【技术实现步骤摘要】
一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备及减薄方法
[0001]本专利技术涉及磨削设备
,涉及一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备及减薄方法
。
技术介绍
[0002]氧化铝陶瓷基片因其具有薄
、
耐高温
、
电绝缘性能高
、
介质损耗低
、
化学稳定性好等优点,被广泛应用在电子信息行业中的集成电路封装
、led
照明
、
散热基片等领域,目前常用的成型方法有:流延成型
、
干压成型
、
注浆成型
、
挤出成型等,其中,流延法与传统陶瓷成型法相比技术上较新,是薄片陶瓷材料的一种重要成型工艺;
[0003]陶瓷基片流延法因需要高温加热,而导致烧结过程中基片表面出现不同程度的形变,最终表现为基片表面的不平整,要得到表面平整的陶瓷基片,需要采用打磨或研磨的方式进行再加工,而目前市场上的现有设备在打磨或研磨的加工过程中,因应力的不均衡容易产生产品翘曲,从而导致产品精度受影响;
[0004]为解决上述技术问题,为此,提出一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备及减薄方法
。
技术实现思路
[0005]本专利技术提出一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备及减薄方法,解决了上述相关
技术介绍
中所提出的问题
。
[0006]本专利技术的技术方案如下:
[0007]为实现上述目的,本申请提供如下技术方案:一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备,包括减薄台和基板 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备,包括减薄台
(1)
和基板样本
(7)
,其特征在于,所述减薄台
(1)
的底部固定安装有支撑腿
(2)
,减薄台
(1)
的中部形成有输送槽
(101)
,输送槽
(101)
的内壁开设有一对侧向通槽
(3)
,侧向通槽
(3)
的内部均配置安装有输送机构,减薄台
(1)
的上表面固定安装有防护罩
(5)
,防护罩
(5)
的内顶面固定安装有伺服电动缸
(501)
,伺服电动缸
(501)
远离减薄台
(1)
一端固定安装有调节基座
(502)
,调节基座
(502)
上固定安装有三个电机二
(503)
,电机二
(503)
底部的输出端均固定安装有减薄盘
(504)。2.
根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备,其特征在于,所述输送机构包括转动安装在减薄台
(1)
一端的主动辊
(4)、
转动安装在减薄台
(1)
另一端的从动辊
(401)
和传动连接在主动辊
(4)
与从动辊
(401)
之间的传输带
(402)。3.
根据权利要求2所述的一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备,其特征在于,所述主动辊
(4)
的顶端穿过减薄台
(1)
配置连接有电机一
(403)
,传输带
(402)
的外侧固定安装有若干个卡接板
(404)
,传输带
(402)
内侧减薄台
(1)
上固定安装有导向板
(405)。4.
根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备,其特征在于,所述减薄盘
(504)
下表面的边缘处固定安装有切削刀盘
(5010)
,减薄盘
(504)
下表面的中心处固定安装有打磨盘
(505)。5.
根据权利要求4所述的一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备,其特征在于,所述切削刀盘
(5010)
与打磨盘
(505)
之间形成有吸屑腔
(506)
,吸屑腔
(506)
上方减薄盘
(504)
内部形成有引流风道
(508)。6.
根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷基片减薄研磨设备,其特征在于,所述减薄盘
(504)
与电机二
(503)
之间转动...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄海,李民,林丽辉,
申请(专利权)人:广州英诺创科半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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