温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置及方法。镀膜腔的顶部穿入有与工件盘罩轴承配合的旋转轴，旋转轴的末端连接有夹持工件的工件盘；在镀膜腔的底部设置有电子枪机构、坩埚，镀膜腔左右两侧的内壁分别设置有左修正...
该专利属于成都国泰真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都国泰真空设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。