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一种太阳能光伏电池制造用扩散炉制造技术
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文档序号:39417998
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本发明公开了一种太阳能光伏电池制造用扩散炉,涉及太阳能光伏电池制造领域,包括气控系统、炉体冷却机构、进出舟系统、操作系统和三组石英管,所述气控系统的一侧固定安装有炉体柜,所述进出舟系统的一侧与炉体柜的一侧固定安装。本发明,通过设置水冷管一、...
该专利属于南通大鹏光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通大鹏光电有限公司授权不得商用。
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