本发明专利技术提供紫外线固化型液态树脂的固化判断方法、保护部件形成装置，能够可靠地判断紫外线固化型液态树脂固化的情况。该紫外线固化型液态树脂的固化判断方法对在晶片(W)的一个面(Wb)整面上推展的紫外线固化型的液态树脂(31)照射紫外线(UV)而判断液态树脂固化的情况，其中，在对液态树脂照射紫外线而使该液态树脂固化时，若由液态树脂反射紫外线而得的荧光(SL)的波长超过预先设定的阈值，则判断为液态树脂已固化。液态树脂已固化。液态树脂已固化。
【技术实现步骤摘要】
紫外线固化型液态树脂的固化判断方法、保护部件形成装置
[0001]本专利技术涉及紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置。
技术介绍
[0002]在对晶片进行磨削加工等时，形成对晶片的一个面整面进行保护的保护部件。形成保护部件的保护部件形成装置向载置于工作台的片上提供液态树脂，在工作台的上方使保持着晶片的保持部下降，在利用保持部所保持的晶片将液态树脂推展之后，使液态树脂固化，在晶片的一个面整面上形成由树脂和片构成的保护部件。
[0003]作为形成保护部件的液态树脂，已知有紫外线固化型树脂。在将紫外线固化型树脂在晶片的一个面与片之间推展的状态下，按照预先设定的时间照射紫外线，由此使紫外线固化型树脂固化。
[0004]专利文献1：日本特开2021
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061333号公报
[0005]在使用紫外线固化型的液态树脂在晶片的一个面上形成保护部件的情况下，如下进行管理：根据提供至片上的液态树脂的量等，预先设定液态树脂的固化所需的紫外线的照射时间，按照所设定的规定的照射时间照射紫外线。但是，存在如下的问题：由于照射紫外线的紫外线照射部的劣化、液态树脂的批次不同，在固化的进行程度上产生偏差，即使照射规定时间的紫外线，也存在液态树脂未充分固化的部分。
技术实现思路
[0006]本专利技术是鉴于该点而完成的，其目的在于提供紫外线固化型液态树脂的固化判断方法、保护部件形成装置，能够可靠地判断紫外线固化型液态树脂固化的情况。
[0007]本专利技术的一个方式是紫外线固化型液态树脂的固化判断方法，对在晶片的一个面整面上推展的紫外线固化型的液态树脂照射紫外线而判断该液态树脂固化的情况，其中，在对该液态树脂照射紫外线而使该液态树脂固化时，若由该液态树脂反射该紫外线而得的荧光的波长超过预先设定的阈值，则判断为该液态树脂已固化。
[0008]本专利技术的一个方式是保护部件形成装置，其在比晶片的一个面的面积大的片与晶片之间将紫外线固化型的液态树脂在晶片的一个面整面上推展，然后照射紫外线而使该液态树脂固化，形成由固化的树脂和该片构成的保护部件，其中，该保护部件形成装置具有：紫外线照射部，其从该片侧对该液态树脂照射紫外线；受光部，其接受由该液态树脂反射紫外线而得的荧光；以及判断部，若该受光部所接受的荧光的波长超过预先设定的阈值，则该判断部判断为该液态树脂已固化。
[0009]也可以是，该受光部是相机，若该相机所拍摄的拍摄图像的RGB值中的G值超过预先设定的阈值，则该判断部判断为该液态树脂已固化。
[0010]根据本专利技术的紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置，根据由紫外线固化型的液态树脂反射的荧光而进行固化的判断，因此能够可靠地判断液态树脂固化的情况。
附图说明
[0011]图1是示出本实施方式的保护部件形成装置的立体图。
[0012]图2是保护部件形成装置的一部分的剖视图。
[0013]图3是示出保护部件形成装置中的片搬入工序的说明图。
[0014]图4是示出保护部件形成装置中的液态树脂提供工序的说明图。
[0015]图5是示出保护部件形成装置中的晶片保持工序的说明图。
[0016]图6是示出保护部件形成装置中的推展工序的说明图。
[0017]图7是示出保护部件形成装置中的固化工序的说明图。
[0018]图8是示出在晶片中对液态树脂的固化进行判断的区域的俯视图。
[0019]图9是示出保护部件形成装置中的固化工序的变形例的说明图。
[0020]图10是对固化工序的变形例中的液态树脂的固化判断方法进行说明的曲线图。
[0021]标号说明
