精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及精密金属掩膜版加工技术领域，特别涉及一种精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法，包括机架

【技术实现步骤摘要】
精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法


[0001]本专利技术涉及精密金属掩膜版加工
，特别涉及一种精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法
。

技术介绍

[0002]精密金属掩膜版（
FMM
）是用于
OLED
生产的核心耗材，其厚度仅有
20um
左右，但长度可达到
1400mm
，宽度可达到
400mm。
精密金属掩膜版的激光加工需要双面加工，因此对精密金属掩膜版进行加工的过程中通常会涉及到翻转工序
。
[0003]在翻转工序中，传统方法主要采用人工手动翻转，其劳动强度大，效率低下，人与产品的接触容易造成二次污染，且翻转过程中因人的不可控性容易导致产品出现折伤受损，从而带来很大的经济损失
。
目前，市面上也有专门的翻转机构对精密金属掩膜版进行翻转，其主要通过机械抓手
、
真空吸盘或电磁方式夹持精密金属掩膜版，然后通过中心翻转进行
180
°
翻转
。
此种翻转机构存在如下缺陷：（1）机械抓手和真空吸盘在对精密金属掩膜版进行夹持的过程中，精密金属掩膜版的受力不均匀，接触处会出现应力集中，由于精密金属掩膜版的厚度较薄，易导致其接触处易出现折痕或裂痕，而电磁会将产品磁化；（2）翻转过程中精密金属掩膜版没有保持张紧状态，可能会出现褶皱
。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种结构设计简单，翻转效率高，翻转过程中均匀受力，且具有展平功能的精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法
。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种精细金属掩膜版翻转装置，包括机架，还包括：取料平台和翻转平台，间隔并列的设置在机架上，且取料平台的顶面高度略低于翻转平台的顶面高度；转轴机构，设置在机架上，且位于取料平台和翻转平台之间，驱动翻转平台执行翻转动作；顶升机构，设置在机架上，且位于取料平台的正下方，驱动取料平台执行升降动作；所述取料平台和翻转平台均包括底板
、
静电吸盘组件和展平组件，所述静电吸盘组件设置在底板的上方，且通过展平组件与底板连接，所述取料平台的底板底端与顶升机构的顶端连接
。
[0006]进一步地，所述静电吸盘组件包括吸附静电吸盘
、
展平静电吸盘和滑动组，所述吸附静电吸盘为两个，且两个吸附静电吸盘相邻并列的设置在底板的中部，所述展平静电吸盘沿底板的长度方向分别设置在吸附静电吸盘的两侧，所述吸附静电吸盘和展平静电吸盘之间通过滑动组连接
。
[0007]进一步地，所述取料平台的展平静电吸盘
、
翻转平台的吸附静电吸盘以及翻转平台的展平静电吸盘上分别设置有
PI
膜，所述取料平台的吸附静电吸盘上设置有
PET
膜，所述取料平台的吸附静电吸盘上沿底板长度方向的两端分别安装有多孔陶瓷块
。
[0008]进一步地，所述展平组件包括长度展平组和宽度展平组，所述长度展平组和宽度展平组均包括连接板
、
连杆
、
力传感器
、
张紧电机和安装板，所述连接板为两块，且其底端与安装板的顶端滑动连接，所述连杆的两端分别与连接板连接，所述张紧电机的输出端通过力传感器与连杆的中部连接，所述长度展平组的连接板顶端与展平静电吸盘连接，所述宽度展平组的连接板顶端与吸附静电吸盘连接，所述长度展平组的安装板底端滑动安装有中板，所述中板与底板滑动连接，所述宽度展平组的安装板底端与底板连接
。
[0009]进一步地，所述连接板的顶端安装有调平组件，所述调平组件包括螺套和螺栓，所述螺套安装在连接板的顶端，所述螺栓螺纹穿设于螺套，且其顶端与静电吸盘组件连接
。
[0010]进一步地，所述转轴机构包括翻转轴
、
翻转电机和全闭环圆光栅，所述翻转轴的两端分别通过轴承座转动安装在机架上，所述翻转电机的输出端通过减速机与翻转轴的一端连接，所述全闭环圆光栅安装在翻转轴的另一端，所述翻转轴与翻转平台的底板连接
。
[0011]进一步地，所述翻转轴为中空结构，所述翻转轴的外壁沿轴向开设有凹槽，所述翻转轴上开设有若干通孔，所述凹槽通过若干通孔与翻转轴的内腔连通
。
[0012]进一步地，所述顶升机构包括安装架
、
升降板
、
导向组件
、
连接架
、
丝杆
、
丝杆螺母
、
驱动组件和距离感应组件，所述安装架安装在机架的下方，所述升降板设置在安装架的中部，所述导向组件安装在安装架的顶端，所述导向组件的顶端通过连接架与取料平台的底板连接，且其底端与升降板连接，所述丝杆螺母安装在升降板的中心，且套设于丝杆的中部，所述丝杆竖直设置，且其两端分别与安装架转动连接，所述驱动组件安装在安装架的底端，并与丝杆的底端传动连接，所述距离感应组件分布在取料平台和翻转平台上
。
[0013]进一步地，所述距离感应组件包括距离感应器和感应块，所述距离感应器分别安装在取料平台的底板两端，所述感应块分别安装在翻转平台的底板两端，所述距离感应器和感应块相对应
。
[0014]一种基于上述精细金属掩膜版翻转装置的翻转方法，包括如下步骤：
S1、
