【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体芯片测试，具体涉及一种半导体芯片测试用垂直探针快速测量方法。
技术介绍
1、随着集成电路技术的快速发展，半导体芯片的集成度越来高，半导体芯片在封装制成集成电路之前，需要对半导体芯片进行测试，避免有缺陷的芯片进入后续封装工序，产生不合格集成电路，芯片的测试使用装有测试探针的探针卡，高度集成的半导体芯片的测试对探针的精密度要求非常高，因此对生产出来的探针需要进行测量，满足半导体芯片测试的需要，由于探针数量大，不但要求测量准确，还要求测量速度快，满足生产线的测试需要，为此提出一种新的垂直探针测量方法。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种测量准确、快速、批量化、便于操作的垂直探针快速测量方法。
2、一种垂直探针快速测量方法，在所述垂直探针设定有多个预定测试点，所述垂直探针快速测量方法包括如下步骤：
3、s01，提供玻璃板和3d测试器进行探针全数测量，所述玻璃板刻有多个方格排列组成的方格阵列；
4、s02，用夹具将所述玻璃板安装在3d测试器的测试区，将待测垂直探针放入方格阵列，每个方格放置一根待测垂直探针，所述3d测试器设有测量直角坐标系，利用直角坐标系测量垂直探针在3d测试器测试区的图形坐标；
5、s03，获取当前待测垂直探针及该待测垂直探针图形中与预定测试点相关的位点，通过测量所述位点落在3d测试器的测量直角坐标系的坐标，获取所有待测垂直探针上对应于预定测试点的各位点坐标值数据，所述3d测试器计算出待测垂直探针的尺寸数
6、s04，将测量的待测垂直探针尺寸数据与标准垂直探针的尺寸数据进行比较分析，判断待测垂直探针是否合格。
7、进一步地，多个预定测试点包括：探针针头段的终端点，探针针头段的末端点，探针针尖段的末端点，探针针尖段的尖端点；所述探针针头段的末端点是探针针头段与圆弧段连接点；所述探针针尖段的末端点是探针针尖段与圆弧段连接点。
8、进一步地，所述3d测试器逐个扫描每个方格中待测垂直探针，以获取各个待测垂直探针图形、该待测垂直探针图形中与预定测试点相关的位点、各位点坐标值数据。
9、进一步地，所述垂直探针的测量方法中步骤s03进一步包括以下子步骤：
10、a1、首先测量垂直探针针尖段尖端的坐标，其次，测量垂直探针针尖段末端的坐标，根据测量的针尖段尖端的坐标值和针尖段末端的坐标值，计算出垂直探针针尖段长度尺寸；
11、a2、通过步骤a1测量所述垂直探针针尖段的直线段两端的坐标，获得所述垂直探针针尖段的直线段两端的坐标值，计算获得所述垂直探针针尖段的直线段的直线方程，进而计算出圆弧段的直线偏移值；
12、a3、测量垂直探针针头段终端的坐标，测量所述垂直探针针尖段尖端的坐标，根据这两个坐标值，计算出所述垂直探针的总长度；
13、a4、测量垂直探针针头段两端的坐标，包括测量垂直探针针头段与圆弧段交点的坐标值、垂直探针针头段终端的坐标值，根据测量垂直探针针头段的直线段两端的坐标值，计算获得垂直探针针头段的直线方程，获得垂直探针针头段延长线和垂直探针针尖段直线段延长线，进而计算出所述针头段夹角的角度；
14、a5、根据测量的垂直探针的针头段直线段两端的坐标值，计算出垂直探针针头段长度。
15、进一步地，所述3d测试器完成步骤a1-a5测量之后，所述3d测试器统计这一批探针合格的垂直探针数量和不合格的垂直探针数量，计算这批垂直探针的合格率，合格率不达到标准要求，该批垂直探针即为不合格品。
16、上述垂直探针快速测量方法，利用3d测试器精密测量功能和方格阵列，能成批量的快速地、精确地检测待测垂直探针的尺寸，通过与标准探针尺寸进行简单的比较，准确判断待测探针的合格品与不合格品，在大批量生产时可有效的保证探针的产品质量，提高了生产效率。
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1.一种垂直探针快速测量方法，所述垂直探针设定有多个预定测试点，其特征在于，所述垂直探针的测量方法包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的垂直探针快速测量方法，其特征在于，多个预定测试点包括：探针针头段的终端点；探针针头段的末端点，探针针尖段的末端点，探针针尖段的尖端点；所述探针针头段的末端点是探针针头段与圆弧段连接点；所述探针针尖段的末端点是探针针尖段与圆弧段连接点。
3.如权利要求1所述的垂直探针快速测量方法，其特征在于，所述3D测试器逐个扫描每个方格中待测垂直探针，以获取各个待测垂直探针图形、该待测垂直探针图形中与预定测试点相关的位点、各位点坐标值数据。
4.如权利要求1所述的垂直探针快速测量方法，其特征在于，所述垂直探针的测试方法中步骤S03进一步包括以下子步骤：
5.如权利要求4所述的垂直探针快速测量方法，其特征在于，完成步骤A1-A5测量之后，所述3D测试器统计合格的垂直探针数量和不合格的垂直探针数量，计算这批垂直探针的合格率。
【技术特征摘要】
1.一种垂直探针快速测量方法，所述垂直探针设定有多个预定测试点，其特征在于，所述垂直探针的测量方法包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的垂直探针快速测量方法，其特征在于，多个预定测试点包括：探针针头段的终端点；探针针头段的末端点，探针针尖段的末端点，探针针尖段的尖端点；所述探针针头段的末端点是探针针头段与圆弧段连接点；所述探针针尖段的末端点是探针针尖段与圆弧段连接点。
3.如权利要求1所述的垂直探针快速测量方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋文德，王海波，
申请(专利权)人：深圳市道格特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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