【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，具体涉及一种消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置及方法。
技术介绍
1、可见光波段的ar膜(减反膜/增透膜)，在不加烘烤(低温)的条件下成膜时，用单电子枪单修正板的配置，成膜完成后，分光曲线容易出现纵向(反射率)分层现象：即(rmax-rmin≥0.15%)；严重的会达到1-2%(零件在工件盘内圈到外圈纵向分布，特别是外圈，光谱曲线有很大的随机性及不重复性)，而一般的光学要求范围是：0.01%-0.08%，本方法涉及一种非线性变化修正板装置。
2、常规膜系一般采用一高一低两种不同折射率的膜料交替叠加，本方法仅适用于常规膜系,单电子枪设备。传统镀制ar膜时，一般有两种蒸发模式：
3、一种是用双枪双修正板结构：两种/多种膜料各自有独立的修正板，各膜料之间的占比不会失衡；另一种方法是用单枪单修正板结构：两种/多种膜料共用一个修正板，各膜料之间的占比会失衡，这在低指标要求的光学零件上不会有问题，但对一些光学指示要求高的光学零件就会出现光谱曲线纵向分层，极差值不达标。
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【技术保护点】
1.消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：包括镀膜腔（1），在该镀膜腔（1）内上部设置有工件盘罩（3），从所述的镀膜腔（1）的顶部穿入有与工件盘罩（3）轴承配合的旋转轴（2），在该旋转轴（2）的末端连接有夹持工件的工件盘；在所述的镀膜腔（1）的底部设置有与工件盘位置对应的电子枪机构和坩埚（5），在所述的镀膜腔（1）左右两侧的内壁分别设置有左修正机构和右修正机构。
2.根据权利要求1所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：所述的电子枪机构包括电子枪（4），在该电子枪（4）的周围设置有防护板（7）。
3.根据权利要求2所...
【技术特征摘要】
1.消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：包括镀膜腔（1），在该镀膜腔（1）内上部设置有工件盘罩（3），从所述的镀膜腔（1）的顶部穿入有与工件盘罩（3）轴承配合的旋转轴（2），在该旋转轴（2）的末端连接有夹持工件的工件盘；在所述的镀膜腔（1）的底部设置有与工件盘位置对应的电子枪机构和坩埚（5），在所述的镀膜腔（1）左右两侧的内壁分别设置有左修正机构和右修正机构。
2.根据权利要求1所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：所述的电子枪机构包括电子枪（4），在该电子枪（4）的周围设置有防护板（7）。
3.根据权利要求2所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：所述的左修正机构包括左修正板（8），该左修正板（8）连接有左连接杆（9），所述的左连接杆（9）连接有位于镀膜腔（1）外部的伸缩机构，在所述的镀膜腔（1）的内壁上设置有方便左连接杆（9）上下活动的左通槽（10）。
4.根据权利要求3所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆斌，卢成，李仕武，周厚宇，沈康豪，
申请(专利权)人：成都国泰真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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