一种靶材绑定定位器制造技术

本实用新型专利技术属于金属绑定技术领域，公开了一种靶材绑定定位器。所述定位器包括依次连接的固定器、可伸缩的伸缩杆、操作手柄；所述伸缩杆与固定器铰接或滑动连接。通过本免接触式定位器替代现有绑定方法，可有效降低操作人员被高温烫伤的风险，且减少了接触面绑定铟的丢失，避免了高温手套的纤维掉在绑定面。本靶材绑定定位器能够降低靶材的定位难度，提高定位质量，且定位操作安全。且定位操作安全。且定位操作安全。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材绑定定位器


[0001]本技术属于金属绑定
，特别涉及一种靶材绑定定位器。

技术介绍

[0002]目前溅射靶材应用广泛，涉及电子及信息产业和玻璃镀膜领域等领域。溅射机台里，在真空的状态下，通过轰击靶材表面，把高纯度的金属原子沉积到硅片上。靶材不可直接装机镀膜使用，需要采用金属焊料将靶坯和背板相互焊合连接。通过绑定可防止靶材因为受热不均而发生破裂，也可以节约成本防止靶材变形。
[0003]溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量等。现有的靶材绑定方法为：背板与靶坯涂布好后，操作人员带着高温手套从靶坯的绑定面托起靶坯放置在背板上面。现有的绑定方法存在以下问题：（1）定位难度大，绑定过程容易出现靶坯与背板错位；（2）因在绑定过程中手套接触到绑定面，将手套纤维留在绑定层，或者手套带走部分绑定铟，不能满足溅射靶材对平整度、纯度、各项杂志含量的要求，最终使得靶材绑定失败，增加成本；（3）操作者在定位过程中存在烫伤风险。

