一种制造技术

本发明专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种NiCr合金靶材的制备方法


[0001]本专利技术属于粉末冶金
，具体涉及一种
NiCr
合金靶材的制备方法
。

技术介绍

[0002]在镀膜行业中，在高纯
Ni
中加入
Cr
元素制备的镍铬
(NiCr)
合金靶材具有耐热
、
耐磨
、
耐蚀等优异的性能使其被广泛应用于表面强化薄膜
、
低辐射
(Low
‑
E)
玻璃
、
微电子
、
磁记录
、
半导体和薄膜电阻等高端技术产业中，因此对于
NiCr
合金靶材的需求日渐升高，同时对其性能的要求，如致密度
、
纯度
、
晶粒尺寸和分布
、
均匀性
、
晶粒取向等也更高
。
然而，现有技术中制备的
NiCr
合金靶材质量上依旧存在问题，如原料利用率低
、
含氧量较高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
NiCr
合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、
原料配制：按重量百分比计，
Ni
粉用量为
38
‑
42wt
％，
Cr
粉用量为
58
‑
62wt
％；
S2、
球磨混粉：锆球与原料在氩气氛围下球磨得到
NiCr
合金粉，混粉期间每
30min
取下混粉桶上下摇晃2‑
3min
；
S3、
热压烧结：
NiCr
合金粉装模后进炉预压，预压至5‑
8MPa
后保压5‑
10min
后泄压；抽真空至
10Pa
以下，一段升温至
580
‑
650℃
，二段升温至
1020
‑
1060℃
，三段升温至
1150
‑
1200℃
，保温匀速加压至
30
‑
40MPa,
烧结
90
‑
140min
后得到靶坯，磨床加工后即得
NiCr
合金靶材
。2.
根据权利要求1所述的一种

【专利技术属性】
技术研发人员：朱庆全，刘联平，陆维镇，欧海琳，马国成，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：