一种全自动探针成型设备制造技术

技术编号:39903416 阅读:9 留言:0更新日期:2023-12-30 13:18
本发明专利技术涉及一种全自动探针成型设备,用于对探针进行全自动化生产,其包括机架

【技术实现步骤摘要】
一种全自动探针成型设备


[0001]本专利技术涉及半导体设备
,具体涉及一种全自动探针成型设备


技术介绍

[0002]探针是一种用于半导体行业的关键测试工具,用于在晶圆或芯片生产过程中接触测试电子器件的性能

以往探针的生产依靠人手工依靠冲床进行冲压成型和冲裁废料这两个步骤来进行探针的生产,因此存在着生产效率低

耗费人工

产品一致性差且质量不稳定的问题

因此探针生产技术人员希望有一种新的装置对上述问题进行解决


技术实现思路

[0003]有鉴于此,提供一种全自动探针成型设备,其采用自动化的生产技术,对探针的冲压成型和冲裁废料等整个生产过程实现了自动化生产,因而提高了探针生产的一致性,其不但提高了生产效率,节省了人工,更提高了探针生产的质量,极大地增强了用户使用的体验感

[0004]一种全自动探针成型设备,用于对探针进行全自动化生产,其包括机架

冲压机构

冲裁机构,所述全自动探针成型设备还包括上料装置

对位机构

转盘装置

转料机构

多组夹针机构和顶料机构

[0005]具体地,所述机架具有工作平台,所述转盘装置安装于所述工作平台中央位置,所述转盘装置具有能旋转的旋转平台,所述旋转平台能在
360
度内旋转至多个相位并停顿,所述旋转平台每个停顿位置分别对应一个工位,所述上料装置

所述对位机构

所述冲压机构

所述冲裁机构分别安装在所述工作平台上,所述上料装置

所述对位机构

所述冲压机构和所述冲裁机构分别对应所述旋转平台的一个所述工位

[0006]具体地,多组所述夹针机构安装在所述旋转平台上,所述夹针机构的组数与所述旋转平台的工位个数相同,所述旋转平台中间具有中心孔以露出所述顶料机构,所述顶料机构固定安装在所述工作平台中央位置,每组所述夹针机构在旋转平台带动下能分别转移到与各个工位对应

[0007]具体地,所述转料机构安装在所述顶料机构的顶部,所述夹针机构包括夹针器,当一组所述夹针机构位置在所述冲压机构所在工位时,所述转料机构的能旋转的拨柱用于使所述夹针器旋转

[0008]进一步地,所述上料装置包括递料机构,所述递料机构包括递料夹爪,所述递料夹爪用于夹住探针料传递给所述旋转平台上的对应所述夹针机构,所述对位机构包括对位规矩,所述对位规矩用于使所述夹针机构内的探针料对齐,所述冲压机构用于使所述夹针机构内的所述探针料冲压成形,所述冲裁机构用于使所述夹针机构内的已冲压成形的所述探针料裁切成成品探针料并收集所述成品探针料

[0009]优选地,所述夹针器用于夹住所述探针料,所述顶料机构包括多组顶料组件,每组顶料组件包括顶料头,所述顶料头用于使所述夹针器松开所述探针料

[0010]优选地,所述上料装置还包括装料机构

拾料机构,所述装料机构

所述拾料机构和所述递料机构分别安装于所述工作平台上

[0011]进一步地,所述装料机构用于放置并移动待加工的所述探针料,所述拾料机构用于从所述装料机构取出所述探针料并使所述探针料转交给所述递料机构,所述递料机构用于使所述探针料传递给所述夹针机构

[0012]优选地,所述装料机构包括装料台

装料底座和移料模组,所述装料底座固定安装于所述工作平台,所述移料模组固定安装于所述装料台,所述移料模组为伺服电机滚珠丝杠模组或伺服电机同步带模组,所述装料台安装于所述移料模组的移动部,所述装料台具有多个安装槽,所述安装槽用于放置待加工的所述探针料,所述移料模组使所述装料台移动至不同位置用于所述拾料机构取出所述探针料

