设有降温结构的高速抛光机制造技术

技术编号:39858077 阅读:8 留言:0更新日期:2023-12-30 12:54
本实用新型专利技术涉及抛光机技术领域,具体为一种设有降温结构的高速抛光机,包括基体

【技术实现步骤摘要】
设有降温结构的高速抛光机


[0001]本技术涉及抛光机
,具体为一种设有降温结构的高速抛光机


技术介绍

[0002]高速抛光机可通过高速旋转的抛光盘快速的对产品表面进行抛光处理,可去除产品表面氧化层或是划痕,锗单晶作为一种重要的半导体材料,在对其进行加工时也会将表面进行抛光处理,申请号为
2017207999932

2018
年4月
13
日公开的一种高速抛光机,达到了便于对材料进行夹紧的目的,防止加工过程中材料产生滑动,保证加工过程的安全性,并且可以调节夹紧距离,可以适应不同大小的材料,可以调节打磨的强度,便于加工质量更好的材料,提高装置实用性,防止斜杆滑动的目的,方便取放材料

[0003]在抛光机对产品进行抛光时,由于其转速较快,故抛光过程中产品的温度上升也很快,若不及时对其进行降温容易导致产品性能发生改变,且高温也会降低抛光头的使用寿命


技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种设有降温结构的高速抛光机,以解决上述
技术介绍
提出的在抛光机对产品进行抛光时,由于其转速较快,故抛光过程中产品的温度上升也很快,若不及时对其进行降温容易导致产品性能发生改变,且高温也会降低抛光头的使用寿命的问题

[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:设有降温结构的高速抛光机,包括基体

支撑架

控制器

驱动机构和抛光盘,所述支撑架固定在基体的上方,且支撑架的下方安装有控制器,控制抛光盘的位置,所述控制器的下方连接有驱动机构,且驱动机构的下方安装有抛光盘,所述抛光盘的下方设置有置物台,且置物台的上方设置有限位机构,对待抛光的产品进行限位,所述置物台的下方设置有引导槽,且引导槽的下方开设有储存槽,并且引导槽的中部设置有过滤盒,所述过滤盒可拆卸安装在引导槽的内部,且过滤盒的上方固定有支撑柱,且支撑柱的上端和置物台相连接,为置物台提供支撑,所述储存槽的内部安装有抽取管,且抽取管的上端连接有泵体,泵体通过抽取管将储存槽内的冷却液抽出,所述泵体的上方连接有输出管,且输出管的端部设置有喷淋头,所述喷淋头位于置物台的上方,所述抛光盘的外侧设置有防护罩,对抛光时的废屑和液体的飞溅进行遮挡

[0006]进一步优化本技术方案,所述防护罩为透明材质构成,且防护罩的上端设置有活动板,并且活动板固定在驱动机构的外侧随驱动机构一同进行移动,所述活动板和防护罩之间构成上下滑动结构,使防护罩停止移动后活动板能继续进行移动

[0007]进一步优化本技术方案,所述活动板的上方设置有定位板,且定位板固定在防护罩的上方,并且活动板的下方连接有复位弹簧,所述复位弹簧的下端固定有连接板,连接板固定在防护罩的底部

[0008]进一步优化本技术方案,所述限位机构包括限位块和电动伸缩杆;
提供支撑,储存槽
15
的内部安装有抽取管
20
,且抽取管
20
的上端连接有泵体
21
,泵体
21
通过抽取管
20
将储存槽
15
内的冷却液抽出,泵体
21
的上方连接有输出管
22
,且输出管
22
的端部设置有喷淋头
23
,喷淋头
23
位于置物台6的上方,限位机构包括限位块
12
和电动伸缩杆
13
,限位块
12
,以置物台6的中心为圆心等角度分布在置物台6的上方,电动伸缩杆
13
,固定在限位块
12
的外侧控制限位块
12
的移动,且电动伸缩杆
13
固定安装在置物台6的上方;
[0024]使用时可将待进行抛光的产品放置到置物台6的上方,然后通过电动伸缩杆
13
控制限位块
12
进行移动,将产品限位在置物台6上,通过控制器3控制抛光盘5向下移动和产品进行接触,通过驱动机构4控制抛光盘5进行旋转,对产品进行抛光处理,储存槽
15
内可储存冷却液,后续通过泵体
21
和抽取管
20
将其抽出,配合输出管
22
和喷淋头
23
喷淋到产品上,对其进行降温

