【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备支撑装置的，具体而言，涉及一种可调节垫铁及主体框架。
技术介绍
1、现有技术中，光刻机的主要结构框架为：主体框架上方通过主动隔振器支撑测量框架，下方连接双工件台。为了保证光刻机生产出来的产品的质量，在制造、测量、整机组装、光刻过程中，均需要保证主体框架的水平度。
2、现有技术中，通常在主体框架的底部安装可调节垫铁，以支撑主体框架并调节主体框架的高度和水平度。具体地，可调节垫铁通常包括与被支撑件螺纹连接的调节部和支撑于地面的固定部，而调节部能够相对于固定部转动，从而调节被支撑件的高度和水平度。但是，现有技术中，调节部与固定部之间容易卡滞，从而影响主体框架的调高调平。
技术实现思路
1、本技术的第一个目的在于提供一种可调节垫铁，以解决现有技术中存在的主体框架的可调节垫铁容易发生卡滞，给调高调平带来不便的技术问题。
2、本技术提供的可调节垫铁，包括调节部和固定部，所述固定部能够支撑于地面；所述调节部设置有螺纹，所述螺纹用于与被支撑件连接；所述调节部的底面设置有沉槽，所述固定部设置于所述沉槽内，所述固定部的底部露出至所述沉槽外，且所述固定部与所述调节部可相对转动地配合。
3、进一步地，所述固定部与所述调节部两者的轴线共线时，所述固定部的底面与所述调节部的底面之间具有设定距离，所述固定部的外侧壁与所述沉槽的内侧壁之间具有设定间隙，所述设定距离和所述设定间隙允许所述固定部与所述调节部两者的轴线在设定角度范围内呈夹角设置。
4、
5、进一步地，所述外凸部的高度小于所述沉槽的深度。
6、进一步地，所述沉槽的槽底设置有内凹部，所述内凹部的内周面为圆锥面的一部分；所述固定部的顶部设置有外凸部，所述外凸部的外周面为球面的一部分；所述外凸部容置于所述内凹部内，并与所述内凹部线接触。
7、进一步地，所述可调节垫铁还包括限位螺钉；所述沉槽的侧壁设置有限位通孔；所述固定部的外侧壁设置有限位环槽，所述限位环槽沿所述固定部的轴向的尺寸大于所述限位螺钉的直径；所述限位螺钉穿过所述限位通孔并插设于所述限位环槽。
8、进一步地，所述调节部设置有上方开口的容纳腔，所述容纳腔的底部设置有第一紧固通孔；所述固定部设置有第二紧固通孔，所述第二紧固通孔和所述第一紧固通孔用于供地脚螺栓的螺纹端穿过至所述容纳腔内，与所述地脚螺栓配合的螺母于所述容纳腔内与所述地脚螺栓配合；所述第二紧固通孔的孔径大于所述地脚螺栓的直径。
9、进一步地，所述容纳腔的上部呈圆柱状，下部呈圆台状。
10、进一步地，所述调节部的外侧壁设置有至少一个凹槽，所述凹槽用于与钩型扳手的钩头配合。
11、本技术提供的可调节垫铁，能够产生以下有益效果：
12、本技术提供的可调节垫铁，使用时，通过其调节部的螺纹将其安装于被支撑件的底部。由于调节部的底面设置有沉槽，而固定部设置于沉槽内且底部露出至沉槽外，所以，固定部能够支撑于地面，而调节部高于地面，能够相对于固定部和被支撑件转动。调节被支撑件的高度或水平度时，旋转调节部，被支撑件即可相对调节部上升或下降，从而能够实现对被支撑件高度或水平度的调节。
13、此外，本技术提供的可调节垫铁，固定部设置于调节部底面设置的沉槽内，相当于调节部罩于固定部上，调节部和固定部两者的配合部位位于沉槽内，能够受到调节部的保护，从而粉尘和水等异物不易进入调节部和固定部的配合部位，进而能够有效避免两者之间因进入异物而发生卡滞进而影响被支撑件调高调平情况的发生。
14、本技术的第二个目的在于提供一种主体框架，以解决现有技术中存在的主体框架的可调节垫铁容易发生卡滞，给调高调平带来不便的技术问题。
15、本技术提供的主体框架，包括本体，所述本体的底部螺纹连接有多个可调节垫铁，所述可调节垫铁为上述的可调节垫铁。
16、本技术提供的主体框架，其主体底部安装的可调节垫铁，具有上述的可调节垫铁的全部有益效果，因此，该主体框架调高调平时，不易受可调节垫铁卡滞的影响，能够快速地实现调高调平。
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1.一种可调节垫铁，其特征在于，包括调节部(100)和固定部(200)，所述固定部(200)能够支撑于地面；所述调节部(100)设置有螺纹(110)，所述螺纹(110)用于与被支撑件连接；所述调节部(100)的底面设置有沉槽(120)，所述固定部(200)设置于所述沉槽(120)内，所述固定部(200)的底部露出至所述沉槽(120)外，且所述固定部(200)与所述调节部(100)可相对转动地配合。
