锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构制造技术

技术编号:39479495 阅读:10 留言:0更新日期:2023-11-23 15:02
本实用新型专利技术公开了锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构,包括加热炉体密封隔热板

【技术实现步骤摘要】
锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构


[0001]本技术涉及锗单晶制备设备
,具体为一种锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构


技术介绍

[0002]锗是稀有金属元素,在自然界中储量稀少且分布分散,由于锗所具有半导体特性,其应用基本在高科技领域,电子

光导纤维

红外光学

半导体材料等行业,由此而成为当今世界上非常重要的战略物资

目前全世界锗的年产量大约在
200
吨左右,我国是锗的主要生产国之一,总量在
100
吨左右,约占世界生产总量的
50%。
随着科学技术的发展,其用途不断扩展,现在广泛用于军事

航天

通讯

医药等各个领域,诸如电子工业

红外及红外光学

光导纤维

超导材料

光导材料

锗合金等各方面都需要锗

[0003]现有的锗单晶在进行制备时通常需要将石英管进行抽真空,达到合适的真空后,再对石英管进行加热

恒温以及冷却等过程,区熔锗锭熔化后由上层坩埚流入下层坩埚内完成单晶生长

本技术采用的石英管在锗单晶生长完成后退火降温,将石英管取出敲碎,得到锗晶锭,现有的石英管加热炉体在使用时,由于石英管多数为静止放置,使得整体的加热均匀性不高,影响后期的成品质量,同时在将石英管整体取出时较为麻烦,整体在实际使用是还具有一定的局限性


技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构,以解决上述
技术介绍
中提出的现有的石英管加热炉体在使用时,由于石英管多数为静止放置,使得整体的加热均匀性不高,影响后期的成品质量,同时在将石英管整体取出时较为麻烦,整体在实际使用是还具有一定的局限性的问题

[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构,包括加热炉体密封隔热板

出料口密封隔热板

放置架密封隔热板

石英管本体密封隔热板和承托架密封隔热板,所述加热炉体密封隔热板的一侧导通设置有出料口密封隔热板,所述加热炉体密封隔热板靠近出料口密封隔热板的一侧内部横向滑动安装设置有放置架密封隔热板,所述放置架密封隔热板靠近出料口密封隔热板的一侧安装设置有密封隔热板一密封隔热板,所述密封隔热板一密封隔热板的外表面与出料口密封隔热板的内壁贴合,所述放置架密封隔热板的内部贯穿转动安装设置有定位齿环密封隔热板,所述定位齿环密封隔热板的内部纵向贯穿卡合设置有石英管本体密封隔热板,所述加热炉体密封隔热板远离出料口密封隔热板的一侧外表面安装设置有电动推杆密封隔热板

[0006]优选的,所述放置架密封隔热板远离密封隔热板一密封隔热板的一侧外表面固定安装设置有密封隔热板二密封隔热板,所述密封隔热板二密封隔热板的一侧与电动推杆密封隔热板的输出贯穿端安装固定;
[0007]采用上述技术方案使得整体在进行使用时,能够通过一侧电动推杆的设置,从而
能够将内部的放置架和内部卡合设置的石英管本体进行推出,从而使得整体取料更加方便

[0008]优选的,所述密封隔热板一密封隔热板靠近石英管本体密封隔热板底端的一侧外表面固定安装设置有承托架密封隔热板,所述承托架密封隔热板的一端贯穿套设贴合在石英管本体密封隔热板的底端一侧;
[0009]采用上述技术方案使得整体在进行使用时,能够通过承托架的承托设置,从而保证石英管本体密封隔热板整体放置的稳定性

[0010]优选的,所述定位齿环密封隔热板的一侧啮合连接设置有限位齿轮密封隔热板,所述限位齿轮密封隔热板的底端外表面中间位置固定安装设置有锥齿轮杆一密封隔热板,且锥齿轮杆一密封隔热板的底端转动贯穿安装在放置架密封隔热板的底端一侧;
[0011]采用上述技术方案使得整体在进行使用时,能够通过限位齿轮的转动,从而带动定位齿环和内部卡合的石英管本体进行同时转动,从而使得整体受热更加均匀