[0025]抛光盘5的外侧设置有防护罩7,对抛光时的废屑和液体的飞溅进行遮挡,防护罩7为透明材质构成,且防护罩7的上端设置有活动板8,并且活动板8固定在驱动机构4的外侧随驱动机构4一同进行移动,活动板8和防护罩7之间构成上下滑动结构,使防护罩7停止移动后活动板8能继续进行移动,活动板8的上方设置有定位板9,且定位板9固定在防护罩7的上方,并且活动板8的下方连接有复位弹簧
10
,复位弹簧
10
的下端固定有连接板
11
,连接板
11
固定在防护罩7的底部,过滤盒
16
的外侧固定有连接块
18
,且连接块
18
的外侧设置有安装槽
19
,并且安装槽
19
开设在引导槽
14
的内部,安装槽
19
的上方呈开口状结构设计,且安装槽
19
和连接块
18
之间构成凹凸配合结构,方便后续对过滤盒
16
进行拆卸,输出管
22
为金属波纹软管,使输出管
22
的位置能进行手动调整,方便适配不同的喷淋需要;
[0026]在控制抛光盘5向下移动时,防护罩7先和基体1进行接触,然后抛光盘5继续下移时,驱动机构4将带动活动板8进行移动,使活动板8压缩复位弹簧
10
,通过防护罩7对抛光进行保护,避免对外界环境造成污染,输出管
22
为金属波纹软管,可进行拨动调整,以改变喷淋头
23
的位置,使喷淋头
23
的位置能进行调整,喷淋的冷却液可通过引导槽
14
滑入到过滤盒
16
内,杂质被过滤后冷却液重新回到储存槽
15
内,可进行重复利用,后续可通过移动置物台6,使其通过支撑柱
17
将过滤盒
16
从引导槽
14
内取出,方便对杂质进行处理

[0027]本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术

[0028]尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
设有降温结构的高速抛光机,包括基体(1)

支撑架(2)

控制器(3)

驱动机构(4)和抛光盘(5),所述支撑架(2)固定在基体(1)的上方,且支撑架(2)的下方安装有控制器(3),控制抛光盘(5)的位置,所述控制器(3)的下方连接有驱动机构(4),且驱动机构(4)的下方安装有抛光盘(5);其特征在于:所述抛光盘(5)的下方设置有置物台(6),且置物台(6)的上方设置有限位机构,对待抛光的产品进行限位,所述置物台(6)的下方设置有引导槽(
14
),且引导槽(
14
)的下方开设有储存槽(
15
),并且引导槽(
14
)的中部设置有过滤盒(
16
),所述过滤盒(
16
)可拆卸安装在引导槽(
14
)的内部,且过滤盒(
16
)的上方固定有支撑柱(
17
),且支撑柱(
17
)的上端和置物台(6)相连接,为置物台(6)提供支撑,所述储存槽(
15
)的内部安装有抽取管(
20
),且抽取管(
20
)的上端连接有泵体(
21
),泵体(
21
)通过抽取管(
20
)将储存槽(
15
)内的冷却液抽出,所述泵体(
21
)的上方连接有输出管(
22
),且输出管(
22
)的端部设置有喷淋头(
23
),所述喷淋头(
23
)位于置物台(6)的上方,所述抛光盘(5)的外侧设置有防护罩(7),对抛光时的废屑和液体的飞溅进行遮挡
。2.
根据权利要求1所述设有降温结构的高速抛光机,其特征在于:所述防护罩(7)为透明材质构成,且防护罩(7)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐安雄李艳梁小刚徐海春邹德刚唐联云
申请(专利权)人:昆明汇泉高纯半导材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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