2.根据权利要求1所述的可调节垫铁，其特征在于，所述固定部(200)与所述调节部(100)两者的轴线共线时，所述固定部(200)的底面与所述调节部(100)的底面之间具有设定距离，所述固定部(200)的外侧壁与所述沉槽(120)的内侧壁之间具有设定间隙，所述设定距离和所述设定间隙允许所述固定部(200)与所述调节部(100)两者的轴线在设定角度范围内呈夹角设置。
3.根据权利要求2所述的可调节垫铁，其特征在于，所述沉槽(120)的槽底设置有外凸部(130)，所述外凸部(130)的外周面为球面的一部分；所述固定部(200)的顶部设置有内凹部(210)，所述内凹部(
4.根据权利要求3所述的可调节垫铁，其特征在于，所述外凸部(130)的高度小于所述沉槽(120)的深度。
5.根据权利要求2所述的可调节垫铁，其特征在于，所述沉槽(120)的槽底设置有内凹部(210)，所述内凹部(210)的内周面为圆锥面的一部分；所述固定部(200)的顶部设置有外凸部(130)，所述外凸部(130)的外周面为球面的一部分；所述外凸部(130)容置于所述内凹部(210)内，并与所述内凹部(210)线接触。
6.根据权利要求3-5任一项所述的可调节垫铁，其特征在于，所述可调节垫铁还包括限位螺钉(300)；所述沉槽(120)的侧壁设置有限位通孔；所述固定部(200)的外侧壁设置有限位环槽(220)，所述限位环槽(220)沿所述固定部(200)的轴向的尺寸大于所述限位螺钉(300)的直径；所述限位螺钉(300)穿过所述限位通孔并插设于所述限位环槽(220)。
7.根据权利要求3-5任一项所述的可调节垫铁，其特征在于，所述调节部(100)设置有上方开口的容纳腔(140)，所述容纳腔(140)的底部设置有第一紧固通孔(150)；所述固定部(200)设置有第二紧固通孔(230)，所述第二紧固通孔(230)和所述第一紧固通孔(150)用于供地脚螺栓的螺纹端穿过至所述容纳腔(140)内，与所述地脚螺栓配合的螺母于所述容纳腔(140)内与所述地脚螺栓配合；所述第二紧固通孔(230)的孔径大于所述地脚螺栓的直径。
8.根据权利要求7所述的可调节垫铁，其特征在于，所述容纳腔(140)的上部呈圆柱状，下部呈圆台状。
9.根据权利要求1所述的可调节垫铁，其特征在于，所述调节部(100)的外侧壁设置有至少一个凹槽(160)，所述凹槽(160)用于与钩型扳手的钩头配合。
10.一种主体框架，其特征在于，包括本体，所述本体的底部螺纹连接有多个可调节垫铁，所述可调节垫铁为权利要求1-9任一项所述的可调节垫铁。
...【技术特征摘要】
1.一种可调节垫铁，其特征在于，包括调节部(100)和固定部(200)，所述固定部(200)能够支撑于地面；所述调节部(100)设置有螺纹(110)，所述螺纹(110)用于与被支撑件连接；所述调节部(100)的底面设置有沉槽(120)，所述固定部(200)设置于所述沉槽(120)内，所述固定部(200)的底部露出至所述沉槽(120)外，且所述固定部(200)与所述调节部(100)可相对转动地配合。
2.根据权利要求1所述的可调节垫铁，其特征在于，所述固定部(200)与所述调节部(100)两者的轴线共线时，所述固定部(200)的底面与所述调节部(100)的底面之间具有设定距离，所述固定部(200)的外侧壁与所述沉槽(120)的内侧壁之间具有设定间隙，所述设定距离和所述设定间隙允许所述固定部(200)与所述调节部(100)两者的轴线在设定角度范围内呈夹角设置。
3.根据权利要求2所述的可调节垫铁，其特征在于，所述沉槽(120)的槽底设置有外凸部(130)，所述外凸部(130)的外周面为球面的一部分；所述固定部(200)的顶部设置有内凹部(210)，所述内凹部(210)的内周面为圆锥面的一部分；所述外凸部(130)容置于所述内凹部(210)内，并与所述内凹部(210)线接触。
4.根据权利要求3所述的可调节垫铁，其特征在于，所述外凸部(130)的高度小于所述沉槽(120)的深度。
5.根据权利要求2所述的可调节垫铁，其特征在于，所述沉槽(120)的槽底设置有内凹部(210)，所述内凹部(210)的内周面为圆锥面的一部分；所述固定部(200)的顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜严，宿文龙，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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