技术实现思路

[0004]为了解决以上问题，本技术提供一种靶材绑定定位器，降低靶材的定位难度，提高定位质量，且定位操作安全。
[0005]一种靶材绑定定位器，所述定位器包括依次连接的固定器、可伸缩的伸缩杆、操作手柄；所述伸缩杆与固定器铰接或滑动连接。本方案中，将固定器进行固定，与固定器连接的伸缩杆可于固定器转动或滑动；通过操作手柄支撑涂布好的靶坯，移动操作手柄使靶坯与背板贴合，直至完全贴合后取出操作手柄。本方案通过伸缩杆的伸缩完成操作手柄的纵向移动，通过伸缩杆于固定器转动或滑动带动操作手柄实现横向位移，如此确保操作手柄将靶坯绑定于背板的活动范围，完成定位动作。本方案采用固定器进行固定，使得操作手柄有所支撑，降低了现有技术因人工手套操作失误导致靶坯与背板错位的风险；采用免接触式定位器替代人工手套操作，避免手套纤维留在绑定层，提高了定位质量，且降低了操作者烫伤风险，操作安全。
[0006]进一步地，所述伸缩杆与操作手柄铰接，操作手柄可转动。
[0007]进一步地，所述操作手柄包括滚轴、与伸缩杆连接的滚筒；所述滚筒上设有轴承，所述轴承与滚轴的一端连接。本方案中，由滚轴的一端进行定位，定位过程中，滚轴可滚动前进。
[0008]进一步地，所述滚轴另一端为锥形。
[0009]进一步地，所述固定器为圆柱形，高度高于靶材的靶坯厚度。
[0010]进一步地，所述伸缩杆包括依次套设的多个伸缩轴，里层的伸缩轴可沿外层伸缩轴内滑动；最外层的伸缩轴的一端与固定器连接，最内层的伸缩轴的一端与滚筒连接。
[0011]进一步地，所述定位器的材质为304不锈钢。
[0012]进一步地，所述定位器包括两个伸缩杆、两个操作手柄；所述固定器分别与两个伸缩杆连接，每个伸缩杆分别连接一个操作手柄。
[0013]进一步地，所述定位器用于将靶材绑定于背板上，所述固定器固定于背板上。
[0014]进一步地，所述固定器与背板粘接或螺纹连接。
[0015]与现有技术相比，上述技术方案之一或多个技术方案能达到至少以下有益效果之一：
[0016]（1）通过本免接触式定位器替代现有绑定方法，可有效降低操作人员被高温烫伤的风险，且减少了接触面绑定铟的丢失，更加避免了高温手套的纤维掉在绑定面。
[0017]（2）由滚轴支撑涂布好的靶坯，支撑涂布好的靶坯，过程直接于靶坯绑定面接触，避免工作过程滚轴接触区带走铟；另外，滚轴是滚动前进，且为有一定的角度整体呈圆锥形状，使得滚轴在滚动前进时与靶坯绑定面时线面接触，大幅度的降低了靶坯与滚轴的接触面，有效减少了滚轴带走绑定面上面绑定铟的概率；且滚轴呈圆锥形方便在靶坯与背板接触时取出。
[0018]（3）通过固定器减小了背板与靶坯的定位难度。
[0019]（4）利用多套伸缩杆既可以方便设备的存放也可用于大小尺寸不同的靶材绑定，提高了设备利用率。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为实施例1靶材绑定定位器的结构示意图。
[0022]图2为实施例1滚筒的剖面结构示意图。
[0023]图3为实施例1滚轴的结构示意图。
[0024]图中，1、固定器；2、第一伸缩轴；3、第二伸缩轴；4、滚筒；5、滚轴；6、轴承。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例1
[0027]如图1所示，本实施例提供一种靶材绑定定位器，以圆形平面靶材绑定为例。靶材绑定定位器包括依次连接的固定器1、伸缩杆、操作手柄。
[0028]固定器1整体是一个凸起的圆柱，高度高于靶材的靶坯厚度，具体可根据靶坯的厚度确定固定器的高度。定位器1用于将靶材绑定于背板上，固定器固定于背板上，固定器1与背板粘接或螺纹连接。具体可根据背板的材质及形状确定固定器的固定方式。
[0029]伸缩杆包括依次套设的多个伸缩轴，里层的伸缩轴可沿外层伸缩轴内滑动；最外
层的伸缩轴的一端与固定器连接，最内层的伸缩轴的一端与滚筒连接。作为一种具体的实施方式，伸缩杆包括第一伸缩轴2和第二伸缩轴3，第二伸缩轴3的一端套设于第一伸缩轴2内，可沿第一伸缩轴2内滑动。第二伸缩轴3的另一端与操作手柄连接。伸缩杆由两组组成，既方便收纳，又增大绑定靶材的尺寸范围。
[0030]作为一种较佳实施方式，伸缩杆与固定器1铰接，伸缩杆可沿铰接点摆动。可以理解的是，采用滑动连接等其他连接方式实现伸缩杆于固定器滑动或摆动也是可行的。
[0031]如图2和图3所示，操作手柄包括滚筒4和滚轴5。滚筒4与第二伸缩轴3铰接，滚筒4上设有轴承6，轴承6与滚轴5的一端连接；滚轴5的另一端为锥形。滚轴5在工作时需要在表面涂有绑定介质，滚轴5的用途是支撑涂布好的靶坯，过程直接于靶坯绑定面接触，避免工作过程滚轴接触区带走铟。由于滚轴是滚动前进，滚轴在滚动前进时与靶坯绑定面时线面接触，大幅度的降低了靶坯与滚轴的接触面，有效减少了滚轴带走绑定面上面绑定铟的概率；滚轴有一定的角度整体呈圆锥形状，方便在靶坯与背板接触时取出。
[0032]本实施例中的定位器包括两个伸缩杆、两个操作手柄；固定器分别与两个伸缩杆连接，每个伸缩杆分别连接一个操作手柄。两套伸缩杆和操作手柄的设置进一步提高了绑定靶材的尺寸范围；两套同时对称操作，提高了绑定靶材的平整性，提高绑定质本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材绑定定位器，其特征在于，所述定位器包括依次连接的固定器、可伸缩的伸缩杆、操作手柄；所述操作手柄包括滚轴、与伸缩杆连接的滚筒；所述滚筒上设有轴承，所述轴承与滚轴的一端连接；所述伸缩杆与固定器铰接或滑动连接。2.根据权利要求1所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述伸缩杆与操作手柄铰接。3.根据权利要求2所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述滚轴另一端为锥形。4.根据权利要求3所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述固定器为圆柱形，高度高于靶材的靶坯厚度。5.根据权利要求1所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述伸缩杆包括依次套设的多个伸缩轴，里层...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳晓聪，黄宇彬，潘铭枫，童培云，朱刘，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：