浸液槽及切割设备制造技术

本申请实施例提供一种浸液槽及切割设备，其中，浸液槽包括：槽本体，具有用于容纳切割液的储液腔；内板，设置于储液腔内，限定出容积小于储液腔的容纳腔；所述容纳腔的顶部具有开口供待切割工件进入或退出；所述内板的底部设有使储液腔与容纳腔连通的通液口；超声振子，设置于所述槽本体或内板上；所述超声振子的振动输出端与所述槽本体或内板接触以施加超声振动，并将超声振动传递给切割液。本申请实施例提供的浸液槽及切割设备能够提高切割过程的散热效果，有利于提高切割质量。有利于提高切割质量。有利于提高切割质量。

【技术实现步骤摘要】
浸液槽及切割设备


[0001]本申请涉及线切割技术，尤其涉及一种浸液槽及切割设备。

技术介绍

[0002]切片机应用于光伏单晶硅切割领域中，能够将单晶硅棒切割成薄的硅片。切片机上设有喷淋装置，用于在切割过程中向切割区喷射切割液以降低切割区的温度，并能冲走切割过程中产生的硅粉以提高硅片的表面质量。
[0003]近年来，为了满足光伏产品大尺寸的需要，硅片的尺寸逐渐增大，则硅棒的横截面积逐渐增大，使得切割区的尺寸逐渐增大。传统的喷淋装置使切割液进入切割区愈加困难，降低了切割区的冷却效果，而切割区的温度升高将会增加硅片的热应力，从而影响硅片的精度指标。并且，随着光伏切片向薄片化和细线化发展，硅粉的尺寸越来越小，硅片之间的距离也越来越小，因此硅片之间的硅粉越来越难以排出，若硅粉携带的热量不能及时排出也会影响切割区的温度。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术缺陷之一，本申请实施例中提供了一种浸液槽及切割设备。
[0005]根据本申请实施例的第一个方面，提供了一种浸液槽，包括：
[0006]槽本体，具有用于容纳切割液的储液腔；
[0007]内板，设置于储液腔内，限定出容积小于储液腔的容纳腔；所述容纳腔的顶部具有开口供待切割工件进入或退出；所述内板的底部设有使储液腔与容纳腔连通的通液口；
[0008]超声振子，设置于所述槽本体或内板上；所述超声振子的振动输出端与所述槽本体或内板接触以施加超声振动，并将超声振动传递给切割液。
[0009]根据本申请实施例的第二个方面，提供了一种切割设备，包括：
[0010]机架；所述机架设置有切割室；
[0011]至少两个切割主辊，并排布置，设置于所述切割室；
[0012]如上所述的浸液槽，设置于相邻两个切割主辊之间。
[0013]本申请实施例提供的技术方案，采用的槽本体具有用于容纳切割液的储液腔，在储液腔内设置内板限定出容积小于储液腔的容纳腔，容纳腔的顶部开口供待切割工件进入或退出；内板还设有使储液腔与容纳腔连通的通液口；超声振子设置于槽本体或内板上，超声振子的振动输出端与槽本体内板接触，用于施加超声振动，并将超声振动传递给切割液使切割液产生高频振动，一方面有利于提高切割线与切割液之间的热量交换速度，从而快速对切割线所在切割区进行散热，提高散热效果；另一方面，超声振动能使切割过程中产生的颗粒物(比如硅粉)从切割线及切割得到的片状物上快速掉落，减少其上附着的颗粒物，有利于提高切割表面质量；再一方面，超声振动还能对浸液槽的表面进行清洗，减少其表面附着的颗粒物，不再需要定期对浸液槽进行拆卸和清洗，降低维护难度及成本。
附图说明
[0014]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0015]图1为本申请实施例提供的切割设备的部分结构示意图；
[0016]图2为本申请实施例提供的切割设备中切割装置的结构示意图；
[0017]图3为本申请实施例提供的切割设备中切割装置的横截面视图；
[0018]图4为本申请实施例提供的第一种浸液槽的结构示意图；
[0019]图5为本申请实施例提供的第一种浸液槽中内板端部设有超声振子的局部结构示意图；
[0020]图6为本申请实施例提供的第一种浸液槽中内板端部设有护罩的局部结构示意图；
[0021]图7为本申请实施例提供的第一种浸液槽中槽本体与内板的结构示意图；
[0022]图8为本申请实施例提供的第一种浸液槽中槽本体与内板的局部结构示意图；
[0023]图9为图8中A区域的放大视图；
[0024]图10为本申请实施例提供的切割装置设置有第二种浸液槽的结构示意图；
[0025]图11为本申请实施例提供的第二种浸液槽的结构示意图；
