本申请涉及一种电弧抑制型探针卡，涉及探针卡的技术领域，电弧抑制型探针卡包括可动气环、气环底座、第一气板，可动气环包括圆环部和外伸部，圆环部的外环与外伸部固定连接，外伸部上设有第一销孔；气环底座包括底座板和限位扣，限位扣均匀设于底座板外围，可动气环安装在气环底座上，限位扣对应外伸部，底座板与限位扣连接处设有第二销孔，第二销孔与第一销孔对应，气环底座与可动气环通过第一销孔和第二销孔采用定位销连接；第一气板与圆环部的空心圆连接固定，第一气板的外沿设有均匀的第一气孔，第一气板的底部中间设有第一针卡槽，第一针卡槽中设有针孔，结构简单，惰性气体在电弧抑制型探针卡内部流动防止产生电弧造成损坏。
1、探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口，主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，并筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程，探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触，导出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆，它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要，是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程。
2、在使用探针卡的过程中，电压过高会导致电场强度增加，当电场强度超过空气的击穿电场强度时，就会发生电弧放电现象，电弧是一种高能量放电现象，会产生强烈的光和热，可能对周围的设备和人员造成危险。
4、气环底座，包括底座板和限位扣，所述限位扣均匀设于所述底座板外围，所述可动气环安装在所述气环底座上，所述限位扣对应所述外伸部，所述底座板与所述限位扣连接处设有第二销孔，所述第二销孔与所述第一销孔对应，所述气环底座与所述可动气环通过所述第一销孔和所述第二销孔采用定位销连接；
>5、第一气板，与所述圆环部的空心圆连接固定，所述第一气板的外沿设有均匀的第一气孔，所述第一气板的底部中间设有第一针卡槽，所述第一针卡槽中设有针孔。6、通过采用上述技术方案，可动气环通过第一销孔和第二销孔与气环底座连接，惰性气体在电弧抑制型探针卡内部流动，可动气环可相对气环底座上下移动，可抑制高压时电弧的产生，限位扣可对可动气环进行竖直方向上的限位，第一针卡槽中的针孔用于固定探针。
7、可选的，所述电弧抑制型探针卡包括间隔块，所述间隔块包括连接部和配合凸块，所述配合凸块设于所述连接部的上表面中间，所述底座板中间设有空心部，所述空心部与所述圆环部的空心圆对应，所述配合凸块穿过所述空心部与所述第一气板配合连接，所述配合凸块中间设有通槽，所述通槽与所述第一针卡槽对应配合。
8、通过采用上述技术方案，探针设于通槽中，穿过第一气板上的针孔进行探针与外界连接测试，配合凸块与空心部和圆环部的空心圆配合固定连接，提高了稳定性。
9、可选的，所述间隔块包括第二气孔，所述第二气孔均匀设于所述配合凸块的外沿，所述第二气孔与所述第一气孔配合相通。
10、通过采用上述技术方案，惰性气体可通过第一气孔和第二气孔在电弧抑制型探针卡内部流动，防止电压过高产生电弧。
11、可选的，所述电弧抑制型探针卡包括第二气板，所述第二气板设于所述间隔块底部，所述间隔块底部设有配合凹槽，所述第二气孔沿所述配合凹槽内圈均匀分布，所述第二气板设于所述配合凹槽中，所述第二气板厚度与所述配合凹槽深度相同，所述第二气板设于所述第二气孔内圈。
12、通过采用上述技术方案，第二气板对应第一气板，第二气板和第一气板配合将间隔块夹在中间，间隔底块的配合凹槽防止第二气板减少了体积的占用，提高了结构的紧密性和稳定性。
13、可选的，所述第二气板包括第二针卡槽，所述第二针卡槽设于所述第二气板中间，所述第二针卡槽与所述通槽和所述第一针卡槽对应匹配。
14、通过采用上述技术方案，探针设于第二气板上的第二针卡槽中，穿过间隔块中的通槽和第一气板中的第一针卡槽，与外界进行探针测试和应用。
15、可选的，所述电弧抑制型探针卡包括pcb板，所述pcb板与所述配合块的底部相连，所述pcb板上设有第三气孔。
16、通过采用上述技术方案，pcb板是芯片测试需要的连接板，芯片测试需要的所有外围电路通常都在pcb上面实现，pcb板上的第三气孔用于惰性气体在电弧抑制型探针卡内部进行流通，防止高压时产生电弧。
17、可选的，所述电弧抑制型探针卡包括补强块，所述补强块与所述pcb板下方，所述补强块和所述间隔块将所述pcb板夹紧在中间。
18、通过采用上述技术方案，补强板用于固定补强pcb板，提高了稳定性和紧密性。
19、可选的，所述补强块上设有第四气孔，所述第四气孔与外界连通。
20、通过采用上述技术方案，第四气孔和第一气孔、第二气孔、第三气孔配合，第四气孔与外界连通，通过第四气孔将惰性气体充入电弧抑制型探针卡内部，防止工作时电压过高产生电弧，造成损坏。
21、可选的，所述间隔块底部设有第一密封槽，所述第一密封槽设于所述配合凹槽外圈，所述第一密封槽用于放置第一密封圈，所述第一密封圈的厚度比所述第一密封槽的深度厚，所述第一密封圈抵接所述pcb板上表面。
22、通过采用上述技术方案，第一密封圈和第一密封槽配合密封，提高了电弧抑制型探针卡内部的密封性，防止惰性气体在电弧抑制型探针卡内部胡乱流动，使惰性气体在电弧抑制型探针卡内部按照预设的流道流通。
23、可选的，所述补强块上表面设有第二密封槽，所述第二密封槽用于放置第二密封圈，所述第二密封圈厚度比所述第二密封槽深度较厚，所述第二密封圈抵接所述pcb板下表面。
24、通过采用上述技术方案，第二密封圈和第二密封槽配合密封，提高了电弧抑制型探针卡内部的密封性，防止惰性气体在电弧抑制型探针卡内部胡乱流动，使惰性气体在电弧抑制型探针卡内部按照预设的流道流通。
25、本申请的有益效果是：本申请提供一种电弧抑制型探针卡，电弧抑制型探针卡的可动气环通过第一销孔和第二销孔与气环底座连接，惰性气体在电弧抑制型探针卡内部流动，可动气环可相对气环底座上下移动，可抑制高压时电弧的产生，限位扣可对可动气环进行竖直方向上的限位，第一针卡槽中的针孔用于固定探针，结构简单，惰性气体能在内部流通，防止电弧产生，提高了安全性和稳定性。
