本实用新型专利技术提供了一种隔振支撑结构及隔振装置，隔振支撑结构包括支撑座，支撑座内部形成有安装槽、顶部具有开口；支撑杆上端无接触穿过开口并连接支撑板；至少两根拉杆均匀分布在支撑杆的外围，拉杆的上端与安装槽的顶部固定连接，下端通过连接板与支撑杆的下端固定连接。与现有技术相比，本实用新型专利技术提供的隔振支撑结构在受到水平方向的振动产生位移后，支撑杆与拉杆协调变形，使其支撑的工作台在垂直方向仅有微小的位移变化，而几乎不会影响所支撑工件台上的零件加工精度；拉杆在水平方向的弹性变形可以实现水平方向的隔振。支撑杆和拉杆中段横截面大于其上段、下段横截面，使支撑主体具有更高的垂向支撑、更好的水平隔振能力。力。力。
【技术实现步骤摘要】
隔振支撑结构及隔振装置
[0001]本技术涉及一种隔振
，尤其涉及一种隔振支撑结构及隔振装置。
技术介绍
[0002]在超精密加工领域，诸如半导体、光学镜片、仪器仪表关键零部件等的加工过程中对隔振的要求非常高，这种隔振不仅要隔去外部环境对加工工作台的振动，而且要隔去加工过程产生的振动对其他测量器件的干扰，如激光干涉仪，对于所承载加工件的工作台而言，在满足隔振的同时，还要求其具备承载方向(一般为垂直方向)的高刚性，通常采用气浮轴承结构的隔振器，但是在真空环境下该类型的隔振器是不能使用的。因此，亟需一种可在真空应用场景中提供负载支撑并可隔振的结构，以替代气浮轴承。
技术实现思路
[0003]针对上述现有技术中的不足，本技术的目的在于提供一种隔振支撑结构，其可真空应用场景中提供负载支撑并可隔振。
[0004]本技术提供的一种隔振支撑结构，包括支撑主体，所述支撑主体包括支撑座、支撑杆和至少两根拉杆；所述支撑座内部形成有安装槽，所述支撑座顶部具有与所述安装槽连通的开口；所述支撑杆无接触穿过所述开口，所述支撑杆的上端固定连接支撑板；各拉杆均匀分布在所述支撑杆的外围，各拉杆的上端与安装槽的顶部固定连接，各拉杆的下端通过连接板与所述支撑杆的下端固定连接。
[0005]优选地，所述支撑杆由上至下分为上段、中段和下段，支撑杆中段横截面的面积大于其上段横截面的面积和/或下段横截面的面积。
[0006]优选地，所述支撑杆的下段为腰鼓状结构。
[0007]优选地，所述拉杆由上至下分为上段、中段和下段，拉杆中段横截面的面积大于其上段横截面的面积和/或下段横截面的面积。
[0008]优选地，所述拉杆的上段为腰鼓状结构。
[0009]优选地，还包括用于限制所述支撑杆水平移动的限位件。
[0010]优选地，所述限位件为限位螺钉，所述限位螺钉至少有部分延伸至所述安装槽内。
[0011]优选地，所述支撑座是由板体围合形成的矩形框架结构，所述矩形框架结构顶部边框上设置所述开口。
[0012]优选地，还包括两块加强板，两块所述加强板分别固定在所述矩形框架结构两侧的开口上。
[0013]优选地，所述加强板的上部和下部分别设置有与所述安装槽相连通的观察孔。
[0014]优选地，所述支撑座、所述支撑杆、所述拉杆、所述连接板和所述支撑板一体成型。
[0015]本技术还提供了一种隔振装置，包括如上所述的隔振支撑结构。
[0016]与现有技术相比，本技术提供的隔振支撑结构在受到水平方向的振动产生位移后，支撑杆与拉杆协调变形，使其支撑的工作台在垂直方向仅有微小的位移变化，这种微
小的位移变化几乎不会影响所支撑工件台上的零件加工精度；拉杆在水平方向的弹性变形可以实现水平方向的隔振。使支撑杆和拉杆中段横截面的面积大于其上段、下段横截面的面积，可在不增加支撑主体整体结构尺寸的情况下，使支撑主体具有更高的垂向支撑、更好的水平隔振能力。将支撑杆下段、拉杆上段设计为腰鼓状结构，可大幅增加水平向柔性，同时对垂向支撑刚度削弱较小。在支撑主体两侧分别设置加强板，可进一步增强隔振支撑结构垂向承载刚度的作用。加强板的上部和下部分别设置有与安装槽相连通的观察孔来观察和检测支撑杆和拉杆上下两端的受力情况。支撑主体一体成型，各部分件的连接件，使连接更为可靠，结构尺寸更加紧凑，可以用在一些对空间苛刻要求的隔振装置中。整个隔振支撑结构便于拆装、维护简单，同时可以提高结构的可靠性。
[0017]上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本技术的目的。
附图说明
[0018]在下文中将基于仅为非限定性的实施例并参考附图来对本技术进行更详细的描述。其中：
[0019]图1为本技术一实施例提供的隔振支撑结构的结构示意图；
[0020]图2为本技术一实施例提供的隔振支撑结构的爆炸图；
[0021]图3为本技术一实施例提供的支撑主体的主视图；
