]本技术涉及半导体装备
，尤其涉及一种半导体载台装置。

技术介绍

[0002]随着科学技术的不断发展，电子产品更新迭代的速度越来越快，从而对生产技术提出了更高的要求，一些自动化生产设备主要包括加工单元、物流单元、检测单元等，除此以外，用于放置产品的载台同样是必不可少的构件，不同的产品对载台的需求不同，不同环节的载台所需要的功能也各有不同，然而，现有的部分载台一般只能对同种产品进行定位，当对不同规格的单晶硅片半导体进行定位加工时，导致需要更换不同的设备，费时费力，从而降低使用效果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体载台装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种半导体载台装置，包括载台本体，所述载台本体顶部固定连接有装配外壳，所述装配外壳外侧壁贯穿设置有多个定位插条，所述定位插条两端分别固定连接有定位弧块和抵紧板，所述定位插条外侧壁活动套接有定位弹簧，所述定位弹簧两端分别与定位弧块侧壁和装配外壳侧壁固定连接，所述抵紧板远离装配外壳的一侧固定连接有抵紧橡胶，所述装配外壳外侧壁连接有驱动组件；
[0005]所述载台本体和装配外壳底部贯穿设置有卸料杆，所述卸料杆一端固定连接有弧度块，所述卸料杆外侧壁活动套接有调节弹簧，所述调节弹簧两端分别与弧度块侧壁和载台本体侧壁固定连接，所述载台本体底部连接有调节组件，所述载台本体底部连接有辅助组件。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述：
[0007]所述驱动组件包括与装配外壳外侧壁转动连接的活动套环，所述活动套环外侧壁固定套接有活动齿环，所述活动齿环内壁固定连接有多个活动凸块，所述载台本体顶部固定连接有驱动电机。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述驱动电机输出端固定连接有驱动杆，所述驱动杆末端固定连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与活动齿环啮合连接。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述调节组件包括与载台本体底部固定连接的支撑L形板，所述支撑L形板顶部固定连接有调节电机，所述调节电机输出端固定连接有调节杆，所述调节杆末端固定连接有调节异形盘。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述辅助组件包括与载台本体底部固定连接的抽气泵，所述抽气泵进气口固定连接有抽气管，所述抽气泵出气口固定连接有排气管，所述抽气管末端固定连接有连接管，所述连接管上表面固定连接有多个连接吸管。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述连接吸管末端贯穿载台本体和装配外壳并延伸至装配外壳内底部，所述连接吸管末端固定连接有连接吸盘。
[0016]本技术具有如下有益效果：
[0017]通过调节组件、驱动组件和辅助组件之间的相互配合，利用调节组件可使支撑L形板、调节电机、调节杆和调节异形盘配合，以便通过调节电机带动调节异形盘旋转，方便调节异形盘给予弧度块一个推动力，接着弧度块带动卸料杆对单晶片半导体进行调节卸料的作用，利用驱动组件可使活动套环、活动齿环、载台本体、驱动电机、驱动杆和驱动齿轮配合，以便通过驱动电机带动活动齿环上的活动套环进行旋转，使得活动齿环上的活动凸块进行旋转，方便给予定位弧块一个推动力，使得定位弧块带动定位插条上得抵紧橡胶对不同规格的半导体进行调节定位，利用辅助组件可使抽气泵、抽气管、连接管、连接吸管和连接吸盘配合，以便通过抽气泵带动连接吸管上的连接吸盘吸附单晶片半导体，方便对单晶片半导体吸附定位，使得无需更换不同的设备，提高使用效果。
附图说明
[0018]图1为本技术提出的一种半导体载台装置的整体结构示意图；
[0019]图2为图1中A处放大的结构示意图；
[0020]图3为本技术提出的一种半导体载台装置的支撑L形板和调节电机结构示意图。
[0021]图例说明：