[0013]进一步地,所述拾料机构包括拾料缸底座

拾料缸

拾料架,所述拾料缸底座安装于所述工作平台,所述拾料缸固定于所述拾料缸底座,所述拾料架固定连接于所述拾料缸的活动部位,所述拾料架具有拾料部,所述拾料部具有
V
形槽结构,所述拾料部能从所述工作平台的所述安装槽中取出所述探针料,所述拾料缸活动部位能平行移动不能旋转,所述拾料缸为气缸或电缸

[0014]进一步地,所述递料机构还包括递料底座

递料模组

递料支架和递料缸座,所述递料底座装于所述工作平台,所述递料模组固定安装于所述递料底座,所述递料模组为伺服电机滚珠丝杠模组或伺服电机同步带模组,所述递料支架固定安装于所述递料模组的移动部,所述递料缸座固定安装于所述递料支架,所述递料夹爪固定安装于所述递料缸座,所述递料夹爪为气缸夹爪或电缸夹爪

[0015]具体地,所述上料装置还包括校准机构,所述校准机构用于所述递料机构向所述夹针机构传递所述探针料时对探针料位置进行校准
,
所述校准机构包括校准底座

校准缸支架

校准缸

校准接头

规矩组件

调高组件

第一滑轨组件

第二滑轨组件和校准座

[0016]进一步地,所述校准底座固定安装于所述工作平台,所述第一滑轨组件安装于校准底座上,所述第一滑轨组件具有至少一个能移动的第一滑轨滑块,所述校准缸支架固定安装于所述校准底座,所述校准缸固定安装于所述校准缸支架,所述校准缸具有能移动的校准活动部,所述校准活动部通过所述校准接头活动连接于所述校准座,所述校准座固定安装于所述第一滑轨滑块,所述第二滑轨组件安装于所述校准座,所述第二滑轨组件具有至少一个能移动的第二滑轨滑块,所述规矩组件固定连接于所述第二滑轨滑块

[0017]优选地,所述调高组件一端固定连接于所述规矩组件,所述调高组件另一端与所述校准座接触,所述调高组件用于调整所述规矩组件的高度

[0018]进一步地,所述规矩组件包括规矩座和规矩板,所述规矩座固定安装于所述第二滑轨滑块,所述规矩板固定连接于所述规矩座,所述规矩板具有规矩圆孔,所述递料机构向所述夹针机构传递所述探针料时所述探针料穿过所述规矩圆孔,所述规矩圆孔用于对探针料位置进行校准

[0019]优选地,所述调高组件包括调高块和调高螺柱,所述调高块固定连接于所述规矩组件,所述调高螺柱一端具有能拧动旋转的螺柱顶头,所述调高螺柱一端螺纹连接于所述规矩组件,所述螺柱顶头与所述校准座接触

[0020]具体地,所述对位机构还包括对位底座

对位安装板
、<本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种全自动探针成型设备,用于对探针进行全自动化生产,其包括机架

冲压机构

冲裁机构,其特征在于,所述全自动探针成型设备还包括上料装置

对位机构

转盘装置

转料机构

多组夹针机构和顶料机构;所述机架具有工作平台,所述转盘装置安装于所述工作平台中央位置,所述转盘装置具有能旋转的旋转平台,所述旋转平台能在
360
度内旋转至多个相位并停顿,所述旋转平台每个停顿位置分别对应一个工位,所述上料装置

所述对位机构

所述冲压机构

所述冲裁机构分别安装在所述工作平台上,所述上料装置

所述对位机构

所述冲压机构和所述冲裁机构分别对应所述旋转平台的一个所述工位;多组所述夹针机构安装在所述旋转平台上,所述夹针机构的组数与所述旋转平台的工位个数相同,所述旋转平台中间具有中心孔以露出所述顶料机构,所述顶料机构固定安装在所述工作平台中央位置,每组所述夹针机构在旋转平台带动下能分别转移到与各个工位对应;所述转料机构安装在所述顶料机构的顶部,所述夹针机构包括夹针器,当一组所述夹针机构位置在所述冲压机构所在工位时,所述转料机构的能旋转的拨柱用于使所述夹针器旋转;所述上料装置包括递料机构,所述递料机构包括递料夹爪,所述递料夹爪用于夹住探针料传递给所述旋转平台上的对应所述夹针机构,所述对位机构包括对位规矩,所述对位规矩用于使所述夹针机构内的探针料对齐,所述冲压机构用于使所述夹针机构内的所述探针料冲压成形,所述冲裁机构用于使所述夹针机构内的已冲压成形的所述探针料裁切成成品探针料并收集所述成品探针料;所述夹针器用于夹住所述探针料,所述顶料机构包括多组顶料组件,每组顶料组件包括顶料头,所述顶料头用于使所述夹针器松开所述探针料
。2.
如权利要求1所述的全自动探针成型设备,其特征在于,所述上料装置还包括装料机构

