【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材制备，具体涉及一种避免污染的氧化铟真空进料装置。
技术介绍
1、i to靶材是一种由氧化铟粉末和氧化锡粉末经过成型、烧结而成的黑灰色陶瓷半导体，是生产i to薄膜的重要原料。在生产前需要投入大量的粉末原料，其中尤以真空进料的方式最为合适，该方法可实现连续大量进料，且相对而言进料速度快。
2、当前氧化铟粉体真空上料机的进料端由作业员始终保持手持吸料管对粉体进行抽吸，在此过程中存在以下问题：
3、1、氧化铟盛纳容器中的氧化铟粉体始终处于敞口状态，暴露在空气中导致粉体极易被外部环境污染(毛发、汗液、皮屑、灰尘)。
4、2、在作业过程中员工长时间处于氧化铟粉尘条件下，容易对人员身体造成损害。
5、3、作业过程中作业员需不停的翻动粉体，操作繁琐，费工费时。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种避免污染的氧化铟真空进料装置，用于解决现有技术中敞口式抽吸氧化铟粉末容易受到外部环境污染的问题。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种避免污染的氧化铟真空进料装置，包括：
4、粉末容器；
5、盖板，一端与所述粉末容器转动连接，所述盖板用于封堵或解除封堵所述粉末容器的顶口端，且所述盖板上嵌装有进气阀；
6、真空吸料机，其进口端通过抽吸软管连接所述粉末容器底部的出料口；
7、称重机构，设置在所述粉末容器和外壳体之间，所述外壳体套设在所述粉末容
8、控制系统，其包括的控制器分别电性连接所述称重机构和所述真空吸料机。
9、作为本专利技术进一步的方案：所述称重机构包括有定位座和称重传感器，所述定位座均布安装在所述外壳体的顶口端面上，所述粉末容器的顶口端设有一体结构的耳盘，所述耳盘与所述定位座之间设置有称重传感器，所述称重传感器电性连接所述控制器。
10、作为本专利技术进一步的方案：所述外壳体设置有振动电机，且所述振动腔内均布设置有若干振动弹簧，所述振动弹簧的一端固定连接所述外壳体的内壁，另一端与所述粉末容器的外壁抵触，且所述振动电机电性连接所述控制器。
11、作为本专利技术进一步的方案：所述控制器上设置有时间模块和分析模块，所述时间模块用于记录所述称重传感器的重量数值与时间的对应关系，在所述控制器预定的时间段内获取开始称重数值和结束称重数值，并将开始称重数值和结束称重数值输入至所述分析模块，所述分析模块用于计算开始称重数值和结束称重数值的差值，所计算差值小于所述控制器预定的差值，所述控制器电性开启所述振动电机。
12、作为本专利技术进一步的方案：所述控制系统还包括有声光报警器，所述声光报警器电性连接所述控制器。
13、作为本专利技术进一步的方案：所述耳盘的一侧固定安装转耳座，所述转耳座与所述盖板的一侧板端转动连接，所述盖板的另一侧板端设置有把手。
14、作为本专利技术进一步的方案：所述耳盘上设置有密封圈，所述密封圈沿所述粉末容器的顶口端轮廓环形设置。
15、本专利技术的有益效果：
16、(1)将氧化铟粉末倾倒入粉末容器中进行负压抽吸作业时，盖板以使粉末容器中的氧化铟粉体始终处于闭口抽吸状态，可以防止暴漏导致粉体而被外部空气环境污染，通过真空吸料机从粉末容器底部抽吸氧化铟粉末，盖板上设置的进气阀以使氧化铟粉末快速下压抽吸，抽吸自动化进行，无需作业员搅拌氧化铟粉末抽吸处理，操作方便，且操作省时省力，便于作业使用，从而有助于提升氧化铟粉末抽吸进料效率；
17、(2)通过在粉末容器和外壳体之间设置称重机构，称重机构用于监测粉末容器中盛纳的抽吸氧化铟粉末重量，并将从实时称重数值反馈至控制器，在称重数值无法满足抽吸进料需求时，便于通过控制器操控真空吸料机停止抽吸作业，可以降低设备能耗，节约生产成本；
18、(3)确保粉末容器中的氧化铟粉体可以闭口抽吸式作业，在作业过程中可以避免员工长时间处于氧化铟粉尘环境中，从而可以防止氧化铟粉末对人员身体造成损害；
19、(4)闭口抽吸式作业过程中，通过在控制器上设置有时间模块和分析模块，记录预定时间段内的开始称重数值和结束称重数值，并由分析模块进行计算比较开始称重数值和结束称重数值之间的差值，计算差值小于预定差值时，则表明负压抽吸过程中粉末容器中物料发生堵塞，达不到负压抽吸处理量，此时，通过控制器操控振动电机开启，振动电机以使粉末容器内物料进行振动落料，以解决堵塞造成无法满足负压抽吸量的需求，确保氧化铟粉末不团聚正常下落进行负压抽吸作业；
20、(5)闭口抽吸式作业过程中，计算差值大于预定差值时，关闭振动电机，节约设备能耗，操作方便，便于自动控制氧化铟粉末进行下落抽吸进料。
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1.一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述称重机构包括有定位座(10)和称重传感器(11)，所述定位座(10)均布安装在所述外壳体(6)的顶口端面上，所述粉末容器(1)的顶口端设有一体结构的耳盘(9)，所述耳盘(9)与所述定位座(10)之间设置有称重传感器(11)，所述称重传感器(11)电性连接所述控制器(20)。
3.根据权利要求2所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述外壳体(6)设置有振动电机(16)，且所述振动腔(7)内均布设置有若干振动弹簧(8)，所述振动弹簧(8)的一端固定连接所述外壳体(6)的内壁，另一端与所述粉末容器(1)的外壁抵触，且所述振动电机(16)电性连接所述控制器(20)。
4.根据权利要求3所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述控制器(20)上设置有时间模块(21)和分析模块(22)，所述时间模块(21)用于记录所述称重传感器(11)的重量数值与时间的对应关系，在所述控制器(20)预定的时间段内
5.根据权利要求4所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述控制系统还包括有声光报警器(23)，所述声光报警器(23)电性连接所述控制器(20)。
6.根据权利要求2所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述耳盘(9)的一侧固定安装转耳座(13)，所述转耳座(13)与所述盖板(2)的一侧板端转动连接，所述盖板(2)的另一侧板端设置有把手(14)。
7.根据权利要求6所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述耳盘(9)上设置有密封圈(15)，所述密封圈(15)沿所述粉末容器(1)的顶口端轮廓环形设置。
...【技术特征摘要】
1.一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述称重机构包括有定位座(10)和称重传感器(11)，所述定位座(10)均布安装在所述外壳体(6)的顶口端面上，所述粉末容器(1)的顶口端设有一体结构的耳盘(9)，所述耳盘(9)与所述定位座(10)之间设置有称重传感器(11)，所述称重传感器(11)电性连接所述控制器(20)。
3.根据权利要求2所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述外壳体(6)设置有振动电机(16)，且所述振动腔(7)内均布设置有若干振动弹簧(8)，所述振动弹簧(8)的一端固定连接所述外壳体(6)的内壁，另一端与所述粉末容器(1)的外壁抵触，且所述振动电机(16)电性连接所述控制器(20)。
4.根据权利要求3所述的一种避免污染的氧化铟真空进料装置，其特征在于，所述控制器(20)上设置有时间模块(21)和分析模块(22)，所述时间模块(21)用于记录所...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩贤昆，李萍萍，郭浩亮，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：
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