[0022]1、载台本体；2、装配外壳；3、定位插条；4、定位弧块；5、定位弹簧；6、抵紧板；7、抵紧橡胶；8、活动套环；9、活动齿环；10、活动凸块；11、驱动电机；12、驱动杆；13、驱动齿轮；14、卸料杆；15、弧度块；16、调节弹簧；17、支撑L形板；18、调节电机；19、调节异形盘；20、连接吸管；21、连接管；22、抽气泵；23、抽气管；24、连接吸盘。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]参照图1
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3，本技术提供的一种半导体载台装置，包括载台本体1，载台本体1顶部固定连接有装配外壳2，装配外壳2外侧壁贯穿设置有多个定位插条3，定位插条3两端分别固定连接有定位弧块4和抵紧板6，定位插条3外侧壁活动套接有定位弹簧5，定位弹簧5两端分别与定位弧块4侧壁和装配外壳2侧壁固定连接，抵紧板6远离装配外壳2的一侧固定连接有抵紧橡胶7，装配外壳2外侧壁连接有驱动组件，通过驱动组件起到调节定位插条3进行移动的作用，参照图2和图1，驱动组件包括与装配外壳2外侧壁转动连接的活动套环8，活
动套环8外侧壁固定套接有活动齿环9，活动齿环9内壁固定连接有多个活动凸块10，载台本体1顶部固定连接有驱动电机11，驱动电机11输出端固定连接有驱动杆12，驱动杆12末端固定连接有驱动齿轮13，驱动齿轮13与活动齿环9啮合连接，通过驱动电机11起到带动驱动杆12上的驱动齿轮13进行旋转的作用。
[0025]载台本体1和装配外壳2底部贯穿设置有卸料杆14，卸料杆14一端固定连接有弧度块15，卸料杆14外侧壁活动套接有调节弹簧16，调节弹簧16两端分别与弧度块15侧壁和载台本体1侧壁固定连接，载台本体1底部连接有调节组件，参照图3，调节组件包括与载台本体1底部固定连接的支撑L形板17，支撑L形板17顶部固定连接有调节电机18，调节电机18输出端固定连接有调节杆，调节杆末端固定连接有调节异形盘19，通过调节电机18起到带动调节杆上的调节异形盘19进行旋转的作用。
[0026]载台本体1底部连接有辅助组件，参照图3，辅助组件包括与载台本体1底部固定连接的抽气泵22，抽气泵22进气口固定连接有抽气管23，抽气管23末端固定连接有连接管21，抽气泵22出气口固定连接有排气管，连接管21上表面固定连接有多个连接吸管20，连接吸管20末端贯穿载台本体1和装配外壳2并延伸至装配外壳2内底部，连接吸管20末端固定连接有连接吸盘24，通过辅助组件起到辅助定位的作用。
[0027]工作原理：使用时，先将需要加工的单晶片半导体放入装配外壳2内部，接着启动驱动电机11，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体载台装置，包括载台本体(1)，其特征在于：所述载台本体(1)顶部固定连接有装配外壳(2)，所述装配外壳(2)外侧壁贯穿设置有多个定位插条(3)，所述定位插条(3)两端分别固定连接有定位弧块(4)和抵紧板(6)，所述定位插条(3)外侧壁活动套接有定位弹簧(5)，所述定位弹簧(5)两端分别与定位弧块(4)侧壁和装配外壳(2)侧壁固定连接，所述抵紧板(6)远离装配外壳(2)的一侧固定连接有抵紧橡胶(7)，所述装配外壳(2)外侧壁连接有驱动组件；所述载台本体(1)和装配外壳(2)底部贯穿设置有卸料杆(14)，所述卸料杆(14)一端固定连接有弧度块(15)，所述卸料杆(14)外侧壁活动套接有调节弹簧(16)，所述调节弹簧(16)两端分别与弧度块(15)侧壁和载台本体(1)侧壁固定连接，所述载台本体(1)底部连接有调节组件，所述载台本体(1)底部连接有辅助组件。2.根据权利要求1所述的一种半导体载台装置，其特征在于：所述驱动组件包括与装配外壳(2)外侧壁转动连接的活动套环(8)，所述活动套环(8)外侧壁固定套接有活动齿环(9)，所述活动齿环(9)内壁固定连接有多个活动凸块(10)，所述载台本体(1)顶部...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘尚书，汪民，黄伟，施建华，
申请(专利权)人：磊菱半导体设备江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：