【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光栅清洗，尤其涉及一种清洁工装及光栅在线清洁方法。
技术介绍
1、光栅在光刻机上应用时，会在光栅表面产生白雾、脏污等污染物，而表面的污染物会影响双工件台上读数头的测量，导致测量光强下降，测量准确度降低。现有技术一般将存在污染物的光栅拆下进行离线清洁处理，光栅的拆装不仅会造成时间和人力的浪费，拆装过程还可能对光栅造成磕碰损坏。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种清洁工装及光栅在线清洁方法，以解决现有技术中光栅的清洁处理不仅会造成时间和人力的浪费，还容易对光栅造成磕碰损坏的技术问题。
2、为解决上述问题，本专利技术提供一种清洁工装，包括移动台和清洁组件，所述清洁组件包括承载座和设于所述承载座的去污喷嘴、清洗喷嘴和吹扫气嘴，所述去污喷嘴、所述清洗喷嘴和所述吹扫气嘴三者的输入口均连通有连通管路，且各所述连通管路均设有驱动泵；所述移动台设有驱动组件，所述驱动组件的驱动端连接于所述承载座，用于驱动所述承载座移动。
3、可选地，所述清洁工装还包括控制器；所述承载座设有用于检测目标光栅污染区域的检测组件，且所述检测组件、所述驱动组件和所述驱动泵均连接于所述控制器。
4、可选地，所述去污喷嘴、所述清洗喷嘴和所述吹扫气嘴三者的输出口均为沿x向延伸的条形口，三者沿y向依次间隔排布且三者的输出口于y向相对应。
5、可选地，所述去污喷嘴和所述清洗喷嘴两者的输出口均围设有倾斜延伸段，所述倾斜延伸段自其输入端向输出端背离所述吹扫气嘴倾斜。
6、可选地，所述承载座的顶部设有接液盒，所述去污喷嘴和所述清洗喷嘴均位于所述接液盒内。
7、可选地，所述连通管路和所述驱动泵均位于所述承载座内。
8、本专利技术还提供了一种光栅在线清洁方法，采用上述清洁工装对光刻机的光栅模块进行在线清洁处理，其中，所述光栅模块包括多个间隔排布的光栅，所述方法包括：
9、将移动台移动至预设位置以使所述光栅模块位于清洁组件的清洁范围内；
10、将所述光栅模块中需要清洁处理的光栅作为目标光栅，各所述目标光栅中光栅面所在区域作为目标清洁区，并确定进入清洁模式；
11、所述清洁模式包括：
12、去污步：去污喷嘴移动并向所述目标清洁区喷射去污剂使其成为去污区；
13、清洗步：清洗喷嘴移动并向所述去污区喷射清洗水使其成为清洗区；
14、吹扫步：吹扫气嘴移动并向所述清洗区吹扫干燥气使其成为洁净区。
15、可选地，所述清洁模式包括单光栅清洁，所述单光栅清洁包括：
16、确定各所述目标光栅的清洁顺序和清洁路径，所述清洁路径覆盖相应所述目标光栅中光栅面的全部区域；
17、按照所述清洁顺序和所述清洁路径依次对各所述目标光栅进行所述去污步、所述清洗步和所述吹扫步。
18、可选地，所述光栅模块的所有光栅均作为目标光栅时，所述清洁模式包括全光栅清洁，所述全光栅清洁包括：
19、根据所述光栅模块中各光栅的排布位置确定连续的清洁路径，所述清洁路径覆盖各所述目标光栅中光栅面的全区域；
20、按照所述清洁路径依次进行所述去污步、所述清洗步和所述吹扫步。
21、可选地，所述去污喷嘴、所述清洗喷嘴和所述吹扫气嘴三者的清洁移动方向和排布方向相反，沿确定的清洁路径移动时，所述去污喷嘴、所述清洗喷嘴和所述吹扫气嘴各自到达所述清洁路径的起始端时启动、到达所述清洁路径的终末端时关闭。
22、可选地，确定进入清洁模式前，在相邻所述光栅之间设置挡板。
23、可选地，所述将所述光栅模块中需要清洁处理的光栅作为目标光栅的步骤中，包括：
24、检测所述光栅模块的污染区域；
25、确定所述污染区域涉及的光栅均作为目标光栅。
26、可选地，所述清洁模式结束后，检测所述污染区域的洁净程度是否全部达到预设范围；
27、若否，则将超出预设范围的区域作为新的污染区域，并再次控制进入所述清洁模式。
28、本专利技术提供的清洁工装，一方面，能够对光刻机的光栅模块进行在线清洁处理，无需拆装光栅，从而提高光栅模块的清洁处理效率，降低光栅模块的维护成本，并减少光栅拆装过程可能造成的碰撞损坏、延长光栅的使用寿命；另一方面，该清洁工装中清洁组件的去污喷嘴、清洗喷嘴和吹扫气嘴紧凑地布置于承载座上，通过单个驱动组件的驱动能够实现多个喷嘴的驱动，从而完成去污步、清洗步和吹扫步，结构简单、体积小巧且功能性强。