翻转前展平：所述翻转平台上放置产品，所述翻转平台的静电吸盘组件吸附产品，并由其展平组件进行展平；
S2、
翻转：所述转轴机构驱动翻转平台翻转，直至取料平台和翻转平台面对面，翻转速度先高速再低速，所述顶升机构驱动取料平台升降，直至取料平台和翻转平台之间的间距达到容许范围；
S3、
翻转后展平：所述翻转平台的静电吸盘组件释放产品，产品落在取料平台上，所述转轴机构驱动翻转平台翻转复位，所述取料平台的静电吸盘组件吸附产品，并由其展平组件进行展平
。
[0015]本专利技术的有益效果是：（1）本专利技术通过取料平台
、
翻转平台
、
转轴机构和顶升机构的设置，实现产品的自动精准翻转，结构设计简单，翻转效率高，在翻转过程中通过静电吸盘组件吸附产品，与机械抓手
、
真空吸盘或电磁方式夹持产品相比，产品的受力更加均匀，不易出现折痕或裂痕，且不会磁化产品，结合展平组件对产品的张紧，使得产品在整个取放以及翻转过程中不会
出现褶皱；（2）本专利技术通过吸附静电吸盘和展平静电吸盘的设置，实现对产品长度方向和宽度方向的张平，保证产品的有效展平；（3）本专利技术通过在取料平台的展平静电吸盘
、
翻转平台的吸附静电吸盘以及翻转平台的展平静电吸盘上均设置
PI
膜，一方面减小膜表面的粗糙度，增大产品附着力，保证翻转过程中产品不会掉落，另一方面增大膜与产品间的摩擦力，进一步保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种精细金属掩膜版翻转装置，包括机架，其特征在于，还包括：取料平台（
100
）和翻转平台（
200
），间隔并列的设置在机架上，且取料平台（
100
）的顶面高度略低于翻转平台（
200
）的顶面高度；转轴机构（
300
），设置在机架上，且位于取料平台（
100
）和翻转平台（
200
）之间，驱动翻转平台（
200
）执行翻转动作；顶升机构（
400
），设置在机架上，且位于取料平台（
100
）的正下方，驱动取料平台（
100
）执行升降动作；所述取料平台（
100
）和翻转平台（
200
）均包括底板（
500
）
、
静电吸盘组件（
600
）和展平组件（
700
），所述静电吸盘组件（
600
）设置在底板（
500
）的上方，且通过展平组件（
700
）与底板（
500
）连接，所述取料平台（
100
）的底板（
500
）底端与顶升机构（
400
）的顶端连接；所述展平组件（
700
）包括长度展平组（
701
）和宽度展平组（
702
），所述长度展平组（
701
）和宽度展平组（
702
）均包括连接板（
900
）
、
连杆（
1000
）
、
力传感器（
1100
）
、
张紧电机（
1200
）和安装板（
1300
），所述连接板（
900
）为两块，且其底端与安装板（
1300
）的顶端滑动连接，所述连杆（
1000
）的两端分别与连接板（
900
）连接，所述张紧电机（
1200
）的输出端通过力传感器（
1100
）与连杆（
1000
）的中部连接，所述长度展平组（
701
）的连接板（
900
）顶端与展平静电吸盘（
602
）连接，所述宽度展平组（
702
）的连接板（
900
）顶端与吸附静电吸盘（
601
）连接，所述长度展平组（
701
）的安装板（
1300
）底端滑动安装有中板（
1400
），所述中板（
1400
）与底板（
500
）滑动连接，所述宽度展平组（
702
）的安装板（
1300
）底端与底板（
500
）连接
。2.
根据权利要求1所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述静电吸盘组件（
600
）包括吸附静电吸盘（
601
）
、
展平静电吸盘（
602
）和滑动组（
603
），所述吸附静电吸盘（
601
）为两个，且两个吸附静电吸盘（
601
）相邻并列的设置在底板（
500
）的中部，所述展平静电吸盘（
602
）沿底板（
500
）的长度方向分别设置在吸附静电吸盘（
601
）的两侧，所述吸附静电吸盘（
601
）和展平静电吸盘（
602
）之间通过滑动组（
603
）连接
。3.
根据权利要求2所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述取料平台（
100
）的展平静电吸盘（
602
）
、
翻转平台（
200
）的吸附静电吸盘（
601
）以及翻转平台（
200
）的展平静电吸盘（
602
）上分别设置有
PI
膜，所述取料平台（
100
）的吸附静电吸盘（
601
）上设置有
PET
膜，所述取料平台（
100
）的吸附静电吸盘（
601
）上沿底板（
500
）长度方向的两端分别安装有多孔陶瓷块（
800
）
。4.
根据权利要求2所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述连接板（
900
）的顶端安装有调平组件（
1500
），所述调平组件（
1500
）包括螺套（
1501
）和螺栓（
1502
），所述螺套（
1501
）安装在连接板（
900
）的顶端，所述螺栓（
1502
）螺纹穿设于螺套（
1501
），且其顶端与静电吸盘组件（
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓，赵亮，张宝存，
申请(专利权)人：无锡超通智能制造技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：