[0022]1：保护部件形成装置；13：暂放工作台；14：片切割台；16：保护部件形成载台；17：片搬送机构；18：树脂提供机构；20：晶片保持部；21：升降机构；23：紫外线照射部；24：受光部；26：相机(受光部)；27：拍摄图像存储部；30：片；31：液态树脂(紫外线固化型的液态树脂)；32：保护部件；40：控制部；41：判断部；50：第1判断区域；51：第2判断区域；231：紫外线光源；232：第1紫外线照射单元；233：第2紫外线照射单元；SL：荧光；TG：阈值；UV：紫外线；VG：固化判断点；W：晶片。
具体实施方式
[0023]以下，参照附图对本实施方式的紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置进行说明。图1和图2示出本实施方式的保护部件形成装置的整体和一部分。图3至图7是对在保护部件形成装置中进行的各工序进行说明的图。图8是示出在晶片中对液态树脂的固化进行判断的区域的图。图9是示出保护部件形成装置中的固化工序的变形例的图。图10是对固化工序的变形例中的液态树脂的固化判断方法进行说明的曲线图。
[0024]各图所示的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向处于相互垂直的关系。X轴方向和Y轴方向是大致水平的方向，Z轴方向是上下方向(垂直方向)。在各图中，将示出X轴方向的双箭头线中的带有X文字的那侧设为左方，将不带X文字的那侧设为右方。将示出Y轴方向的双箭头线中的带有Y文字的那侧设为前方，将不带Y文字的那侧设为后方。将示出Z轴方向的双箭头线中的带有Z文字的那侧设为上方，将不带Z文字的那侧设为下方。
[0025]图1所示的保护部件形成装置1是通过对在晶片W的一个面整面上推展的液态树脂31(参照图6)赋予外部刺激而使该液态树脂31固化从而形成保护部件的装置的一例。液态树脂31是紫外线固化型的树脂，使液态树脂31固化的外部刺激是紫外线的照射。在图1中，用虚线示出保护部件形成装置1的外部壳体10，以透视外部壳体10的内侧的构成要素的状态示出。将晶片W中的在保护部件形成装置1中的处理时朝向上侧的面作为上表面Wa，将朝向下侧的面作为下表面Wb。
[0026]后文进行详细叙述，在保护部件形成装置1中，向载置于保护部件形成载台16的片30上提供液态树脂31(参照图2、图4、图5)，按照将晶片保持部20所保持的晶片W从保护部件形成载台16的上方推压于液态树脂31的方式进行动作。晶片W的下表面Wb朝向片30推压，由
此在晶片W与片30之间将液态树脂31推展(参照图6)。在该状态下对液态树脂31照射紫外线而使该液态树脂31固化，通过固化的树脂和片30形成保护部件32(参照图7)。
[0027]这样的一系列的动作在统一控制保护部件形成装置1的控制部40(图1)的控制下进行。关于以下说明的各部的动作，在未明确记载控制的主体的情况下，通过从控制部40发送的控制信号控制动作。
[0028]晶片W例如是从圆柱状的硅等锭切出的圆板状的原切晶片。另外，晶片W不限于器件形成前的原切晶片，也可以是器件形成后的器件晶片等。
[0029]保护部件形成装置1在外部壳体10的X轴方向的一端侧(左侧的端部)具有盒收纳部11。在盒收纳部11中形成有上下两层的收纳空间111、112。在上层的收纳空间111中载置有对形成保护部件3本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种紫外线固化型液态树脂的固化判断方法，对在晶片的一个面整面上推展的紫外线固化型的液态树脂照射紫外线而判断该液态树脂固化的情况，其中，在对该液态树脂照射紫外线而使该液态树脂固化时，若由该液态树脂反射该紫外线而得的荧光的波长超过预先设定的阈值，则判断为该液态树脂已固化。2.一种保护部件形成装置，其在比晶片的一个面的面积大的片与晶片之间将紫外线固化型的液态树脂在晶片的一个面整面上推展，然后照射紫外线而使该液态树脂固化，形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：右山芳国，生岛充，谷山优太，柿沼良典，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：
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