一种单晶圆棒的边皮收集系统技术方案

技术编号:39341839 阅读:9 留言:0更新日期:2023-11-18 10:59
本实用新型专利技术提供一种单晶圆棒的边皮收集系统,其包括:夹紧块,设于边皮长度方向的两端,以夹紧或放松边皮;收集盒,设于边皮的底部,以承接边皮;方向监控器,设于上下料机器人上,以获取所述收集盒中边皮的方向信息;吸附组件,设于所述上下料机器人上,以吸附所述收集盒中的边皮;第一控制器,与晶棒切割系统连接,以接收边皮切割信号并产生第一控制信号,所述第一控制信号控制所述夹紧块的工作状态;第二控制器,与所述方向监控器连接,以接收所述方向信息并产生第二控制信号,所述第二控制信号控制所述吸附组件的工作状态。本实用新型专利技术实现了边皮的机械自动化吸附,提高边皮拾捡效率,并降低工人的工作强度,且生产安全系数高。且生产安全系数高。且生产安全系数高。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶圆棒的边皮收集系统


[0001]本技术涉及光伏生产设备
,尤其是涉及一种单晶圆棒的边皮收集系统。

技术介绍

[0002]在生产单晶硅片时,需要将单晶圆棒开方去边皮后,形成单晶方棒,然后再进行线切割。随着行业技术的不断进步与发展以及市场需求的变化,大尺寸硅片的市场占有率越来越大,而随着硅片尺寸的增大,所需的单晶圆棒的尺寸也在不断增大,相应的,单晶圆棒开方时产生的边皮的重量则不断增加。目前,单晶圆棒开方后产生的边皮由人工拾捡收集,边皮重量及产量增加,导致工人的工作强度不断增加,为适应生产需要,企业还可能会增加工人数量,用工成本不断增加。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶圆棒的边皮收集系统,以解决上述背景中的问题。
[0004]本技术采用的技术方案是:一种单晶圆棒的边皮收集系统,包括:
[0005]夹紧块,设于边皮长度方向的两端,用于夹紧或放松边皮;
[0006]收集盒,设于边皮的底部,用于承接边皮;
[0007]方向监控器,设于上下料机器人上,用于获取所述收集盒中边皮的方向信息;
[0008]吸附组件,设于所述上下料机器人上,用于吸附所述收集盒中的边皮;
[0009]第一控制器,与晶棒切割系统连接,用以接收边皮切割信号并产生第一控制信号,所述第一控制信号控制所述夹紧块的工作状态;
[0010]第二控制器,与所述方向监控器连接,用以接收所述方向信息并产生第二控制信号,所述第二控制信号控制所述吸附组件的工作状态。
[0011]进一步的,所述夹紧块包括顶部夹紧块和底部夹紧块,所述第一控制信号控制所述顶部夹紧块先于所述底部夹紧块放松。
[0012]进一步的,所述吸附组件包括气动伸缩杆和吸盘,所述气动伸缩杆与所述第二控制器信号连接,所述吸盘设于所述气动伸缩杆的输出端,所述气动伸缩杆的另一端连接所述上下料机器人。
[0013]进一步的,所述方向监控器为照相机,所述照相机的图像采集方向竖直向下。
[0014]进一步的,所述第二控制器包括图像处理模块,所述图像处理模块用于分析所述照相机采集的图像并产生所述第二控制信号。
[0015]进一步的,所述第二控制信号包括采集信号和停滞信号,所述采集信号控制所述气动伸缩杆动作,所述停滞信号控制所述气动伸缩杆静止。
[0016]本技术具有的有益效果是:通过在上下料机器人上集成所述吸附组件,实现了边皮的机械自动化吸附,可避免人工拾捡边皮的工序,降低工人的工作强度,并提高边皮
拾捡效率;同时,所述顶部夹紧块、所述底部夹紧块和所述第一控制器的配合可有效提高边皮落入收集盒中时平面向上的几率,所述方向监控器、所述第二控制器与所述气动伸缩杆的配合,可以有效避免所述吸盘与边皮的曲面吸附的情况,上述二者的配合,大大提高了本边皮收集系统的生产安全系数,避免吸盘吸附的边皮在高空掉落砸伤人等生产事故。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例中夹紧块与边皮连接的主视图;
[0018]图2是本技术实施例中夹紧块与边皮连接的侧视图;
[0019]图3是本技术实施例中方向监控器、吸附组件与上下料机器人连接的侧视图;
[0020]图4是本技术实施例运行状态下的俯视图。
[0021]图中:
[0022]1、夹紧块;1a、顶部夹紧块;1b、底部夹紧块;
[0023]2、收集盒;
[0024]3、方向监控器;
[0025]4、吸附组件;4a、气动伸缩杆;4b、吸盘;
[0026]5、第一控制器;
[0027]6、第二控制器;
[0028]7、上下料机器人;
[0029]8、地轨;
[0030]9、晶棒切割系统;
[0031]10、边皮。
具体实施方式
[0032]下面通过附图对本技术实施例的技术方案进行详细说明,但是本技术的保护范围不局限于所述实施例。
[0033]参考附图1

