改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法技术

一种改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法包括步骤：S1，将硫化锌球罩的镀覆导电环膜层的部位抛光粗化处理；S2，将粗化处理的硫化锌球罩擦拭干净；S3，将硫化锌球罩固定于球罩固定工装上，露出硫化锌球罩的粗化且擦拭干净的部位；S4，将硫化锌球罩加热至150

【技术实现步骤摘要】
改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法


[0001]本公开涉及硫化锌球罩领域，更具体地涉及一种改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法。

技术介绍

[0002]现有硫化锌球罩导电环通常用两种加工方法，一是在球罩内壁上通过粘胶贴附电极片，但粘胶贴附稳固性差易造成粘胶老化脱落，第二种方案是采用真空镀膜的方法在球罩内壁镀上一定厚度金属薄膜，通常几百纳米厚度金属膜附着力会很好。但为达到一定电阻值通常金属膜层厚度需镀的非常厚，要达到数微米(例如5微米(μm)以上)，这样厚度的导电环非常容易脱落。

技术实现思路

[0003]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的目的在于提供一种改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法，其能改善硫化锌球罩导电环膜层附着力以使5
‑
15μm厚度的导电环膜层不会从硫化锌球罩上脱落。
[0004]由此，一种改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法包括步骤：S1，将硫化锌球罩的镀覆导电环膜层的部位抛光粗化处理；S2，将粗化处理的硫化锌球罩经超声波清洗或手工擦拭干净；S3，将硫化锌球罩固定于真空溅射镀膜机的球罩固定工装上，以使球罩固定工装露出硫化锌球罩的粗化且擦拭干净的部位；S4，将固定在球罩固定工装中的硫化锌球罩加热至150
‑
180℃之后恒温保温10
‑
30min；S5，真空溅射镀膜机对内部抽真空至1.5
×
10
‑3Pa以下，开始溅射镀膜，先使用镍铬合金靶在粗化且擦拭干净的部位上溅射第一层镍铬合金，之后使用铜靶在第一层镍铬合金上溅射第一层铜，然后使用镍铬合金靶在第一层铜上溅射第二层镍铬合金，随后使用铜靶在第二层镍铬合金上溅射第二层铜，镍铬合金靶和铜靶交替溅射至少两组以上来形成厚度5
‑
15μm的导电环膜层，其中，镍铬合金靶的材质为铬镍质量比为2:8；S6，步骤S5的溅射镀膜结束后，硫化锌球罩的温度梯度降温至规定温度，之后从真空溅射镀膜机中取出球罩固定工装，从球罩固定工装上拆下形成导电环膜层的硫化锌球罩。
[0005]本公开的有益效果如下：在根据本公开的改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法中，通过步骤S1的粗化、步骤S2的清洁(即超声波清洗或手工擦拭干净)、步骤S3的固定、步骤S4的硫化锌球罩加热、步骤S5的镍铬合金靶和铜靶交替溅射至少两组以上来形成厚度5
‑
15μm的导电环膜层、步骤S6的梯度降温，硫化锌球罩上形成的厚度5
‑
15μm的导电环膜层在胶带拉膜测试时不会从硫化锌球罩上脱落，由此改善了硫化锌球罩导电环膜层附着力。
附图说明
[0006]图1是根据本公开的改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法所采用的真空溅射镀膜机的示意图。
[0007]图2是在根据本公开的改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法中在步骤S5中镍铬合金和铜交替地镀覆在硫化锌球罩的粗化且擦拭干净的部位上的示意图。
[0008]图3是实施例1的形成导电环膜层的硫化锌球罩在导电环膜层附着力检测后的照片。
[0009]图4是对比例1的形成导电环膜层的硫化锌球罩在导电环膜层附着力检测后的照片。
[0010]其中，附图标记说明如下：
[0011]100真空溅射镀膜机
[0012]1球罩固定工装
[0013]P硫化锌球罩的粗化且擦拭干净的部位
[0014]2镍铬合金靶
[0015]3铜靶
[0016]4电阻线圈
具体实施方式
[0017]附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。
[0018][改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法][0019]参照图1和图2，根据本公开的改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法包括步骤：
[0020]S1，将硫化锌球罩的镀覆导电环膜层的部位抛光粗化处理；
[0021]S2，将粗化处理的硫化锌球罩经超声波清洗或手工擦拭干净；
[0022]S3，将硫化锌球罩固定于真空溅射镀膜机100的球罩固定工装1上，以使球罩固定工装1露出硫化锌球罩的粗化且擦拭干净的部位P；