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1.一种清洁工装，其特征在于，包括移动台(100)和清洁组件(200)，所述清洁组件(200)包括承载座(210)和设于所述承载座(210)的去污喷嘴(220)、清洗喷嘴(230)和吹扫气嘴(240)，所述去污喷嘴(220)、所述清洗喷嘴(230)和所述吹扫气嘴(240)三者的输入口均连通有连通管路(260)，且各所述连通管路(260)均设有驱动泵(270)；所述移动台(100)设有驱动组件，所述驱动组件的驱动端连接于所述承载座(210)，用于驱动所述承载座(210)移动。
2.根据权利要求1所述的清洁工装，其特征在于，所述清洁工装还包括控制器；所述承载座(210)设有用于检测目标光栅污染区域的检测组件(300)，且所述检测组件(300)、所述驱动组件和所述驱动泵(270)均连接于所述控制器。
3.根据权利要求1或2所述的清洁工装，其特征在于，所述去污喷嘴(220)、所述清洗喷嘴(230)和所述吹扫气嘴(240)三者的输出口均为沿X向延伸的条形口，三者沿Y向依次间隔排布且三者的输出口于Y向相对应。
4.根据权利要求1或2所述的清洁工装，其特征在
5.根据权利要求1或2所述的清洁工装，其特征在于，所述承载座(210)的顶部设有接液盒(280)，所述去污喷嘴(220)和所述清洗喷嘴(230)均位于所述接液盒(280)内。
6.根据权利要求1或2所述的清洁工装，其特征在于，所述连通管路(260)和所述驱动泵(270)均位于所述承载座(210)内。
7.一种光栅在线清洁方法，其特征在于，采用权利要求1-6任一项所述的清洁工装对光刻机的光栅模块(10)进行在线清洁处理，其中，所述光栅模块(10)包括多个间隔排布的光栅，所述方法包括：
8.根据权利要求7所述的光栅在线清洁方法，其特征在于，所述清洁模式包括单光栅清洁，所述单光栅清洁包括：
9.根据权利要求7所述的光栅在线清洁方法，其特征在于，所述光栅模块(10)的所有光栅均作为目标光栅时，所述清洁模式包括全光栅清洁，所述全光栅清洁包括：
10.根据权利要求8或9所述的光栅在线清洁方法，其特征在于，所述去污喷嘴(220)、所述清洗喷嘴(230)和所述吹扫气嘴(240)三者的清洁移动方向和排布方向相反，沿确定的清洁路径移动时，所述去污喷嘴(220)、所述清洗喷嘴(230)和所述吹扫气嘴(240)各自到达所述清洁路径的起始端时启动、到达所述清洁路径的终末端时关闭。
11.根据权利要求7所述的光栅在线清洁方法，其特征在于，确定进入清洁模式前，在相邻所述光栅之间设置挡板(20)。
12.根据权利要求7所述的光栅在线清洁方法，其特征在于，所述将所述光栅模块(10)中需要清洁处理的光栅作为目标光栅的步骤中，包括：
13.根据权利要求12所述的光栅在线清洁方法，其特征在于，所述清洁模式结束后，检测所述污染区域的洁净程度是否全部达到预设范围；
...【技术特征摘要】
1.一种清洁工装，其特征在于，包括移动台(100)和清洁组件(200)，所述清洁组件(200)包括承载座(210)和设于所述承载座(210)的去污喷嘴(220)、清洗喷嘴(230)和吹扫气嘴(240)，所述去污喷嘴(220)、所述清洗喷嘴(230)和所述吹扫气嘴(240)三者的输入口均连通有连通管路(260)，且各所述连通管路(260)均设有驱动泵(270)；所述移动台(100)设有驱动组件，所述驱动组件的驱动端连接于所述承载座(210)，用于驱动所述承载座(210)移动。
2.根据权利要求1所述的清洁工装，其特征在于，所述清洁工装还包括控制器；所述承载座(210)设有用于检测目标光栅污染区域的检测组件(300)，且所述检测组件(300)、所述驱动组件和所述驱动泵(270)均连接于所述控制器。
3.根据权利要求1或2所述的清洁工装，其特征在于，所述去污喷嘴(220)、所述清洗喷嘴(230)和所述吹扫气嘴(240)三者的输出口均为沿x向延伸的条形口，三者沿y向依次间隔排布且三者的输出口于y向相对应。
4.根据权利要求1或2所述的清洁工装，其特征在于，所述去污喷嘴(220)和所述清洗喷嘴(230)两者的输出口均围设有倾斜延伸段(250)，所述倾斜延伸段(250)自其输入端向输出端背离所述吹扫气嘴(240)倾斜。
5.根据权利要求1或2所述的清洁工装，其特征在于，所述承载座(210)的顶部设有接液盒(280)，所述去污喷嘴(220)和所述清洗喷嘴(230)均位于所述接液盒(280)内。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：曹凯，李腾飞，皇甫鹏飞，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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