【技术实现步骤摘要】
一种用于加工模具的真空镀膜机及其使用方法
[0001]本专利技术涉及真空镀膜机
,具体为一种用于加工模具的真空镀膜机及其使用方法。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机工作时:先抽真空,使真空室处于真空状态,再通过电子枪束流对真空室底部坩埚内的镀膜材料(简称膜料)加热;膜料在加热到一定的温度后,膜料分子会产生挥发,挥发出的膜料分子沉积在真空室顶部的产品表面形成薄膜。
[0003]目前的真空镀膜机存在以下缺点:在进行溅射镀膜时,由于现有的镀膜架都是固定式的,而需要镀膜的模具大小不一,有的模具较大,会距离溅射镀膜靶材放置架过近,导致旋转时产生干涉,由于无法调整需要镀膜的模具与溅射镀膜靶材放置架的距离,从而需要更换不同的镀膜架,此操作需要的操作时间久,操作工作强度大,为此,我们提出一种用于加工模具的真空镀膜机及其使用方法。
技术实现思路
>[0004]本专利本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于加工模具的真空镀膜机,包括镀膜机外壳(31),其特征在于:所述镀膜机外壳(31)内部转动设有主中空转轴(13),所述主中空转轴(13)上下两端表面均固定设有安装板(4),所述安装板(4)表面呈环形阵列设置有若干个第一通槽(6),所述第一通槽(6)内部两侧设有内滑槽(2),第一通槽(6)内侧设有第一滑块(5),且第一滑块(5)两侧伸入并滑动设置于内滑槽(2)内部,所述第一滑块(5)内部中心转动设有模具挂架(28),所述模具挂架(28)上端固定设有从动链轮(1),所述安装板(4)表面设有调节滑槽(8),所述调节滑槽(8)内部固定设有滑杆(10),所述滑杆(10)表面滑动设有第二滑块(11),所述第二滑块(11)上端表面转动设有调节链轮(7),所述滑杆(10)表面环绕设有弹簧(9),且弹簧(9)一端与第二滑块(11)一侧表面固定连接,弹簧(9)另一端与调节滑槽(8)内部一侧表面固定连接,所述安装板(4)表面转动设有主动链轮(14),所述主动链轮(14)上端表面中心固定设有第一齿轮(15),所述主中空转轴(13)内侧固定设有第二电机(26),所述第二电机(26)下端传动设有双向丝杆(35),所述双向丝杆(35)上下两侧表面均螺纹连接设有螺母(34),所述螺母(34)表面铰链连接设有铰链支撑杆(33),且铰链支撑杆(33)另一端与第一滑块(5)铰链连接,所述主中空转轴(13)内部上端设有接电机构(27)。2.根据权利要求1所述的一种用于加工模具的真空镀膜机,其特征在于:所述镀膜机外壳(31)内侧上端固定设有环形啮合轨道(25),环形啮合轨道(25)的圆心与主中空转轴(13)的圆心相同,且环形啮合轨道(25)内侧表面与第一齿轮(15)啮合连接。3.根据权利要求1所述的一种用于加工模具的真空镀膜机,其特征在于:所述主中空转轴(13)上端表面固定设有环形啮齿(12),镀膜机外壳(31)内侧上端固定设有第一电机(3),第一电机(3)输出端传动设有第二齿轮(16),第二齿轮(16)与环形啮齿(12)啮合连接。4.根据权利要求1所述的一种用于加工模具的真空镀膜机,其特征在于:所述双向丝杆(35)上下两部分的螺纹方形相反设置,且双向丝杆(35)上下两部分的螺纹分别与一个螺母(34)螺纹连接。5.根据权利要求1所述的一种用于加工模具的真空镀膜机,其特征在于:所述主中空转轴(13)上下表面均设有若干个第二通槽(32),铰链支撑杆(33)穿过第二通槽(32)设置。6.根据权利要求1所述的一种用于加工模具的真空镀膜机,其特征在于:所述接电机构(27)包括:环形火线接电轨道(17),所述环形火线接电轨道(17)固定设置于镀膜机外壳(31)内侧上端,且环形火线接电轨道(17)下端表面设有与火线接电滚珠(18)相适配的第一环形半圆形槽;火线接电滚珠(18),所述火线接电滚珠(18)转动设置于火线接电滑块(19)内侧,且火线接电滚珠(18)与环形火线接电轨道(17)下端表面的第一环形半圆形槽贴合连接;火线接电滑块(19),所述火线接电滑块(19)滑动设置于环形火线接电轨道(17)表面;第一弹簧伸缩杆(20),所述第一弹簧伸缩杆(20)由伸缩杆和复位弹簧组成,且第一弹簧伸缩杆(20)上端与火线接电滑块(19)固定连接,第一弹簧伸缩杆(20)下端与主中空转轴(...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨桂锋,王飞,段崇军,姚志云,吴俊杰,
申请(专利权)人:桓宇时代江苏纳米科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。