拾料机构,所述装料机构

所述拾料机构和所述递料机构分别安装于所述工作平台上;所述装料机构用于放置并移动待加工的所述探针料,所述拾料机构用于从所述装料机构取出所述探针料并使所述探针料转交给所述递料机构,所述递料机构用于使所述探针料传递给所述夹针机构;所述装料机构包括装料台

装料底座和移料模组,所述装料底座固定安装于所述工作平台,所述移料模组固定安装于所述装料台,所述移料模组为伺服电机滚珠丝杠模组或伺服电机同步带模组,所述装料台安装于所述移料模组的移动部,所述装料台具有多个安装槽,所述安装槽用于放置待加工的所述探针料,所述移料模组使所述装料台移动至不同位置用于所述拾料机构取出所述探针料;所述拾料机构包括拾料缸底座

拾料缸

拾料架,所述拾料缸底座安装于所述工作平台,所述拾料缸固定于所述拾料缸底座,所述拾料架固定连接于所述拾料缸的活动部位,所述拾料架具有拾料部,所述拾料部具有
V
形槽结构,所述拾料部能从所述工作平台的所述安装槽中取出所述探针料,所述拾料缸活动部位能平行移动不能旋转,所述拾料缸为气缸或电缸;所述递料机构还包括递料底座

递料模组

递料支架和递料缸座,所述递料底座装于所述工作平台,所述递料模组固定安装于所述递料底座,所述递料模组为伺服电机滚珠丝杠
模组或伺服电机同步带模组,所述递料支架固定安装于所述递料模组的移动部,所述递料缸座固定安装于所述递料支架,所述递料夹爪固定安装于所述递料缸座,所述递料夹爪为气缸夹爪或电缸夹爪
。3.
如权利要求2所述的全自动探针成型设备,其特征在于,所述上料装置还包括校准机构,所述校准机构用于所述递料机构向所述夹针机构传递所述探针料时对探针料位置进行校准
,
所述校准机构包括校准底座

校准缸支架

校准缸

校准接头

规矩组件

调高组件

第一滑轨组件

第二滑轨组件和校准座;所述校准底座固定安装于所述工作平台,所述第一滑轨组件安装于校准底座上,所述第一滑轨组件具有至少一个能移动的第一滑轨滑块,所述校准缸支架固定安装于所述校准底座,所述校准缸固定安装于所述校准缸支架,所述校准缸具有能移动的校准活动部,所述校准活动部通过所述校准接头活动连接于所述校准座,所述校准座固定安装于所述第一滑轨滑块,所述第二滑轨组件安装于所述校准座,所述第二滑轨组件具有至少一个能移动的第二滑轨滑块,所述规矩组件固定连接于所述第二滑轨滑块;所述调高组件一端固定连接于所述规矩组件,所述调高组件另一端与所述校准座接触,所述调高组件用于调整所述规矩组件的高度;所述规矩组件包括规矩座和规矩板,所述规矩座固定安装于所述第二滑轨滑块,所述规矩板固定连接于所述规矩座,所述规矩板具有规矩圆孔,所述递料机构向所述夹针机构传递所述探针料时所述探针料穿过所述规矩圆孔,所述规矩圆孔用于对探针料位置进行校准;所述调高组件包括调高块和调高螺柱,所述调高块固定连接于所述规矩组件,所述调高螺柱一端具有能拧动旋转的螺柱顶头,所述调高螺柱一端螺纹连接于所述规矩组件,所述螺柱顶头与所述校准座接触
。4.
如权利要求1所述的全自动探针成型设备,其特征在于,所述对位机构还包括对位底座

对位安装板

对位丝杠滑轨组件

对位电机和对位规座,所述对位底座可调整地固定安装于所述工作平台,所述对位安装板固定安装于所述对位底座,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋文德
申请(专利权)人:深圳市道格特科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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