一种调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及电子元器件生产技术领域，尤其为一种调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置，所述气源柜的表面固定连接有原有湿气管路，所述原有湿气管路的表面固定连接有原有气体混合装置，所述气源柜的表面固定连接有新增干气管路，所述新增干气管路气源柜部分接有MFC流量控制计，所述新增干气管路的表面加有保温伴装置，所述新增干气管路与原管路连接，并在接口后固定连接有新增气体混合装置，所述新增气体混合装置的表面固定连接有炉本体，所述新增气体混合装置的表面固定连接有加湿桶。本实用新型专利技术使MLCC烧结用气氛钟罩炉水含量调节更灵活，能更精确的控制MLCC烧结过程的氧含量，提高产品可靠性。提高产品可靠性。提高产品可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置


[0001]本技术涉及电子元器件生产
，具体为一种调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置。

技术介绍

[0002]贱金属内电极MLCC产品需要在还原气氛下进行烧结，气氛钟罩炉是一种常见的MLCC烧结设备，目前常见的气氛钟罩炉通过三组MFC气体流量计控制氮气、氢气、氧气(空气)的流量，并通过通入具有加热功能的恒温水箱进行加湿形成具有一定氮气、氢气、氧气、水含量的气氛进入炉内；
[0003]炉内的氧含量由气氛中的氢气、空气、水蒸气的比例决定，其中水含量通过恒温水箱的温度进行控制，然而由于恒温水箱受外界环境影响水温可调范围不高、运行过程水温不可自动调节，导致气氛中氧含量调节受到局限，产品不能在最佳氧含量条件下进行烧结，影响产品电性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置，包括气源柜，所述气源柜的表面固定连接有原有湿气管路，所述原有湿气管路的表面固定连接有原有气体混合装置，所述气源柜的表面固定连接有新增干气管路，所述新增干气管路气源柜部分接有MFC流量控制计，所述新增干气管路的表面加有保温伴装置，所述新增干气管路与原管路连接，并在接口后固定连接有新增气体混合装置，所述新增气体混合装置的表面固定连接有炉本体，所述新增气体混合装置的表面固定连接有加湿桶。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述原有湿气管路后增加一个流量可调的干气管路，通过干湿气体流量比例最大限度加强了对整体装置的控制能力，保证了整体装置的实用性。
[0007]本技术的有益效果是：
[0008]该调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置，使MLCC烧结用气氛钟罩炉水含量调节更灵活，能更精确的控制MLCC烧结过程的氧含量，提高产品可靠性。
附图说明
[0009]图1为本技术原有装置结构路线直视示意图；
[0010]图2为本技术新增装置结构路线示意图；
[0011]图3为本技术新增装置结构整体布局直视示意图。
[0012]图中：1、气源柜；2、原有湿气管路；3、原有气体混合装置；4、新增干气管路；5、新增气体混合装置；6、炉本体；7、加湿桶，新增干气管路阴影部分为保温伴热装置，新增干气管
路气源柜上有MFC流量控制计。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]请参阅图1
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3，本实施方案中：一种调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置，包括气源柜1，所述气源柜1的表面固定连接有原有湿气管路2，所述原有湿气管路2的表面固定连接有原有气体混合装置3，所述气源柜1的表面固定连接有新增干气管路4，所述新增干气管路4气源柜部分接有MFC流量控制计，所述新增干气管路4的表面加有保温伴装置，所述新增干气管路4与原管路连接，并在接口后固定连接有新增气体混合装置5，所述新增气体混合装置5的表面固定连接有炉本体6，所述新增气体混合装置5的表面固定连接有加湿桶7。
[0015]本实施例中，原有湿气管路2与炉本体6之间接有新增干气管路4,通过湿气与干气的配比达到灵活调节水含量的目的。
[0016]工作原理：在使用时，请参阅图1
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3，在产品的烧结过程，为调节不同阶段气氛中氧含量，可能需要设定不同水蒸气含量，如气体总流量为壹佰升每分钟，第一阶段需要的水含量为百分之七，第二阶段需要的水含量为百分之三点五，可将恒温水箱温度设定在四十摄氏度(对应水饱和蒸汽压约0.07atm)，第一阶段MFC1+MFC2+MFC3流量为100L/min可得到水含量7％的气体，第二阶段设定MFC1+MFC2+MFC3流量为50L/min，MFC4流量设定为50L/min，即可得到水含量为3.5％的气体。
[0017]以上，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调节MLCC烧结用气氛钟罩炉氧含量的装置，包括气源柜(1)，其特征在于：所述气源柜(1)的表面固定连接有原有湿气管路(2)，所述原有湿气管路(2)的表面固定连接有原有气体混合装置(3)，所述气源柜(1)的表面固定连接有新增干气管路(4)，所述新增干气管路(4)气源柜部分接有MFC流量控制计，所述新增干气管路(4)的表面加有保温伴装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟世铭，李宁，
申请(专利权)人：元六鸿远苏州电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：