一种探针卡多性能测试通用设备制造技术

本发明专利技术涉及一种探针卡多性能测试通用设备，其包括机架和高度调节机构，高度调节机构包括具有第一斜面的上滑动斜块

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡多性能测试通用设备


[0001]本专利技术涉及探针卡测试领域，尤其是涉及一种探针卡多性能测试通用设备
。

技术介绍

[0002]探针卡测试设备，主要用于对探针卡上的多个探针进行性能测试，如针压
、
针尖位置
、
针的高低度
、
针的端面大小及接触电阻的性能测试
。
在对探针进行性能测试时，通常将探针卡固定，而在竖直方向上移动测试仪器，这样测试仪器就可接近或接触探针卡上的探针，最终获得测试结果
。
[0003]为了能够在竖直方向上移动测试仪器，现有的探针卡测试设备是将测试仪器直接固定于驱动部件的输出端，通过驱动部件的输出端在竖直方向上的移动，来实现测试仪器的竖直方向上的移动
。
[0004]针对上述现有技术，专利技术人认为这种探针卡测试设备需要将驱动电机或驱动气缸等驱动设备安装在竖直方向上，会明显增加探针测试设备的高度，即增加了探针测试设备的体积；若探针测试设备的高度过高，还会增加测试仪器移动过程中的晃动，进而影响测试结果的准确性
。

