一种精细金属掩膜版激光加工装置及其加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及激光加工技术领域，尤其是一种精细金属掩膜版激光加工装置及其加工方法

【技术实现步骤摘要】
一种精细金属掩膜版激光加工装置及其加工方法


[0001]本专利技术涉及激光加工
，尤其是一种精细金属掩膜版激光加工装置及其加工方法
。

技术介绍

[0002]精密金属掩膜版（
FMM
）是一种用于制作微观和纳米级结构的工具
。
它通常由金属材料（如铝或铬）制成，具有高精度的图案
。FMM
被广泛应用于微电子
、
光子学
、
生物医学和纳米

。
[0003]精密金属掩膜版（
FMM
）是用于有机发光二极管（
OLED
）生产的核心耗材，其厚度仅有
20um
左右，但长度可达到
1400mm
，宽度可达到
400mm。
目前精密金属掩膜版通过化学方法刻蚀生产，但是刻蚀良率低，因此后续需要通过激光加工的方式进行精密金属掩膜版的二次加工及修复
。
[0004]激光加工精密金属掩膜版的难点在于：加工尺寸在
20um<br/>的三维孔型，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种精细金属掩膜版激光加工装置，其特征在于：包括振镜加工头（1），用于将入射的激光束进行全振镜行程偏摆，最终实时改变激光聚焦光斑在
XY
方向的空间位置；动态聚焦模块（2），动态聚焦模块（2）一侧安装有振镜加工头（1），其另一侧安装有激光头，用于实时改变入射激光发散角，并将带有一定激光发散角的激光束射入振镜加工头（1），从而改变最终的激光聚焦光斑在
Z
方向的空间位置；激光整形模块（3），位于振镜加工头（1）的下方，用于满振镜偏摆全行程，保证加工精度，并将激光在激光整形模块（3）内部聚焦到聚焦平面（
15
），并最终在物镜（7）焦距处保持平面焦平面；物镜切换模块（8），位于激光整形模块（3）的下方，物镜切换模块（8）上安装有若干不同倍数的物镜（7）；第三合束镜（
11
），位于激光整形模块（3）与物镜切换模块（8）之间；自动聚焦模块（4），位于第三合束镜（
11
）的一侧，自动聚焦模块（4）内部发射测量用激光，并通过第三合束镜（
11
）与激光束合束，并最终通过物镜（7）聚焦于物体表面
。2.
根据权利要求1所述的一种精细金属掩膜版激光加工装置，其特征在于：所述的激光整形模块（3）包括类场镜远心聚焦镜（
12
）
、
类平凸整形镜（
13
）
、
管腔（
14
），所述管腔（
14
）的进光端安装有类场镜远心聚焦镜（
12
），管腔（
14
）的出光端安装有类平凸整形镜（
13
），类平凸整形镜（
13
）的凸起面朝向管腔（
14
）的内腔，类平凸整形镜（
13
）的平面朝外设置
。3.
根据权利要求2所述的一种精细金属掩膜版激光加工装置，其特征在于：所述的类场镜远心聚焦镜（
12
）与类平凸整形镜（
13
）之间的焦距比例为1：2～
20。4.
根据权利要求2所述的一种精细金属掩膜版激光加工装置，其特征在于：所述的类场镜远心聚焦镜（
12
）内部设有多组将振镜加工头（1）出射的激光聚焦于管腔（
14...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓，赵亮，张宝存，
申请(专利权)人：无锡超通智能制造技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：