一种太阳能光伏电池制造用扩散炉制造技术

本发明专利技术公开了一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，涉及太阳能光伏电池制造领域，包括气控系统、炉体冷却机构、进出舟系统、操作系统和三组石英管，所述气控系统的一侧固定安装有炉体柜，所述进出舟系统的一侧与炉体柜的一侧固定安装。本发明专利技术，通过设置水冷管一、水冷板、水冷管二和气冷管，在石英管工作时起到隔热效果，当石英管不工作时，多组硅片待取出时，石英管不再加热，水冷管一、水冷板和风扇一起到良好的散热效果，使得石英管整体可以冷却下来，进而石英舟各个部位都能均匀降温，使得多组硅片降温更加均匀迅速，避免硅片在石英管外部散热时产生的被污染的情况，保证了硅片扩散的质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能光伏电池制造用扩散炉


[0001]本专利技术涉及太阳能光伏电池制造
，具体为一种太阳能光伏电池制造用扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域，由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，其中在炉体加热系统中设置有散热机构。
[0003]现有技术中，如中国专利号为：CN115595669B的一种太阳能电池硅片扩散炉包括底座、炉体、上料机构、输送机构、炉门机构，的炉体、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座上；本专利技术通过设置上料机构，可以对太阳能电池硅片进行自动上料，并且可以同时将两个太阳能电池硅片摆放至石英舟。
[0004]但现有技术中，炉体加热系统的顶层配置有水冷散热器及排热风扇，每层加热炉体间也配置一层水冷系统，隔绝每层炉管的温度相互影响，并且在扩散工艺完成之后，自动化桨会把石英舟取出来，舟和硅片需要进行降温后，再由机械本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，包括气控系统（1）、炉体冷却机构（2）、进出舟系统（3）、操作系统（4）和三组石英管（5），其特征在于：所述气控系统（1）的一侧固定安装有炉体柜（21），所述进出舟系统（3）的一侧与炉体柜（21）的一侧固定安装，所述进出舟系统（3）的一侧与操作系统（4）的一侧固定连接，所述炉体柜（21）的内部设置有四组固定板（223），三组所述石英管（5）设置在每相邻两组固定板（223）之间，所述炉体柜（21）的内部设置有调节机构（6），所述炉体柜（21）的内部设置有降温机构（7）；所述炉体冷却机构（2）包括隔热板（22）、水泵（23）、储水箱（24）、多组螺旋桨片（25）、连接套（26）、连接杆（27）、风扇一（214）、水冷管一（215）、连通管（217）、固定套（218）、水冷管二（219）和风扇二（229），所述连接杆（27）的一端滑动连接有齿轮一（28），所述齿轮一（28）的外壁啮合有齿轮二（29），所述齿轮二（29）的内壁贯穿安装有转动轴（210），所述转动轴（210）的一侧固定安装有皮带轮一（211），所述皮带轮一（211）的外壁传动连接有皮带一（212），所述皮带一（212）的内部传动连接有皮带轮二（213），所述水冷管一（215）的一侧固定安装有三组水冷板（216），所述炉体柜（21）的一侧开设有凹槽（220），所述凹槽（220）的一侧活动安装有背板（221），所述背板（221）的一侧固定安装有气冷管（222）；所述齿轮一（28）的外壁啮合有齿轮三（224），所述齿轮三（224）的一侧贯穿安装有转动杆（225），所述转动杆（225）的一端固定安装有皮带轮三（226），所述皮带轮三（226）的内部传动连接有皮带二（227），所述皮带二（227）的内部传动连接有皮带轮四（228）。2.根据权利要求1所述的一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述隔热板（22）的一侧与炉体柜（21）的内壁固定安装，所述隔热板（22）的一侧与水泵（23）的一侧固定安装，所述水泵（23）的一端与储水箱（24）的顶部固定安装。3.根据权利要求1所述的一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述储水箱（24）的一侧与炉体柜（21）的内壁固定安装，所述多组螺旋桨片（25）设置在储水箱（24）的内部，所述水泵（23）的输出端设置在螺旋桨片（25）的上方，连接套（26）设置在多组螺旋桨片（25）一端。4.根据权利要求1所述的一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述齿轮一（28）的一端与...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱小南，
申请(专利权)人：南通大鹏光电有限公司，
类型：发明
国别省市：