本发明专利技术公开了一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，涉及太阳能光伏电池制造领域，包括气控系统、炉体冷却机构、进出舟系统、操作系统和三组石英管，所述气控系统的一侧固定安装有炉体柜，所述进出舟系统的一侧与炉体柜的一侧固定安装。本发明专利技术，通过设置水冷管一、水冷板、水冷管二和气冷管，在石英管工作时起到隔热效果，当石英管不工作时，多组硅片待取出时，石英管不再加热，水冷管一、水冷板和风扇一起到良好的散热效果，使得石英管整体可以冷却下来，进而石英舟各个部位都能均匀降温，使得多组硅片降温更加均匀迅速，避免硅片在石英管外部散热时产生的被污染的情况，保证了硅片扩散的质量。量。量。
【技术实现步骤摘要】
一种太阳能光伏电池制造用扩散炉
[0001]本专利技术涉及太阳能光伏电池制造
，具体为一种太阳能光伏电池制造用扩散炉。
技术介绍
[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域，由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，其中在炉体加热系统中设置有散热机构。
[0003]现有技术中，如中国专利号为：CN115595669B的一种太阳能电池硅片扩散炉包括底座、炉体、上料机构、输送机构、炉门机构，的炉体、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座上；本专利技术通过设置上料机构，可以对太阳能电池硅片进行自动上料，并且可以同时将两个太阳能电池硅片摆放至石英舟。
[0004]但现有技术中，炉体加热系统的顶层配置有水冷散热器及排热风扇，每层加热炉体间也配置一层水冷系统，隔绝每层炉管的温度相互影响，并且在扩散工艺完成之后，自动化桨会把石英舟取出来，舟和硅片需要进行降温后，再由机械臂将舟取放到缓存区域，缓存区域有多个风扇吹扫，降至室温后下片进入下道工序，这种降温方法的降温时间长，并且石英舟上各个部位的散热不均匀，降温环境差，硅片容易受污染，造成不良片，严重影响生产加工效率。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，以解决上述
技术介绍
提出的在扩散工艺完成之后，自动化桨会把石英舟取出来，舟和硅片需要进行降温后，再由机械臂将舟取放到缓存区域，缓存区域有多个风扇吹扫，降至室温后下片进入下道工序，这种降温方法的降温时间长，并且石英舟上各个部位的散热不均匀，降温环境差，硅片容易受污染，造成不良片，严重影响生产加工效率的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，包括气控系统、炉体冷却机构、进出舟系统、操作系统和三组石英管，所述气控系统的一侧固定安装有炉体柜，所述进出舟系统的一侧与炉体柜的一侧固定安装，所述进出舟系统的一侧与操作系统的一侧固定连接，所述炉体柜的内部设置有四组固定板，三组所述石英管设置在每相邻两组固定板之间，所述炉体柜的内部设置有调节机构，所述炉体柜的内部设置有降温机构；所述炉体冷却机构包括隔热板、水泵、储水箱、多组螺旋桨片、连接套、连接杆、风扇一、水冷管一、连通管、固定套、水冷管二和风扇二，所述连接杆的一端滑动连接有齿轮一，所述齿轮一的外壁啮合有齿轮二，所述齿轮二的内壁贯穿安装有转动轴，所述转动轴的一侧固定安装有皮带轮一，所述皮带轮一的外壁传动连接有皮带一，所述皮带一的内部传
动连接有皮带轮二，所述水冷管一的一侧固定安装有三组水冷板，所述炉体柜的一侧开设有凹槽，所述凹槽的一侧活动安装有背板，所述背板的一侧固定安装有气冷管；所述齿轮一的外壁啮合有齿轮三，所述齿轮三的一侧贯穿安装有转动杆，所述转动杆的一端固定安装有皮带轮三，所述皮带轮三的内部传动连接有皮带二，所述皮带二的内部传动连接有皮带轮四。
[0007]优选的，所述隔热板的一侧与炉体柜的内壁固定安装，所述隔热板的一侧与水泵的一侧固定安装，所述水泵的一端与储水箱的顶部固定安装。
[0008]优选的，所述储水箱的一侧与炉体柜的内壁固定安装，所述多组螺旋桨片设置在储水箱的内部，所述水泵的输出端设置在螺旋桨片的上方，连接套设置在多组螺旋桨片一端。
[0009]优选的，所述齿轮一的一端与炉体柜的内壁转动连接，所述连接套内壁与连接杆的外壁滑动连接，所述皮带轮二的一端与风扇一的一侧传动连接，所述储水箱的一侧与水冷管一一端固定安装，所述水冷管一的一端与水泵的一侧固定安装。
[0010]优选的，所述水冷管一的外壁与连通管内壁固定安装，所述连接套的外壁与固定套的内壁转动连接，所述固定套的两端分别与储水箱的两侧内壁固定连接，所述储水箱的一侧与水冷管二的一端固定安装，所述水冷管二的外壁与凹槽的一侧固定连接。
[0011]优选的，所述气冷管的一端贯穿背板的内部，三组所述水冷板分别固定安装在三组固定板的内部，所述皮带轮四的一侧与风扇二的一侧传动连接，所述气冷管的一端设置在风扇二的一侧。
[0012]优选的，所述调节机构包括气缸，所述气缸的输出端转动连接有连接座，所述连接杆的一端固定安装有两组限位盘，所述连接套的外壁转动连接有五组直角块，五组所述直角块的顶部均转动连接有偏转杆，五组所述偏转杆的一端均转动连接有固定杆，所述连接杆的一端固定安装有固定盘。
[0013]优选的，所述气缸的一侧与炉体柜的一侧固定安装，所述连接座的内部与两组限位盘的一侧转动连接，五组所述固定杆的一端均与固定盘的外壁固定安装。