3,吸附组件4、第一控制器5和第二控制器6。夹紧块1设于边皮10长度方向的两端,用于夹紧或放松边皮10;收集盒2设于边皮10的底部,用于承接边皮10;方向监控器3设于上下料机器人7上,用于获取收集盒2中边皮10的方向信息;吸附组件4设于上下料机器人7上,用于吸附收集盒2中的边皮10;第一控制器5与晶棒切割系统9连接,用以接收边皮切割信号并产生第一控制信号,第一控制信号控制夹紧块的工作状态;第二控制器6与方向监控器3连接,用以接收方向信息并产生第二控制信号,第二控制信号控制吸附组件4的工作状态。
[0034]参考附图4,现有生产技术中,上下料机器人7往复运行于地轨8上,晶棒切割系统9线性分布于地轨8两侧,上下料机器人7上的机械手对晶棒开方机器进行圆棒上料和方棒下料,人工拾捡落于收集盒2中的边皮10。采用本边皮收集系统后,设置的夹紧块1可以防止金刚线在晶棒切割工作完成之前边皮10掉落,而导致晶棒未切割部位受拉扯而开裂,降低方棒合格率和产量,本系统在上下料机器人7上集成了方向监控器3和吸附组件4,避免人工拾捡边皮10,可降低工人的工作强度,并提高边皮10拾捡效率。
[0035]为提高本边皮收集系统的安全系数,本实施例中的夹紧块1被配置为包括顶部夹
紧块1a和底部夹紧块1b,当第一控制器5接收到边皮10切割信号后,其产生的第一控制信号控制顶部夹紧块1a先于底部夹紧块1b放松,使得边皮10在自身重力的作用下,具有顶部先向下落的趋势,在底部夹紧块1b也放松后,增大边皮10落入收集盒2中呈曲面向下状态的几率,使得吸附组件4吸附边皮10时,与边皮10的接触面积更大,防止在上下料机器人7运送边皮10的过程中,边皮10掉落产生安全事故。
[0036]参考附图3,上述的吸附组件4包括气动伸缩杆4a和吸盘4b,气动伸缩杆4a与第二控制器6信号连接,吸盘4b设于气动伸缩杆4a的输出端,气动伸缩杆4a的另一端连接上下料机器人7。本边皮收集系统运行过程中,气动伸缩杆4a和吸盘4b随着上下料机器人7在地轨8上的移动而移动,以吸附不同收集盒2中的边皮10;第二控制器6产生的第二控制信号控制气动伸缩杆4a的伸长与收缩,进而实现吸盘4b靠近或远离收集盒2中的边皮10。
[0037]在一些可行的实施例中,上述的方向监控器3为照相机,照相机的图像采集方向竖直向下,使得上下料机器人7将照相机移动至收集盒2的开口上方时,照相机能够采集到变形度小、更标准的边皮图像,便于第二控制器6分析该边皮图像。
[0038]相应的,第二控制器6中配置有图像处理模块,图像处理模块用于分析照相机采集的图像并产生第二控制信号。
[0039]为进一步提高本边皮收集系统的安全系数,上述的第二控制信号被配置为包括采集信号和停滞信号。当照相机采集的图像中边皮10为平面朝上的状态时,第二控制器6分析该图像产生采集信号,采集信号控制气动伸缩杆4本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶圆棒的边皮收集系统,其特征在于,包括:夹紧块,设于边皮长度方向的两端,用于夹紧或放松边皮;收集盒,设于边皮的底部,用于承接边皮;方向监控器,设于上下料机器人上,用于获取所述收集盒中边皮的方向信息;吸附组件,设于所述上下料机器人上,用于吸附所述收集盒中的边皮;第一控制器,与晶棒切割系统连接,用以接收边皮切割信号并产生第一控制信号,所述第一控制信号控制所述夹紧块的工作状态;第二控制器,与所述方向监控器连接,用以接收所述方向信息并产生第二控制信号,所述第二控制信号控制所述吸附组件的工作状态。2.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒的边皮收集系统,其特征在于,所述夹紧块包括顶部夹紧块和底部夹紧块,所述第一控制信号控制所述顶部夹紧块先于所述底部夹紧块放松。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:王猛梁志慧贡艺强王晓鹏石岩
申请(专利权)人:内蒙古中环晶体材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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