一种测试设备制造技术

技术编号:39360227 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-18 11:04
本实用新型专利技术涉及激光器技术领域,具体涉及一种用于半导体激光器的测试设备

【技术实现步骤摘要】
一种测试设备


[0001]本技术涉及激光器
,具体涉及一种测试设备。

技术介绍

[0002]半导体激光器又称激光二极管,是用半导体材料作为工作物质的激光器。它体积小、寿命长,并且可采用简单的注入电流的方式来泵浦,因此半导体激光器在激光通信、光存储、光陀螺、激光打印、测距以及雷达等方面得到了广泛的应用。
[0003]现有的半导体激光器在组装完成后需要进行测试,以剔除不良品,目前通常是采用生产设备为半导体激光器的芯片加电,然后在该芯片的光路上设置功率计测量功率,当测量的功率没有在预设的功率范围值区间内,则判断该半导体激光器的该芯片有问题,则将该半导体激光器归入不良品区,但是半导体激光器的光路上包括由多个光学透镜结构,现有的检测设备无法检测出具体是光路中哪个部件出现了故障。

技术实现思路

[0004](一)本技术所要解决的技术问题是:现有采用生产设备为半导体激光器的芯片供电,并采用功率计对光路的光强进行检测,只能判断该芯片对应的光路是否有问题,但是无法确定光路中的具体哪个光学件存在故障。
[0005](二)技术方案
[0006]为了解决上述技术问题,一种测试设备,用于半导体激光器,所述半导体激光器包括壳体、激光芯片、第一快轴准直镜、第一慢轴准直镜、反射镜、防反片、第二快轴准直镜和第二慢轴准直镜,所述激光芯片、第一快轴准直镜、第一慢轴准直镜、反射镜、防反片第二快轴准直镜和第二慢轴准直镜沿着光路依次设置在所述壳体内,所述第一快轴准直镜和第一慢轴准直镜与所述激光芯片一一对应设置,所述测试设备包括:工作台、探针、第一导光件、第二导光件、第三导光件、第一测量件、第二测量件、第三测量件和第四测量件,所述壳体设于所述工作台上;所述第一测量件、第二测量件、第三测量件和所述第四测量件均位于所述壳体的外侧;
[0007]所述探针、第一导光件、第二导光件和第三导光件均能够升降,所述探针用于与所述激光芯片电连接;
[0008]所述第一导光件和第二导光件均下降至工作位置时,所述第一测量件、第一导光件、第二导光件和第二测量件位于同一条直线上;
[0009]所述第一导光件下降至所述第一快轴准直镜和第一慢轴准直镜之间时,用于将光路中的光导入第一测量件;
[0010]所述第二导光件下降至所述反射镜的后侧时,用于将光路中的光导入第二测量件;
[0011]所述第三导光件下降至所述防反片的前侧时;用于将光路中的光导入第三测量件;
[0012]所述第四测量件位于所述工作台的外侧并对应所述半导体激光器的输出端;
[0013]所述第一测量件、第二测量件、第三测量件和第四测量件均用于测量对应光路中的光强。
[0014]根据本技术的一个实施例,所述第一测量件、第二测量件、第三测量件和第四测量件均为功率计。
[0015]根据本技术的一个实施例,所述第一导光件、第二导光件和第三导光件均为潜望镜。
[0016]根据本技术的一个实施例,每个所述潜望镜分别与支架连接,且每个所述支架分别与一个第一驱动机构连接,所述第一驱动机构用于驱动对应的所述支架升降。
[0017]根据本技术的一个实施例,所述壳体内部形成上端开口的容纳槽,所述第一测量件、第二测量件和第四测量件均位于所述工作台的外侧且高于所述容纳槽的上端边缘;所述第三测量件安装于所述工作台上。
[0018]根据本技术的一个实施例,所述第二慢轴准直镜后侧的所述壳体侧壁上设有光纤口,所述第四测量件用于测量从所述光纤口导出光线的光强。
[0019]根据本技术的一个实施例,所述探针设有两个,所述壳体内设有两排对称的芯片组,每排所述芯片组均包括至少一个激光芯片;两排芯片组相对应的两个所述激光芯片之间依次设有所述第一快轴准直镜、第一慢轴准直镜、反射镜、第一慢轴准直镜和所述第一快轴准直镜;
[0020]当所述第一导光件和第二导光件均下降时,所述第一导光件和第二导光件位于所述反射镜的相对两侧。
[0021]根据本技术的一个实施例,所述测试设备还包括第二驱动机构,每个所述探针分别与一个所述第二驱动机构连接,所述第二驱动机构用于驱动所述探针上下移动。
[0022]根据本技术的一个实施例,所述第二驱动机构包括驱动电机和滚珠丝杠,所述驱动电机通过滚珠丝杠与所述探针传动连接。
[0023]根据本技术的一个实施例,所述测试设备还包括第三驱动机构,所述第三驱动机构能够驱动所述工作台沿着所述反射镜和所述第二慢轴准直镜之间的光路的方向左右移动。
[0024]本技术的有益效果:本技术提供的测试设备包括工作台、探针、第一导光件、第二导光件、第三导光件、第一测量件、第二测量件和第三测量件和第四测量件,所述壳体设于所述工作台上;所述第一测量件、第二测量件、第三测量件和所述第四测量件均位于所述壳体的外侧;本实施例中通过第四测量件可以测量整个半导体激光器输出的光强,通过与预设的半导体激光器光强进行比较来判断整个半导体激光器是否合格;当判断半导体激光器光强存在异常时,可以通过第一测量件检测激光芯片和第一快轴准直镜是否出现异常,通过第二测量件检测反射镜是否存在异常,通过第三测量件检测第一慢轴准直镜是否存在异常,如果上述件均没有出现异常则可以判断防反片、第二快轴准直镜和第二慢轴准直镜中的某一或某些部件存在异常;与现有的半导体激光器异常检测方式相比,本申请提供的检测设备不仅能够检测出半导体激光器是否存在异常,并且还能够检测出是某一段光路中光学元件存在异常,因此可以为后续的检修提供基础,提升检修效率。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0026]图1为本技术一个实施例提供的测试设备的立体图;
[0027]图2为图1的A部放大图;
[0028]图3为本技术一个实施例提供的测试设备的俯视图;
[0029]图4为图3的B部放大图;
[0030]图5为图3的C部放大图;
[0031]图6为本技术一个实施例提供的测试设备另一视角的立体图。
[0032]图标:1

