【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机，尤其涉及一种环绕式真空镀膜机。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，现有的真空镀膜机，在使用过程中，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好，降低了镀膜成品率。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有的真空镀膜机，在使用过程中，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好，降低了镀膜成品率的缺点，而提出的一种环绕式真空镀膜机。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种环绕式真空镀膜机，包括：
4、机体，所述机体的内部设置有环绕仓组，且环绕仓组的外部设置有第一电热管，所述环绕仓组的内部安装有第二电热管，且环绕仓组的内部开设有限定槽，所述限定槽的内部连接有直线电机，且直线电机的顶部安装有放置板，所述放置板的顶部安装有限定块，且限定...
【技术保护点】
1.一种环绕式真空镀膜机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种环绕式真空镀膜机，其特征在于：所述环绕仓组(2)的外部安装有阻尼转轴(4)，且阻尼转轴(4)的内部连接有连接轴(5)，所述连接轴(5)的外部安装有密封门(6)，且密封门(6)的内部连接有输送管(7)，所述输送管(7)的另一端安装有真空泵(8)，且真空泵(8)的另一端连接有排放管(9)。
3.根据权利要求2所述的一种环绕式真空镀膜机，其特征在于：所述密封门(6)与环绕仓组(2)之间通过阻尼转轴(4)、连接轴(5)构成旋转结构，且连接轴(5)的外壁与阻尼转轴(4)的内壁相接触
4....
【技术特征摘要】
1.一种环绕式真空镀膜机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种环绕式真空镀膜机，其特征在于：所述环绕仓组(2)的外部安装有阻尼转轴(4)，且阻尼转轴(4)的内部连接有连接轴(5)，所述连接轴(5)的外部安装有密封门(6)，且密封门(6)的内部连接有输送管(7)，所述输送管(7)的另一端安装有真空泵(8)，且真空泵(8)的另一端连接有排放管(9)。
3.根据权利要求2所述的一种环绕式真空镀膜机，其特征在于：所述密封门(6)与环绕仓组(2)之间通过阻尼转轴(4)、连接轴(5)构成旋转结构，且连接轴(5)的外壁与阻尼...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨桂锋，王飞，段崇军，姚志云，吴俊杰，
申请(专利权)人：桓宇时代江苏纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。