[0023]S4，将固定在球罩固定工装1中的硫化锌球罩加热至150
‑
180℃之后恒温保温10
‑
30min；
[0024]S5，真空溅射镀膜机100对内部抽真空至1.5
×
10
‑3Pa以下，开始溅射镀膜，先使用镍铬合金靶2在粗化且擦拭干净的部位P上溅射第一层镍铬合金，之后使用铜靶3在第一层镍铬合金上溅射第一层铜，然后使用镍铬合金靶2在第一层铜上溅射第二层镍铬合金，随后使用铜靶3在第二层镍铬合金上溅射第二层铜，镍铬合金靶2和铜靶3交替溅射至少两组以上来形成厚度5
‑
15μm的导电环膜层，其中，镍铬合金靶2的材质为铬镍质量比为2:8；
[0025]S6，步骤S5的溅射镀膜结束后，硫化锌球罩的温度梯度降温至规定温度，之后从真空溅射镀膜机100中取出球罩固定工装1，从球罩固定工装1上拆下形成导电环膜层的硫化锌球罩。
[0026]在根据本公开的改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法中，通过步骤S1的粗化、步骤S2的清洁(即超声波清洗或手工擦拭干净)、步骤S3的固定、步骤S4的硫化锌球罩加热、步骤S5的镍铬合金靶2和铜靶3交替溅射至少两组以上来形成厚度5
‑
15μm的导电环膜层、步骤S6的梯度降温，如后述的测试过程所验证地，硫化锌球罩上形成的厚度5
‑
15μm的导
电环膜层在胶带拉膜测试时不会从硫化锌球罩上脱落，由此改善了硫化锌球罩导电环膜层附着力。
[0027]步骤S1的粗化和步骤S2的清洁有利于溅射的第一层镍铬合金与硫化锌球罩的结合。
[0028]步骤S4的硫化锌球罩加热与步骤S5的真空溅射时等离子体的温度形成配合，这样与硫化锌球罩不加热相比，大大地降低了硫化锌球罩与镍铬合金层以及铜层之间的温差，有利于第一层镍铬合金与硫化锌球罩之间的结合以及交替溅射的镍铬合金层和铜层之间的结合以及内部的热应力均衡。
[0029]在一示例中，在步骤S4中，将固定在球罩固定工装1中的硫化锌球罩加热至160℃之后恒温保温20min。
[0030]在一示例中，在步骤S4中，将固定在球罩固定工装1中的硫化锌球罩加热采用电阻线圈4(如图1所示)加热、石墨板加热或加热灯加热。
[0031]步骤S5的镍铬合金层和铜层的交替溅射，镍铬合金层起到缓冲过渡作用，有利于交替溅射的镍铬合金层和铜层之间的应力释放。
[0032]在一示例中，在步骤S5中，第一层镍铬合金的厚度的上限为第一层铜的厚度的下限；第一层铜的厚度的上限为第二层镍铬合金的厚度的下限；第二层镍铬合金的厚度的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法，其特征在于，包括步骤：S1，将硫化锌球罩的镀覆导电环膜层的部位抛光粗化处理；S2，将粗化处理的硫化锌球罩经超声波清洗或手工擦拭干净；S3，将硫化锌球罩固定于真空溅射镀膜机(100)的球罩固定工装(1)上，以使球罩固定工装(1)露出硫化锌球罩的粗化且擦拭干净的部位(P)；S4，将固定在球罩固定工装(1)中的硫化锌球罩加热至150
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180℃之后恒温保温10
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30min；S5，真空溅射镀膜机(100)对内部抽真空至1.5
×
10
‑3Pa以下，开始溅射镀膜，先使用镍铬合金靶(2)在粗化且擦拭干净的部位(P)上溅射第一层镍铬合金，之后使用铜靶(3)在第一层镍铬合金上溅射第一层铜，然后使用镍铬合金靶(2)在第一层铜上溅射第二层镍铬合金，随后使用铜靶(3)在第二层镍铬合金上溅射第二层铜，镍铬合金靶(2)和铜靶(3)交替溅射至少两组以上来形成厚度5
‑
15μm的导电环膜层，其中，镍铬合金靶(2)的材质为铬镍质量比为2:8；S6，步骤S5的溅射镀膜结束后，硫化锌球罩的温度梯度降温至规定温度，之后从真空溅射镀膜机(100)中取出球罩固定工装(1)，从球罩固定工装(1)上拆下形成导电环膜层的硫化锌球罩。2.根据权利要求1所述的改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法，其特征在于，在步骤S4中，将固定在球罩固定工装(1)中的硫化锌球罩加热至160℃之后恒温保温20min。3.根据权利要求1所述的改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法，其特征在于，在步骤S4中，将固定在球罩固定工装(1)中的硫化锌球罩加热采用电阻线圈(4)加热、石墨板加热或加热灯加热。4.根据权利要求1所述的改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法，其特征在于，在步骤S5中，第一层镍铬合金的厚度的上限为第一层铜的厚度的下限；第一层铜的厚度的上限为第二层镍铬...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴辉，王星星，刘克武，尹士平，王俊，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：