工作台;11

壳体;111

激光芯片;112

第一快轴准直镜;113

第一慢轴准直镜;114

反射镜;115

防反片;116

第二快轴准直镜;117

第二慢轴准直镜;12

第三测量件;13

第三驱动机构;
[0033]2‑
第一测量件;3
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试设备,用于半导体激光器,所述半导体激光器包括壳体(11)、激光芯片(111)、第一快轴准直镜(112)、第一慢轴准直镜(113)、反射镜(114)、防反片(115)、第二快轴准直镜(116)和第二慢轴准直镜(117),所述激光芯片(111)、第一快轴准直镜(112)、第一慢轴准直镜(113)、反射镜(114)、防反片(115)第二快轴准直镜(116)和第二慢轴准直镜(117)沿着光路依次设置在所述壳体(11)内,所述第一快轴准直镜(112)和第一慢轴准直镜(113)与所述激光芯片(111)一一对应设置,其特征在于,所述测试设备包括:工作台(1)、探针(5)、第一导光件(6)、第二导光件(7)、第三导光件(8)、第一测量件(2)、第二测量件(3)、第三测量件(12)和第四测量件(4),所述壳体(11)设于所述工作台(1)上;所述第一测量件(2)、第二测量件(3)、第三测量件(12)和所述第四测量件(4)均位于所述壳体(11)的外侧;所述探针(5)、第一导光件(6)、第二导光件(7)和第三导光件(8)均能够升降,所述探针(5)用于与所述激光芯片(111)电连接;所述第一导光件(6)和第二导光件(7)均下降至工作位置时,所述第一测量件(2)、第一导光件(6)、第二导光件(7)和第二测量件(3)位于同一条直线上;所述第一导光件(6)下降至所述第一快轴准直镜(112)和第一慢轴准直镜(113)之间时,用于将光路中的光导入第一测量件(2);所述第二导光件(7)下降至所述反射镜(114)的后侧时,用于将光路中的光导入第二测量件(3);所述第三导光件(8)下降至所述防反片(115)的前侧时;用于将光路中的光导入第三测量件(12);所述第四测量件(4)位于所述工作台(1)的外侧并对应所述半导体激光器的输出端;所述第一测量件(2)、第二测量件(3)、第三测量件(12)和第四测量件(4)均用于测量对应光路中的光强。2.根据权利要求1所述的测试设备,其特征在于,所述第一测量件(2)、第二测量件(3)、第三测量件(12)和第四测量件(4)均为功率计。...

【专利技术属性】
技术研发人员:谢天雷谢福
申请(专利权)人:度亘光电科技南通有限公司
类型:新型
国别省市:

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