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【技术保护点】
1.一种电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述电弧抑制型探针卡（10）包括：
2.根据权利要求1所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述电弧抑制型探针卡（10）包括间隔块（400），所述间隔块（400）包括连接部（410）和配合凸块（420），所述配合凸块（420）设于所述连接部（410）的上表面中间，所述底座板（210）中间设有空心部（214），所述空心部（214）与所述圆环部（110）的空心圆对应，所述配合凸块（420）穿过所述空心部（214）与所述第一气板（300）配合连接，所述配合凸块（420）中间设有通槽（422），所述通槽（422）与所述第一针卡槽（320）对应配合。
3.根据权利要求2所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述间隔块（400）包括第二气孔（424），所述第二气孔（424）均匀设于所述配合凸块（420）的外沿，所述第二气孔（424）与所述第一气孔（310）配合相通。
4.根据权利要求3所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述电弧抑制型探针卡（10）包括第二气板（500），所述第二气板（500）设于所述间隔块（400）底部，所述间隔块（400）底部设有配合凹槽（430），所述第二气孔（424）沿所述配合凹槽（430）内圈均匀分布，所述第二气板（500）设于所述配合凹槽（430）中，所述第二气板（500）厚度与所述配合凹槽（430）深度相同，所述第二气板（500）设于所述第二气孔（424）内圈。
5.根据权利要求4所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述第二气板（500）包括第二针卡槽，所述第二针卡槽设于所述第二气板（500）中间，所述第二针卡槽与所述通槽（422）和所述第一针卡槽（320）对应匹配。
6.根据权利要求5所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述电弧抑制型探针卡（10）包括PCB板（600），所述PCB板（600）与所述配合块的底部相连，所述PCB板（600）上设有第三气孔。
7.根据权利要求6所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述电弧抑制型探针卡（10）包括补强块（700），所述补强块（700）与所述PCB板（600）下方，所述补强块（700）和所述间隔块（400）将所述PCB板（600）夹紧在中间。
8.根据权利要求7所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述补强块（700）上设有第四气孔（710），所述第四气孔（710）与外界连通。
9.根据权利要求7所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述间隔块（400）底部设有第一密封槽（440），所述第一密封槽（440）设于所述配合凹槽（430）外圈，所述第一密封槽（440）用于放置第一密封圈（442），所述第一密封圈（442）的厚度比所述第一密封槽（440）的深度厚，所述第一密封圈（442）抵接所述PCB板（600）上表面。
10.根据权利要求9所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述补强块（700）上表面设有第二密封槽（720），所述第二密封槽（720）用于放置第二密封圈（722），所述第二密封圈（722）厚度比所述第二密封槽（720）深度较厚，所述第二密封圈（722）抵接所述PCB板（600）下表面。
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【技术特征摘要】
1.一种电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述电弧抑制型探针卡（10）包括：
2.根据权利要求1所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述电弧抑制型探针卡（10）包括间隔块（400），所述间隔块（400）包括连接部（410）和配合凸块（420），所述配合凸块（420）设于所述连接部（410）的上表面中间，所述底座板（210）中间设有空心部（214），所述空心部（214）与所述圆环部（110）的空心圆对应，所述配合凸块（420）穿过所述空心部（214）与所述第一气板（300）配合连接，所述配合凸块（420）中间设有通槽（422），所述通槽（422）与所述第一针卡槽（320）对应配合。
3.根据权利要求2所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述间隔块（400）包括第二气孔（424），所述第二气孔（424）均匀设于所述配合凸块（420）的外沿，所述第二气孔（424）与所述第一气孔（310）配合相通。
4.根据权利要求3所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述电弧抑制型探针卡（10）包括第二气板（500），所述第二气板（500）设于所述间隔块（400）底部，所述间隔块（400）底部设有配合凹槽（430），所述第二气孔（424）沿所述配合凹槽（430）内圈均匀分布，所述第二气板（500）设于所述配合凹槽（430）中，所述第二气板（500）厚度与所述配合凹槽（430）深度相同，所述第二气板（500）设于所述第二气孔（424）内圈。
5.根据权利要求4所述的电弧抑制型探针卡（10），其特征在于，所述第二气板（500）包括第二针卡...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎华盛，劳杰，
申请(专利权)人：深圳市道格特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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