[0022]图4为本技术一实施例提供的支撑主体的局部剖视图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1、支撑板；2、支撑座；3、支撑杆；4、拉杆；5、连接板；6、限位螺钉；7、加强板；8、观察孔；31、支撑杆上段；32、支撑杆中段；33、支撑杆下段；41、拉杆上段；42、拉杆中段；43、拉杆下段。
具体实施方式
[0025]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本技术中的具体实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本技术所保护的范围。
[0026]本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指在该词前的要素涵盖在该词后列举的要素，并不排除也涵盖其他要素的可能。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0027]在本技术中，当描述到特定器件位于第一器件和第二器件之间时，在该特定器件与第一器件或第二器件之间可以存在居间器件，也可以不存在居间器件。当描述到特定器件连接其它器件时，该特定器件可以与所述其它器件直接连接而不具有居间器件，也可以不与所述其它器件直接连接而具有居间器件。
[0028]本技术使用的所有术语(包括技术术语或者科学术语)与本技术所属领
域的普通技术人员理解的含义相同，除非另外特别定义。还应当理解，在诸如通用字典中定义的术语应当被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义相一致的含义，而不应用理想化或极度形式化的意义来解释，除非这里明确地这样定义。
[0029]如图1至图4所示，隔振支撑结构包括支撑主体，支撑主体主要包括支撑座2、支撑杆3和两根拉杆4。支撑座2是由板体围合形成的矩形框架结构，矩形框架结构的内部空间为安装槽，安装槽用于容纳安装支撑杆3和拉杆4，矩形框架结构顶部边框上开设有开口，开口和安装槽相连通。支撑杆3无接触穿过开口，支撑杆3的上端固定连接支撑板1，支撑板1用来支撑工作台。两根拉杆4结构相同，两根拉杆4安装在安装槽内并均匀分布在支撑杆3的外围，各个拉杆4的上端均与安装槽的顶部固定连接，各个拉杆4的下端通过一连接板5与支撑杆3的下端固定连接。
[0030]支撑主体在受到水平方向的振动产生位移后，支撑杆3与拉杆4协调变形，使其支撑的工作台在垂直方向仅有微小的位移变化，这种微小的位移变化几乎不会影响所支撑工件台上的零件加工精度；拉杆4在水平方向的弹性变形可以实现水平方向的隔振。
[0031]支撑主体通常负载较小，如果要求高承载能力，在同等尺寸下，就得牺牲水平向隔振能力，如果提高水平向隔振能力，在同等尺寸下承载能力将下降，如果既要满本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种隔振支撑结构，其特征在于，包括支撑主体，所述支撑主体包括支撑座、支撑杆和至少两根拉杆；所述支撑座内部形成有安装槽，所述支撑座顶部具有与所述安装槽连通的开口；所述支撑杆无接触穿过所述开口，所述支撑杆的上端固定连接支撑板；各拉杆均匀分布在所述支撑杆的外围，各拉杆的上端与安装槽的顶部固定连接，各拉杆的下端通过连接板与所述支撑杆的下端固定连接。2.根据权利要求1所述的隔振支撑结构，其特征在于，所述支撑杆由上至下分为上段、中段和下段，支撑杆中段横截面的面积大于其上段横截面的面积和/或下段横截面的面积。3.根据权利要求2所述的隔振支撑结构，其特征在于，所述支撑杆的下段为腰鼓状结构。4.根据权利要求1
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3中任一项所述的隔振支撑结构，其特征在于，所述拉杆由上至下分为上段、中段和下段，拉杆中段横截面的面积大于其上段横截面的面积和/或下段横截面的面积。5.根据权利要求4所述的隔振支撑结构，其特征在于，所述拉杆的上段为腰鼓状结构。6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志刚，刘翔，王利臣，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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