[0026]图12为本申请实施例提供的第二种浸液槽底部设有超声振子的结构示意图；
[0027]图13为本申请实施例提供的第二种浸液槽底部设有安装腔的结构示意图；
[0028]图14为本申请实施例提供的第二种浸液槽底部设有底护板的结构示意图；
[0029]图15为图11中B区域的放大视图；
[0030]图16为本申请实施例提供的切割装置设置有第三种浸液槽的结构示意图；
[0031]图17为本申请实施例提供的第三种浸液槽的结构示意图；
[0032]图18为本申请实施例提供的第三种浸液槽的侧面设置侧护板的结构示意图。
[0033]附图标记：
[0034]1‑
机架；
[0035]2‑
切割装置；21
‑
切割主辊；
[0036]3‑
浸液槽；31
‑
槽本体；311
‑
注液口；312
‑
排放口；313
‑
底板；314
‑
侧板；315
‑
端板；316
‑
挡液板；317
‑
储液腔；32
‑
内板；321
‑
固定板；3211
‑
通液口；322
‑
活动板；323
‑
安装板；324
‑
容纳腔；33
‑
超声振子；34
‑
护罩；35
‑
注液管；36
‑
底护板；37
‑
侧护板；38
‑
安装腔；
[0037]4‑
进给装置；
[0038]5‑
硅棒；
[0039]6‑
切割线。
具体实施方式
[0040]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0041]本实施例提供一种浸液槽，可盛装切割液，并能应用于线切割设备。线切割设备在
对待切割件进行切割的过程中，切割线用于切割的部分(即切割段)浸入浸液槽的切割液中，切割线中与待切割工件接触的部分也浸入切割液内，切割线在切割液内对待切割工件进行切割。
[0042]待切割工件可以为光伏硅(单晶硅棒、多晶硅锭)、石英晶体、碳化硅、半导体、氮化硅、蓝宝石、磁材、陶瓷、硬质合金等硬脆材料工件。线切割设备通过切割线对待切割工件进行切割，将待切割工件切成一定数量的薄片。切割线可以为镀覆有金刚石磨粒的细线。
[0043]本实施例仅以硅棒作为待切割工件为例进行说明。本领域技术人员可以直接将本实施例所提供的方案应用于其它线切割设备，以对其它类型的工件进行切割；也可以对本实施例所提供的技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种浸液槽，其特征在于，包括：槽本体，具有用于容纳切割液的储液腔；内板，设置于储液腔内，限定出容积小于储液腔的容纳腔；所述容纳腔的顶部具有开口供待切割工件进入或退出；所述内板的底部设有使储液腔与容纳腔连通的通液口；超声振子，设置于所述槽本体或内板上；所述超声振子的振动输出端与所述槽本体或内板接触以施加超声振动，并将超声振动传递给切割液。2.根据权利要求1所述的浸液槽，其特征在于，还包括：振子防护件，与所述槽本体或内板相连，与槽本体或内板围成一个封闭空间，超声振子位于所述封闭空间内。3.根据权利要求1所述的浸液槽，其特征在于，所述内板的数量为两个，平行且相对设置于储液腔内；内板的两侧与槽本体相连，两个内板与槽本体限定出所述容纳腔。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的浸液槽，其特征在于，所述内板包括：固定板；所述固定板的两端固定至槽本体；固定板的底部设有通液口；活动板，连接至固定板的底部；所述活动板能相对于固定板上下移动以调节通液口的大小。5.根据权利要求4所述的浸液槽，其特征在于，所述活动板设有沿上下方向延伸的长圆孔，活动板的两侧边通过可插入长圆孔的螺纹紧固件与固定板相连。6.根据权利要求1或2所述的浸液槽，其特征在于，所述槽本体包括：底板、侧板及端板，侧板、端板与底板围成所述储液腔。7.根据权利要求6所述的浸液槽，其特征在于，所述槽本体设有用于注入切割液的注液口及用于将切割液排出的排放口。8.根据权利要求7所述的浸液槽，其特征在于，所述注液口设置于端板的顶部，所述排放口设置于端板的底部。9.根据权利要求8所述的浸液槽，其特征在于，所述内板...

【专利技术属性】
技术研发人员：仇健，张善保，葛任鹏，张学文，王海超，吕建壮，吴仁标，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：