技术实现思路

[0005]为了减小探针测试设备的体积，增加测试结果的准确性，本专利技术提供一种探针卡多性能测试通用设备
。
[0006]一种探针卡多性能测试通用设备，包括：机架，具有用于安装探针卡的安装位；高度调节机构，设置于所述安装位下方，包括具有第一斜面的上滑动斜块
、
具有第二斜面的下滑动斜块和竖直导向件，所述第一斜面滑接于所述第二斜面，所述上滑动斜块沿着竖直方向滑接于所述竖直导向件；测试仪器，设置于所述上滑动斜块，所述测试仪器包括固连于所述上滑动斜块的图像获取装置和
/
或压力传感器，所述图像获取装置用于获取所述探针卡的针尖图像，所述压力传感器用于测量所述探针卡的针压；其中，所述高度调节机构还包括第一驱动组件，所述第一驱动组件的动力输出端沿着水平方向连接于所述下滑动斜块，以使所述下滑动斜块沿着水平方向滑动，进而使所述上滑动斜块沿着所述竖直导向件滑动，最终使所述测试仪器沿着竖直方向靠近或远离所述探针卡
。
[0007]具体地，所述高度调节机构还包括第一底板，所述下滑动斜块滑接于所述第一底板；所述第一驱动组件工作时，所述下滑动斜块沿着所述第一底板的表面进行水平方向的滑动
。
[0008]具体地，所述第一驱动组件包括第一电机
、
第一丝杠和第一螺母座，所述第一电机的输出端连接于所述第一丝杠的端部，所述第一螺母座螺纹连接于所述第一丝杠的外壁，
且所述第一丝杠整体呈水平设置；所述第一螺母座固连于所述下滑动斜块
。
[0009]具体地，所述竖直导向件为竖直板，所述第一丝杠穿设于所述竖直导向件，所述第一电机和所述第一螺母座分设于所述竖直导向件的两侧，所述上滑动斜块具有竖直平面，所述上滑动斜块的竖直平面与所述竖直导向件之间通过第一滑接组件滑接，所述上滑动斜块的下部设置有延伸部，所述延伸部的竖直平面与所述上滑动斜块的竖直平面在同一平面内以便于安装所述第一滑接组件，所述延伸部与所述上滑动斜块一体成型
。
[0010]具体地，所述高度调节机构还包括用于获取所述上滑动斜块的高度的光栅组件，所述光栅组件包括相互对应的光栅尺和扫码头，所述光栅尺沿着竖直方向设置于所述竖直导向件，所述扫码头设置于所述上滑动斜块，所述光栅组件还包括用于限制所述上滑动斜块在竖直方向上的位移的第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件一一对应地设置于所述光栅尺的两端的附近，且所述第一限位件和所述第二限位件分别与所述扫码头对应设置
。
[0011]具体地，所述测试设备还包括第一光学元件，与所述安装位对应设置，用于接收并改变第一光线的传播方向；所述图像获取装置与所述第一光学元件对应设置，用于接收被所述第一光学元件改变了传播方向的第一光线，以获取所述探针或所述探针卡的探针的针尖图像
。
[0012]具体地，所述第一光学元件设有反射面，所述反射面用于接收并反射所述第一光线；所述图像获取装置用于接收经所述反射面反射的所述第一光线，以获取所述针尖图像
。
[0013]进一步地，所述图像获取装置包括远心镜头，所述远心镜头用于接收经所述反射面反射的所述第一光线，且所述镜头的光轴与经所述反射面反射的所述第一光线平行，所述安装位能够使所述针尖竖直朝下，所述第一光学元件的反射面设置于所述安装位的正下方，且所述第一光学元件的反射面与水平面之间的夹角为
45
°
，所述远心镜头的光轴与水平面平行
。
[0014]进一步地，所述探针卡多性能测试通用设备还包括同轴光源，所述同轴光源垂直连接于所述远心镜头，以使所述同轴光源的光轴与所述远心镜头的光轴垂直，所述安装位与所述第一光学元件之间设有透光结构，所述透光结构包括第一支撑板和透光板，所述第一支撑板设有与所述安装位相对应的第一透光孔，所述透光板嵌合于所述第一透光孔内
。
[0015]进一步地，所述透光板与所述第一光学元件之间设有放大镜，所述放大镜
、
所述透光板和所述第一光学元件的反射面的中心在同一直线上，所述探针卡多性能测试通用设备还包括第一驱动机构
、
第二驱动机构和第三驱动机构；所述第一驱动机构用于驱动所述第一光学元件和所述图像获取装置同时沿着
Z
轴方向移动，所述第二驱动机构用于驱动所述第一驱动机构
、
所述第一光学元件和所述图像获取装置同时沿着
Y
轴方向移动，所述第三驱动机构用于驱动所述第二驱动机构
、
所述第一驱动机构
、
所述第一光学元件和所述图像获取装置同时沿着
X
轴方向移动
。
[0016]进一步地，所述测试仪器还包括电性测试针和
/
或压力测试针，所述电性测试针设于所述透光板上，所述压力测试针设于所述透光板上，在所述高度调节机构运动调节下使所述电性测试针或压力测试针分别与待测探针接触以分别测试探针的电接触性能
、
压力性能
。
[0017]综上所述，本专利技术包括以下至少一种有益技术效果：
1. 所述探针卡多性能测试通用设备实现在同一台机器上同时进行多项性能测试，例如，通过图像获取装置获取探针的图像，优选为高清图像，从而可以获得探针尺寸
、
大小，探针的长度，探针弯曲形状，探针各段的形状和尺寸，同时还可通过压力传感器获取探针的针压等参数，还可以进一步测试探针的电性能和压力性能；
2. 该高度调节机构通过上滑动斜块与下滑动斜块的滑接设置，以及竖直导向件的导向作用，将水平方向的直线动力转化为竖直方向的直线动力；使得第一驱动组件可呈水平安装，不会占用太多竖直方向上的安装空间，有利于减少探针卡测试设备体积；
3. 该高度调节机构不会占用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种探针卡多性能测试通用设备，其特征在于，包括：机架（1），具有用于安装探针卡的安装位（
11
）；高度调节机构（2），设置于所述安装位（
11
）下方，包括具有第一斜面（
211
）的上滑动斜块（
21
）
、
具有第二斜面（
221
）的下滑动斜块（
22
）和竖直导向件（
23
），所述第一斜面（
211
）滑接于所述第二斜面（
221
），所述上滑动斜块（
21
）沿着竖直方向滑接于所述竖直导向件（
23
）；测试仪器（3），设置于所述上滑动斜块（
21
），所述测试仪器（3）包括固连于所述上滑动斜块（
21
）的图像获取装置（
31
）和
/
或压力传感器（
32
），所述图像获取装置（
31
）用于获取所述探针卡的针尖图像，所述压力传感器（
32
）用于测量所述探针卡的针压；其中，所述高度调节机构（2）还包括第一驱动组件（
24
），所述第一驱动组件（
24
）的动力输出端沿着水平方向连接于所述下滑动斜块（
22
），以使所述下滑动斜块（
22
）沿着水平方向滑动，进而使所述上滑动斜块（
21
）沿着所述竖直导向件（
23
）滑动，最终使所述测试仪器（3）沿着竖直方向靠近或远离所述探针卡
。2.
如权利要求1所述的探针卡多性能测试通用设备，其特征在于，所述高度调节机构（2）还包括第一底板（
25
），所述下滑动斜块（
22
）滑接于所述第一底板（
25
）；所述第一驱动组件（
24
）工作时，所述下滑动斜块（
22
）沿着所述第一底板（
25
）的表面进行水平方向的滑动
。3.
如权利要求1所述的一种探针卡多性能测试通用设备，其特征在于，所述第一驱动组件（
24
）包括第一电机（
241
）
、
第一丝杠（
242
）和第一螺母座（
243
），所述第一电机（
241
）的输出端连接于所述第一丝杠（
242
）的端部，所述第一螺母座（
243
）螺纹连接于所述第一丝杠（
242
）的外壁，且所述第一丝杠（
242
）整体呈水平设置；所述第一螺母座（
243
）固连于所述下滑动斜块（
22
）
。4.
如权利要求3所述的探针卡多性能测试通用设备，其特征在于，所述竖直导向件（
23
）为竖直板，所述第一丝杠（
242
）穿设于所述竖直导向件（
23
），所述第一电机（
241
）和所述第一螺母座（
243
）分设于所述竖直导向件（
23
）的两侧，所述上滑动斜块（
21
）具有竖直平面，所述上滑动斜块（
21
）的竖直平面与所述竖直导向件（
23
）之间通过第一滑接组件（
26
）滑接，所述上滑动斜块（
21
）的下部设置有延伸部（
212
），所述延伸部（
212
）的竖直平面与所述上滑动斜块（
21
）的竖直平面在同一平面内以便于安装所述第一滑接组件（
26
），所述延伸部（
212
）与所述上滑动斜块（
21
）一体成型
。5.
如权利要求1所述的探针卡多性能测试通用设备，其特征在于，所述高度调节机构（2）还包括用于获取所述上滑动斜块（
21
）的高度的光栅组件（
27
），所述光栅组件（
27
）包括相互对应的光栅尺（
271
）和扫码头（
272
），所述光栅尺（
271
）沿着竖直方向设置于所述竖直导向件（
23
），所述扫码头（
272
）设置于所述上滑动斜块（
21
），所述光栅组件（
27
）还包括用于限制所述上滑动斜块（
21
）在竖直方向上的位移的第一限位件（
273
）和第二限位件（
274
），所述第一限位件（
273
）和所述第二限位件（
274
）一一对应地设...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志广，蒋文德，王润鹏，黎华盛，劳杰，
申请(专利权)人：深圳市道格特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：