[0014]优选的，所述降温机构包括支撑板，所述支撑板的内部贯穿安装有两组热管，两组所述热管的外壁贯穿安装有多组散热片，所述风扇二设置在多组散热片的一侧。
[0015]优选的，所述支撑板的一侧与炉体柜的内壁固定安装，所述储水箱的底部与支撑板的顶部固定安装，多组所述散热片的一侧与储水箱的外壁相互接触。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术中，通过设置水冷管一、水冷板、水冷管二和气冷管，在石英管工作时起到隔热效果，当石英管不工作时，多组硅片待取出时，石英管不再加热，水冷管一、水冷板和风扇一起到良好的散热效果，使得石英管整体可以冷却下来，进而石英舟各个部位都能均匀降温，使得多组硅片降温更加均匀迅速，避免硅片在石英管外部散热时产生的被污染的情况，保证了硅片扩散的质量。
[0017]2、本专利技术中，水冷管一、水冷管二和三组水冷板的内部均充满水，并且水泵内部能够正常泵水，由于水泵提供一个动力带动水循环，并且水冷管一和水冷管二的进水端均位于靠近储水箱下边缘位置处，进而保证了储水箱内部的水位较低，不会触及螺旋桨片，每两组石英管之间均设置有一组水冷板，隔绝每层石英管的温度相互影响，保证了不同温度条
件下的扩散均能够正常进行，保证了扩散的质量。
[0018]3、本专利技术中，通过设置风扇一，水流从下往上流动温度逐渐升高，水冷管一和最上方的水冷板内部的液体温度较高，风扇一在转动过程中带动气体流动，使得水冷板和水冷管一最上方的热量通过气体流动流出炉体柜，从而起到良好的散热效果，与此同时水冷管二内部的液体也在流动，对整个炉体柜内部进行降温。
[0019]4、本专利技术中，通过设置气冷管和风扇二，室内温度较低的空气进而气冷管，风扇二转动时带动气体流动，使得气冷管内部的气体向另一端流出，进而对水冷管二起到散热的效果，加速了水冷管二对炉体柜内部的降温。
[0020]5、本专利技术中，通过设置多组偏转杆和直角块，偏转杆向一侧偏转，进而推动直角块转动，直角块推动每组螺旋桨片偏转角度更大，调快水泵泵水速度，并且螺旋桨片与水流接触面积更大，进而螺旋桨片旋转速度更快，进而使得连接杆转动速度加快，使得风扇一和风扇二转速加快，并且水流速度加快，使得炉体柜内部降温更快，使得石英管能本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，包括气控系统（1）、炉体冷却机构（2）、进出舟系统（3）、操作系统（4）和三组石英管（5），其特征在于：所述气控系统（1）的一侧固定安装有炉体柜（21），所述进出舟系统（3）的一侧与炉体柜（21）的一侧固定安装，所述进出舟系统（3）的一侧与操作系统（4）的一侧固定连接，所述炉体柜（21）的内部设置有四组固定板（223），三组所述石英管（5）设置在每相邻两组固定板（223）之间，所述炉体柜（21）的内部设置有调节机构（6），所述炉体柜（21）的内部设置有降温机构（7）；所述炉体冷却机构（2）包括隔热板（22）、水泵（23）、储水箱（24）、多组螺旋桨片（25）、连接套（26）、连接杆（27）、风扇一（214）、水冷管一（215）、连通管（217）、固定套（218）、水冷管二（219）和风扇二（229），所述连接杆（27）的一端滑动连接有齿轮一（28），所述齿轮一（28）的外壁啮合有齿轮二（29），所述齿轮二（29）的内壁贯穿安装有转动轴（210），所述转动轴（210）的一侧固定安装有皮带轮一（211），所述皮带轮一（211）的外壁传动连接有皮带一（212），所述皮带一（212）的内部传动连接有皮带轮二（213），所述水冷管一（215）的一侧固定安装有三组水冷板（216），所述炉体柜（21）的一侧开设有凹槽（220），所述凹槽（220）的一侧活动安装有背板（221），所述背板（221）的一侧固定安装有气冷管（222）；所述齿轮一（28）的外壁啮合有齿轮三（224），所述齿轮三（224）的一侧贯穿安装有转动杆（225），所述转动杆（225）的一端固定安装有皮带轮三（226），所述皮带轮三（226）的内部传动连接有皮带二（227），所述皮带二（227）的内部传动连接有皮带轮四（228）。2.根据权利要求1所述的一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述隔热板（22）的一侧与炉体柜（21）的内壁固定安装，所述隔热板（22）的一侧与水泵（23）的一侧固定安装，所述水泵（23）的一端与储水箱（24）的顶部固定安装。3.根据权利要求1所述的一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述储水箱（24）的一侧与炉体柜（21）的内壁固定安装，所述多组螺旋桨片（25）设置在储水箱（24）的内部，所述水泵（23）的输出端设置在螺旋桨片（25）的上方，连接套（26）设置在多组螺旋桨片（25）一端。4.根据权利要求1所述的一种太阳能光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述齿轮一（28）的一端与...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱小南，
申请(专利权)人：南通大鹏光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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