【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蒸发料杂质处理，具体涉及一种铝合金蒸发料表面杂质处理方法。
技术介绍
1、人工智能、5g技术的飞速发展，半导体电子器件的需求量也日益增加，镀膜材料是半导体电子器件制造的重要材料，而镀膜材料的重要制备方法之一是物理气相沉积法(pvd)；物理气相沉积是一种在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材或蒸发料蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。
2、pvd技术主要包括溅射技术和蒸发镀膜技术，其中后者常用的原料即为蒸发料，由于蒸发镀膜技术具有污染程度小的优点，应用范围越发广泛；而由于半导体器件精细化程度的日益提高，对镀膜材料的性能越发严格，这就需要提高镀膜蒸发料的纯度，降低杂质含量，以有助于高性能膜材料的制备。
3、铝系蒸发料主要是先将高纯铝和高纯铜熔炼成组分均匀的铸锭，然后经过锻打轧制和热处理，细化且均匀铸锭晶粒，再通过拔长调直剪切等工艺最终做到蒸发料尺寸；但是在此阶段得到的蒸发料往往是不符合纯度要求的，因为表面氧化严重，且在拔长过程中为了保证丝材不断裂往往会添加润滑剂，因此在此过程中容易引入杂质，导致纯度不高，为了得到纯度符合要求的蒸发料，还需要对于蒸发料表面处理。
4、d1：中国专利cn108754183b公开了一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料，该制备方法包括如下步骤：(a)对原料钛进行预处理；(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10-20min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5-15min；再酸洗
5、上述专利采用对钛蒸发料先进行清洗油清洗、酸洗然后在进行离心研磨的方式来去除蒸发料的表面杂质，可以有效蒸发料的纯度，钛含量为99.999％-99.9999％，产品合格率为50％-60％；但是上述技术方案在应用于铝合金蒸发料的表面杂质处理时，先通过酸洗再进行研磨的过程中，由于蒸发料未经过表面研磨、抛光去除杂质，导致酸洗需要用到的酸量较多，过多的酸会出现消耗铝合金蒸发料的问题。
6、基于此，d2：中国专利申请cn108987273a公开了一种银蒸发料的表面处理方法，包括：提供银蒸发料；对所述银蒸发料进行离心研磨操作；在所述离心研磨操作后，对所述银蒸发料进行清洗操作；在所述清洗操作后，对所述银蒸发料进行干燥处理。
7、上述专利申请对银蒸发料进行离心研磨操作，以去除所述银蒸发料表面的氧化层，达到表面抛光的效果，相比采用酸洗操作以去除氧化层的方案，本专利技术可以避免酸洗溶液消耗所述银蒸发料的问题，从而在提高所述银蒸发料的表面光亮度和光滑度、提高所述银蒸发料纯度的同时，降低所述银蒸发料的消耗量，进而降低所述银蒸发料的制备成本。
8、上述专利采用先进行离心研磨操作然后再清洗的技术方案，但是对于铝合金蒸发料来说，d1和d2采用的离心研磨均容易造成蒸发料难以去除的元素如ti、ni等元素杂质去除不完全，蒸发料表面粗糙度过高等问题，并且d2采用异丙醇等对蒸发料进行清洗的操作还会产生清洗过程所需要的量比较大，安全方面不易保证且使用过后的废液不好处理的问题。
9、因此需要针对铝合金蒸发料研发出一种合适的表面杂质处理方法，以确保铝合金蒸发料表面杂质处理完全的同时，蒸发料的表面粗糙度降低，且减少铝合金蒸发料的消耗量，以降低生产成本。
技术实现思路
1、本专利技术的目的之一在于，提供一种铝合金蒸发料表面杂质处理方法，以解决现有技术采用离心研磨对蒸发料进行表面处理导致蒸发料表面杂质容易出现清除不完全和表面粗糙度过高的问题，并解决了现有技术在清洗蒸发料过程中容易出现蒸发料消耗过多或者清洗废液不好处理的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了一种铝合金蒸发料表面杂质处理方法，包括如下步骤：
3、步骤1：将蒸发料进行震动抛光；
4、步骤2：将步骤1震动抛光完成后的蒸发料进行纯水清洗；
5、步骤3：将蒸发料通过无机酸进行酸洗，酸洗完成后进行纯水超声清洗；
6、步骤4：将蒸发料进行真空烘干得到高纯度铝合金蒸发料；
7、其中，所述步骤1震动抛光中的抛光球与蒸发料的重量比为0.8-1:1，震动抛光采用水和清洗剂作为抛光液，震动抛光的时间为50-80min。
8、优选的，所述步骤1中水和清洗剂的体积比为1:1000，所述清洗剂为洗洁精或肥皂液。
9、进一步优选的，在步骤3之前，步骤1和步骤2的操作重复2次。
10、优选的，所述步骤3中的无机酸为硝酸、硫酸、盐酸中的一种或多种。
11、进一步优选的，所述步骤3中酸洗时间为15-30min，纯水超声清洗的时间为15-30min。
12、进一步的，所述步骤4中真空烘干的真空度＜1bar，烘干温度为60-100℃，烘干时间为4-5h。
13、进一步优选的，所述步骤4中真空烘干的真空度为-0.07mpa，烘干温度为60℃，烘干时间为4h。
14、有益效果
15、与现有技术相比，本专利技术至少具备以下优势：
16、(1)本专利技术采用震动抛光代替离心研磨，并且限定了抛光过程中的球料比，从而确保蒸发料表面的杂质如ti、ni等难以酸洗去除的元素去除完全的同时还能够降低蒸发料的表面粗糙度，有效提高蒸发料的产品质量；
17、(2)本专利技术采用先震动抛光再进行酸洗的操作，在确保蒸发料表面ti、ni等元素杂质去除完全的同时，把表面部分氧化膜也去除，降低了酸洗的酸用量，从而减少铝合金蒸发料的消耗；
18、(3)本专利技术通过震动抛光和酸洗结合的技术手段，完全去除蒸发料表面的杂质，得到纯度高且有光泽的蒸发料。
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1.一种铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，所述步骤1中水和清洗剂的体积比为1:1000，所述清洗剂为洗洁精或肥皂液。
3.根据权利要求1所述的铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，在步骤3之前，步骤1和步骤2的操作重复2次。
4.根据权利要求1所述的铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，所述步骤3中的无机酸为硝酸、硫酸、盐酸中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，所述步骤4中真空烘干的真空度＜1bar，烘干温度为60-100℃，烘干时间为4-5h。
6.根据权利要求5所述的铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，所述步骤4中真空烘干的真空度为-0.07MPa，烘干温度为60℃，烘干时间为4h。
【技术特征摘要】
1.一种铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，所述步骤1中水和清洗剂的体积比为1:1000，所述清洗剂为洗洁精或肥皂液。
3.根据权利要求1所述的铝合金蒸发料表面杂质处理方法，其特征在于，在步骤3之前，步骤1和步骤2的操作重复2次。
4.根据权利要求1所述的铝合金蒸发料表面杂质处...
【专利技术属性】
技术研发人员：岳晓聪，黄宇彬，徐雷，张竞，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：
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