[0012]优选的,所述锥齿轮杆一密封隔热板的底端贯穿端靠近密封隔热板一密封隔热板的一侧横向啮合连接设置有锥齿轮杆二密封隔热板,且锥齿轮杆二密封隔热板的一端转动贯穿安装在密封隔热板一密封隔热板的一侧外部,所述密封隔热板一密封隔热板的一侧外部安装设置有驱动电机密封隔热板,且驱动电机密封隔热板的输出端与锥齿轮杆二密封隔热板的一端安装固定;
[0013]采用上述技术方案使得整体在进行使用时,能够通过锥齿轮杆二密封隔热板和锥齿轮杆一的啮合连接,从而使得限位齿轮转动

[0014]优选的,所述加热炉体密封隔热板靠近石英管本体密封隔热板的一侧内壁上环绕安装设置有加热管密封隔热板,所述加热炉体密封隔热板靠近出料口密封隔热板的一侧外部通过之间安装设置有风扇密封隔热板,所述风扇密封隔热板的输出端朝向出料口密封隔热板的一侧;
[0015]采用上述技术方案使得整体在进行使用时,能够通过风扇的启动,从而加快石英管本体的散热,提高整体的制备效率

[0016]与现有技术相比,本技术的有益效果是:该锗单晶制备的水平式均匀加热的石英管机构:
[0017]1.
该石英管加热炉体整体在进行使用时,通过限位齿轮带动定位齿环转动,同时配合定位齿环之间卡合放置的石英管本体同时进行转动,使得石英管本体不在进行静止放置,配合两侧加热管的设置,从而使得整体在进行加热时能够进行水平转动均匀加热,从而使得整体的加热效果更好,保证整体的后期成品效果;
[0018]2.
该石英管加热炉体整体在进行使用时,通过一侧电动推杆的设置,从而能够将内部的放置架和内部卡合设置的石英管本体进行推出,从而使得整体取料更加方便,同时配合放置架一侧的密封隔热板二的设置,从而使得石英管整体推出后密封隔热板二能够对出料口进行密封隔绝,从而减少加热炉体内部热量的流失,使得整体的使用效果更好,降低能源消耗;
[0019]3.
该石英管加热炉体整体在进行使用时,通过锥齿轮杆一和锥齿轮杆二的设置以及将驱动电机安装在加热炉体的外部,从而减少热量对驱动电机的影响,同时也能够保证内部转动结构的稳定运行,同时整体将石英管本体推出后能够通过风扇的启动,从而加快
靠近出料口2的一侧外部通过之间安装设置有风扇
15
,风扇
15
的输出端朝向出料口2的一侧,整体在加热结束后,可通过启动一侧的电动推杆
12
,通过电动推杆
12
输出端的伸出,从而带动一侧的放置架
3、
密封隔热板一8和密封隔热板二
13
以及内部的石英管本体4同本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构,包括加热炉体(1)

出料口(2)

放置架(3)

石英管本体(4)和承托架(5),其特征在于:所述加热炉体(1)的一侧导通设置有出料口(2),所述加热炉体(1)靠近出料口(2)的一侧内部横向滑动安装设置有放置架(3),所述放置架(3)靠近出料口(2)的一侧安装设置有密封隔热板一(8),所述密封隔热板一(8)的外表面与出料口(2)的内壁贴合,所述放置架(3)的内部贯穿转动安装设置有定位齿环(6),所述定位齿环(6)的内部纵向贯穿卡合设置有石英管本体(4),所述加热炉体(1)远离出料口(2)的一侧外表面安装设置有电动推杆(
12

。2.
根据权利要求1所述锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构,其特征在于:所述放置架(3)远离密封隔热板一(8)的一侧外表面固定安装设置有密封隔热板二(
13
),所述密封隔热板二(
13
)的一侧与电动推杆(
12
)的输出贯穿端安装固定
。3.
根据权利要求1或2所述锗单晶制备的水平式均匀加热石英管机构,其特征在于:所述密封隔热板一(8)靠近石英管本体(4)底端的一侧外表面固定安装设置有承托架(5),所述承托架(5)的一端贯穿套设贴合在石英管本体(...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐安雄唐联云梁小刚李艳李光洪邹德刚
申请(专利权)人:昆明汇泉高纯半导材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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